Navigation

Springe zum Hauptinhalt
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik

Dr.-Ing. Steffen Heinz

jetzt Geschäftsführer und Entwickler bei Electronic Design Chemnitz GmbH



Arbeitsgebiete

  • Integrierter Schaltungsentwurf (analog, digital, mixed-signal)
  • Integrierter Hochvolt-Schaltungsentwurf
  • Parameterextraktion und Modellierung von integrierten Bauelementen
  • Vorlesungs- und Übungsleitung auf den Gebiet des integrierten Schaltungs- und Layoutentwurfes

Veröffentlichungen

  • Billep, D.; Hiller, K.; Hahn, S.; Forke, R., Köhler, D. Stöckel, Ch.; Konietzka, S.; Heinz, S.: High Precision Vibratory MEMS Gyroscope, Smart systems integration for micro- and nanotechnologies : honorary volume on the occasion of Thomas Gessner's 60th birthday / Bernd Michel (ed.), Dresden: Goldenbogen 2014, ISBN 978-3-932434-78-5
  • Lerner, R.; Schottmann, K.; Hering, S.; Käberlein, A.; Fritzsch, M.; Schneider, K.; Beyer, D.; Heinz, S.: Using SOI capabilities to increase breakdown voltages from > 650 V to > 900 V, 12th international Seminar on Power Semiconductors, ISPS 2014, Prague, 27-29 August 2014, ISBN 978-80-01-05555-7
  • Heinz, S.: Elektronik unternehmen! Sachsen - echt "cool", SMWK Workshop "Forscher entdecken!", 14.5.2014, Chemnitz
  • Schramm, M.; Haas, S.; Reuter, D.; Loebel, K.-U.; Heinz, S.; Bertz, A.; Horstmann, J. T.; Geßner, T.: Integration von MOS-Transistoren als Wandler für mechanische Spannungen, Poster, DPG-Frühjahrstagung of the Condensed Matter Section, Dresden, 30.3. - 4.4.2014, ISSN 0420-0195
  • Haas, S.; Schramm, M.; Heinz, S.; Loebel, K.-U.; Reuter, D.; Bertz, A.; Geßner, T.; Horstmann, J. T.: Direktintegration von Feldeffekttransistoren als elektromechanische Wandler für mechanische Spannungen, Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, Aachen, Eurogress, 14.-16. Oktober 2013, Postersession II, ISBN 978-3-8007-3555-6
  • Heinz, S.; Erler, K.; Horstmann, J. T.; Neubert, M. (EDC GmbH); Seidel, R. (EDC GmbH); Pohle, A. (EDC GmbH); Gross, Ch. (TURCK duotec GmbH); Gabriel, P. D. (TURCK duotec GmbH), Rönisch, A. (TURCK duotec GmbH): A monolithic integrated MEMS in a 350nm technology for filter monitoring applications, AMA Conferences SENSOR 2013, 16th International Conference on Sensors and Measurement Technology, 14 - 16 May 2013, Nürnberg, pp. 368 - 372, ISBN 978-3-9813484-4-6, doi:10.5162/sensor2013/C2.3
  • Köhler, D. (EDC GmbH); Konietzka, S. (EDC GmbH); Pohle, A. (EDC GmbH); Heinz, S.; Lange, A.; (EDC GmbH); Forke, R.; Billep, D.; Hiller, K.: Development and Characterization of a High Precision Vibratory MEMS Gyroscope with Low-noise integrated Readout and Control Electronics, AMA Conferences SENSOR 2013, 16th International Conference on Sensors and Measurement Technology, 14 - 16 May 2013, Nürnberg, pp. 736 - 738, ISBN 978-3-9813484-4-6, doi:10.5162/IMCS2012/P3.1
  • Haas, S.; Schramm, M.; Heinz, S.; Loebel, K.-U.; Reuter, D.; Bertz, A.; Geßner, T.; Horstmann, J. T.: Studies on the piezoresistive effect in MOS transistors for use in integrated MEMS sensors, SmartSystemsIntegration, Amsterdam, The Netherlands, 13-14 March 2013
  • Neubert, M. (EDC GmbH); Heinz, S.: Intelligente Filterüberwachung, 11. Symposium "Textile Filter", Chemnitz, 6./7.3.2012
  • Neubert, M. (EDC GmbH); Heinz, S.; Erler, K.; Horstmann, J. T.; Seidel, R.; Pohle, A. (EDC GmbH); Groß, Ch.; Rönisch, A.; Gabriel, P.D. (TURCK duotec GmbH): A monolithic integrated MEMS in a 350 nm technology for filter monitoring applications (PDF, 2,5 MB), 14th Leibnitz Conference of advanced Science, Sensorsysteme 2012, Lichtenwalde, 18./19.10.2012
