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Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik

Prof. Dr.-Ing. Gunter Ebest



Arbeitsgebiete

  • Leiter der Professur (1993-2007)
  • MOS-Technik (Schwerpunkt CMOS)
  • Integrierte Schaltungstechnik (Schwerpunkt Analog-MOS)
  • Solarzellenforschung

Veröffentlichungen

  • Beyer, A.; Reich, R.; Rennau, M.; Ebest, G.: Corona charging of insulated surface and application in the photovoltaic, Proc. of the 13th European Photovoltaic Solar Energy Conference 1995, Nizza
  • Beyer, A.; Ebest, G.; Reich, R.: Metal Insulator Semiconductor inversion layer solar cell by Rapid Thermal Processing, Appl. Phys. Letters 67 (1995), 697
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Ebest, G.; Kretschmar, H.; Schubert, S.: Mikromechanische Drucksensoren bis 200°C, Design&Elektronik, Sonderheft Sensortechnik, Mai 1995, 49
  • Reiz, S.; Ebest, G.; Melzer, F.; Rößler, F.; Strobel, B.: Untersuchungen zur Modellierung kapazitiver Drucksensoren und zur Einbindung in Schaltungssimulatoren wie PSPICE und ELDO, Tagungsband des 2. Workshop Methoden- und Werkzeugentwicklung für den Mikrosystementwurf, Karlsruhe 1995
  • Symanzik, H.-G.; Rößler, F.; Ebest, G.: Elektrisches Übersprechen in mikromechanischen Arrays, mikroelektronik+mikrosystemtechnik, 5/1995
  • Symanzik, H.-G.; Melzer, F.; Ebest, G.: Ansteuerung eines Spiegel-Aktorarrays, Tagungsband der 2. Tagung Mikrosystemtechnik-Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz, 16.-17.10. 1995
  • Schlegel, C.; Ebest, G.; Erler, K.: Statusbericht zum Projekt "Mikrosystembausteine für Hochtemperaturanwendungen", Vortrag zum Statusseminar, Ulm, Mai 1995
  • Schlegel, C.; Ebest, G.; Erler, K.; Rößler, F.: Komponenten eines Si-Mikrosystems zur Druckmessung für den Einsatz bis 200°C, Abschlußseminar und Präsentation zum Verbundprojekt "Mikrosystembausteine für Hochtemperaturanwendungen", Duisburg, 23.-24.11. 1995
  • Beyer, A.; Ebest, G.: Neue Verfahrensschritte zur Wirkungsgradverbesserung von MIS-Solarzellen und Übertragung auf zukünftige Si-Substrate, Zwischenbericht zum BMBF-Verbundprojekt "Neue Verfahren zur Erhöhung der Leerlaufspannung von MIS-Inversionsschicht-Solarzellen", April 1995
  • Reiz, S.; Ebest, G.; Melzer, F.: Beschreibung und Modellierung physikalischer Systeme, Zwischenbericht zum BMBF-Verbundprojekt METEOR, Januar 1995
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Ebest, G.; Kurth, St.: Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung, P 195 41 616.3
  • Beyer, A.; Ebest, G.; Reich, R.: MIS solar cells with silicon oxynitride tunnel insulator by using rapid thermal processing, Applied Physics Letters 68 (4) 1996 , p.508
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Ebest, G.; Rößler, F.: Sensor- und Schaltungsentwicklung für den Hochtemperaturbereich, Schlußbericht des BMBF-Verbundprojektes HITEMP, April 1996
  • Heinz, S.; Erler, K.; Günther, T.; Melzer, F.; Ebest, G.: Displaysysteme zur Erzeugung stereoskopischer Darstellungen, Abschlußbericht zum SMWK-Verbundprojekt, Dezember 1996
  • Ebest, G.; Hiller, W.; Knorr, U.: A new method and system for the simulation of modular inverters in solar facades, 25th Photovoltaic Specialist Conference, Washington May 1996, pp.1449-1452
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Hahn, R.; Ebest, G.; C. Kaufmann, Geßner, T.: Mikromechanische Bauelemente und Strukturen und Verfahren zu deren Herstellung, P 196 43 318, Herstellung 10/96
  • Reiz, S.; Ebest, G.; Rößler, F.: Modellentwicklung und Vergleich verschiedener Simulationswerkzeuge und Beschreibungssprachen am Beispiel kapazitiver Drucksensoren, 4. Statusseminar METEOR, 18./19. November 1996, FZ Karlsruhe
  • Ebest, G.; Beyer, A.: Neue Verfahren zur Erhöhung der Leerlaufspannung an MIS-Inversionsschicht-Solarzellen, Statusreport 1996 (Photovoltaik), Beitrag Nr.12
  • Reiz, S.; Ebest, G.: Beschreibung und Modellierung physikalischer Systeme, Jahresbericht zum BMBF-Verbundprojekt METEOR, Februar 1996
  • Reiz, S.; Ebest, G.: Methoden- und Werkzeugentwicklung für den Mikrosystementwurf, Abschlußbericht des Verbundprojekts, Juni 1997
  • Ebest, G.; Beyer, A.: Neue Verfahren zur Erhöhung der Leerlaufspannung an MIS-Inversionsschicht-Solarzellen, Abschlußbericht zum Forschungsprojekt, 1997
  • Hiller, W.; Ebest, G.; Lehnhoff, J.: Eine Lösung zur zukunftsorientierten