  • Neubert, M. (EDC GmbH); Heinz, S.; Erler, K.; Horstmann, J. T.; Seidel, R.; Pohle, A. (EDC GmbH); Groß, Ch.; Rönisch, A.; Gabriel, P.D. (TURCK duotec GmbH): A monolithic integrated MEMS in a 350 nm technology for filter monitoring applications, 11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, 23./24.10.2012, ISBN 978-3-00-039162-0
  • Haas, S.; Schramm, M.; Heinz, S.; Loebel, K.-U.; Reuter, D.; Bertz, A.; Geßner, T.; Horstmann, J. T.: Untersuchungen zum piezoresistiven Effekt in MOS-Transistoren für die Anwendung in integrierten MEMS-Sensoren (PDF, 1,5 MB), 11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, 23./24.10.2012, ISBN 978-3-00-039162-0
  • Heinz, S.: Electronics development for MEMS, High Technology Days of Germany in Russia, St. Petersburg, Russia, October 4-6, 2011
  • Heinz, S.; Erler, K.; Walter, T.; Seidel, R.; Horstmann, J. T.; Neubert, M. (EDC GmbH); Pohle, A. (EDC GmbH); Gross, Ch. (TURCK duotec GmbH); Gabriel, P. D. (TURCK duotec GmbH): Combining CMOS and MEMS technologies in a monolithic system for observing filter pollutions, Proceedings of the 37th Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society, Melbourne, Australia, November 7-10, ISBN 978-1-61284-971-3, ISSN 1553-572X, doi:10.1109/IECON.2011.6119973
  • Heinz, S.; Boll, M.; Horstmann, J. T.; Lange, A.; Neumann, U.; Posvic, J.; Seifert, S.; Zielke, S.: The Charge Sensing Device Approach - Sensors for Textile Machines using the natural electrostatic Charge of the Yarn, IEEE International Symposium on Industrial Electronics (ISIE-2010), Bari, Italy, July 4-7, 2010, ISBN 978-1-4244-6391-6, doi:10.1109/ISIE.2010.5637843
  • Fritzsch, M.; Schramm, M.; Erler, K.; Heinz, S.; Horstmann, J. T.; Eckoldt, U.; Kittler, G.; Lerner, R.; Schottmann, K.: Optimization of Trench Manufacturing for a new High-Voltage Semiconductor Technology, IEEE International Symposium on Industrial Electronics (ISIE-2010), Bari, Italy, July 4-7, 2010, ISBN 978-1-4244-6391-6, doi:10.1109/ISIE.2010.5637007
  • Kittler, G.; Lerner, R.; Eckoldt, U.; Schottmann, K.; Fritzsch, M.; Schramm, M.; Erler, K.; Heinz, S.; Horstmann, J. T.: Single Trench Isolation for a 650 V SOI Technology with Low Mechanical Stress, 2010 IEEE International SOI Conference, 11-14 October 2010, San Diego, California, ISBN 978-1-4244-9130-8, doi:10.1109/SOI.2010.5641368
  • Köhler, D.; Pohle, A.; Konietzka, S.; Heinz, S.; Lange, A.; Billep, D.; Forke, R.; Horstmann, J. T.; Loebel, K.-U.; Ramsbeck, M.: Hochpräzise integrierte Sensorsignalverarbeitung zur Anregung, Kalibrierung und Auswertung von MEMS-Gyroskopen, 10. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 20.-21.10.2010, ISBN 978-3-00-032052-1
  • Lerner, R.; Eckoldt, U.; Schottmann, K.; Heinz, S.; Erler, K.; Lange, A.; Ebest, G.: Time dependent isolation capability of high voltage deep trench isolation, 20th International Symposium on Power Semiconductors Devices and ICs, May 2008, ISPSD '08, Orlando, ISBN 978-1-4244-1532-8, doi:10.1109/ISPSD.2008.4538934
  • Heinz, S.: Integrierte Hochvolt-Schaltungstechnik: Ansteuerschaltungen für Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb, Vdm Verlag Dr. Müller, ISBN-10: 3-639-05903-4, Juli 2008
  • Lange, A.; Heinz, S.; Erler, K.; Ebest, G.; Lerner, R.; Eckholdt, U.; Schottmann, K.: Modeling the Leakage Current of Dielectric Isolation Structures in a High-Voltage Semiconductor Technology (PDF, 670 kB), IEEE International Symposium on Industrial Electronics, Vigo, 04.-07.06.2007, doi:10.1109/ISIE.2007.4374811
  • Heinz, S.; Lange, A.; Erler, K.; Ebest, G.; Miesch, W.; Dietrich, J.; Knopke, J.; Pfau, W.: High-Voltage Amplifier for MEMS based Switching Arrays in Wavelength-Division Multiplexing Networks (PDF, 953 kB), IEEE International Symposium on Industrial Electronics, Vigo, 04.-07.06.2007, doi:10.1109/ISIE.2007.4374809
  • Heinz, S.: Integrierte Hochvolt-Ansteuerelektronik für Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb, Chemnitz, August 2006
  • Bertz, A.; Heinz, S.; Geßner, Th.: Vertical Transistor comprising a mobile gate and a method for the production thereof, US-Anmeldung US 6849 912 B2, 01.02.2005
  • Heinz, S.; Ebest, G.; Dietrich, J.; Knopke, J.; Miesch, W.: Schaltungsanordnung zur Überbrückung hoher Spannungen mit einem Schaltsignal, US-Anmeldung PCT/DE 03/03264, 24.03.2005
  • Zeun, H.; Heinz, S.; Ebest, G.: Nonlinear Behaviour of High-ohmic Polysilicon Resistors in Integrated Circuits, Proceedings Conference Applied Electronics 2005, pp. 361-364, 7.-8.09.2005 Pilsen, Tschechien, ISBN 80-7043-369-8
  • Hammer, K.; Heinz, S.; Zeun, H.; Ebest, G.: Using of High-end Design Tools in Education, Proceedings Conference Applied Electronics 2004, pp. 64-67, 8.-9.09.2004 Pilsen, Tschechien, ISBN 80-7043-274-8
  • Zeun, H.; J. Uhle; Heinz, S.; Ebest, G.: Hochohmige Polysilizium-Widerstände in integrierten Hochvolt-Schaltungen, 10. GMM-Workshop "Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen", pp. 227-230, 20.-22.10.2004 Cottbus, ISSN 0947-1413
  • Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Heinz, S.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Gessner, T.: Development and Characterization of a High Aspect Ratio Vertical FET Sensor for Motion Detection, The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 03, Boston, June 8-12 2003
  • Zeun, H.; Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Korndörfer, F.; Schreiter, M.; Ebest, G.: High-ohmic poly-Si in high-voltage circuits, Proceedings Conference Applied Electronics 2003, pp. 244-247, 10.-11.09.2003 Pilsen, Tschechien, ISBN 80-7082-951-6
  • Zeun, H.; Korndörfer, F.; Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Ebest, G.: Summation phasenverschobener Signale, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 529-533, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Korndörfer, F.; Zeun, H.; Hiller, K.; Hahn, R.; Ebest, G.: Integrierter 48-kanaliger Hochvolt-Schalter zur Ansteuerung mikromechanischer Schwenkspiegel, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 493-498, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Korndörfer, F.; Schuberth, R.; Zeun, H.; Ebest, G.; Geßner, T.: Vertikaler Feldeffekttransistor mit beweglicher Gate-Elektrode für die Bewegungsdetektion, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 487-492, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Korndörfer, F.; Kuschel, B.; Heinz, S.; Zeun, H.; Buschnakowski, S.; Ebest, G.: Charakterisierung von Bauelementen unter dem Aspekt der Selbsterwärmung, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 419-424, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Buschnakowski, S.; Heinz, S.; Zeun, H.; Korndörfer, F.; Ebest, G.: Integrierter Zweiphasen-Lock-In-Verstärker zur kapazitiven Signaldetektion mikromechanischer Vibrationssensoren, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 343-348, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Geßner, T.: A High Aspect Ratio Vertical FET Sensor for Motion Detection (PDF, 3MB / Award, 90kB), MICRO SYSTEM Technologies 2003, Posterpräsentation, München, 7.-8.10.2003; ISBN 3-77237020-9
  • Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Hanf, M.; Heinz, S.; Geßner, T.; Dötzel, W.; Ebest, G.: Technologieentwicklung für ein Mikrospiegelarray mit integrierter Elektronik, 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz, 29.-30.10. 2003, ISBN 3-00-011655-9
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Geßner, T.: Vertikaler Feldeffekttransistor mit beweglicher Gate-Elektrode für die Bewegungsdetektion, 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz, 29.-30.10. 2003, ISBN 3-00-011655-9
  • Dietrich, J.; Knopke, J.; Miesch, W.; Ebest, G.; Heinz, S.: Schaltungsanordnung zur Überbrückung hoher Spannungen mit einem Schaltsignal, Deutsche Patentanmeldung 102 46 083.3, 27.09.2002
  • Korndörfer, F.; Heinz, S.; Zeun, H.; Ebest, G.: Specifics of high voltage technologies - Characterization and modeling of HV-DMOS transistors, Proceedings Conference Applied Electronics 2002, pp. 114-117, 11.-12.09.2002 Pilsen Tschechien, ISBN 80-7082-881-1
  • Heinz, S.; Symanzik, H.-G.; Ebest, G.; alpha microelectronics GmbH: Monolithisch integrierter Hochspannungsverstärker, Deutsche Patentanmeldung, März 2001
  • Schlegel, C.; Heinz, S.; Ebest, G.: Integrierte Front End - Schaltungen für ein piezoelektrisches Mikrowandler - Phased Array, Fachtagung Informationstechnik, 21. - 22.03.2001, Magdeburg, ISBN 3-930385-29-5
  • Buschnakowski, S.; Ebest, G.; Heinz, S.; Schlegel, C.: Integrated high voltage amplifiers to drive capacitive microactuators (JPEG, 2,2MB), MICRO SYSTEM Technologies 2001, Posterpräsentation, Düsseldorf, 27.-29.03.2001, ISBN 3-8007-2601-7
  • Heinz, S.; Ebest, G.: Integrierte Hochvoltverstärkerschaltungen zur Ansteuerung mikromechanischer Aktorarrays, Informationstagung Mikroelektronik 2001, Wien, 10./11. Oktober 2001
  • Korndörfer, F.; Heinz, S.; Ebest, G.: Parameterextraktion und Modellierung eines vertikalen DMOS-Transistors in SOI-Technologie, Informationstagung Mikroelektronik 2001, Wien, 10./11. Oktober 2001
  • Heinz, S.; Symanzik, H.-G.; Ebest, G.: Integrierte Hochvoltverstärker für Arrayapplikationen, 5. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 23./24. Oktober 2001
  • Geßner, T.; Bertz, A.; Heinz, S.: Vertikal-Transistor mit beweglichem Gate und Verfahren zu dessen Herstellung, Deutsche Patentanmeldung: 10029501.0, Juli 2000
  • Schlegel, C.; Symanzik, H.-G.; Heinz, S.; Ebest, G.: Integrierte Hochvolt-Schaltungstechnik, Ergebnispräsentation zum Forschungsvertrag, Alpha microelectronics GmbH, Frankfurt/Oder, 10. November 2000
  • Schlegel, C.; Symanzik, H.-G.; Heinz, S.; Ebest, G.: Elektrostatisch betätigte Mikroaktoren - integrierte Hochvolt-Verstärker, 14. Internationale Wissenschaftliche Konferenz Mittweida, Scientific Reports, Nr.10, November 2000
  • Symanzik, H.-G.; Schlegel, C.; Heinz, S.: Hochvoltansteuerung für Mikroaktoren - von der diskreten zur integrierten Lösung, Kolloquium des Sonderforschungsbereiches 379, 20.1.2000
  • Steiniger, C.; Bertz, A.; Höffer, A.; Heinz, S.; Ebest, G.; Geßner, T.: Verträglichkeit von Mikromechanik- und Mikroelektronik-Prozessen, Tagungsband Kolloquium des Sonderforschungsbereiches 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays", Chemnitz 12. Oktober 1999
  • Erler, K.; Mrwa, A.; Ball, M.; Heinz, S.; Zichner, N.: Großflächige multikristalline Silizium-Solarzellen mit hohen Wirkungsgraden, Zwischenbericht 1998, April 1999
  • Heinz, S.; Erler, K.; Günther, T.; Melzer, F.; Ebest, G.: Displaysysteme zur Erzeugung stereoskopischer Darstellungen, Abschlußbericht zum SMWK-Verbundprojekt, Dezember 1996
  • Heinz, S.; Melzer, F.; Günther, T.; Erler, K.: Displaysysteme zur Erzeugung stereoskopischer Darstellungen, Zwischenbericht zum Verbundprojekt, Juli 1996

Presseartikel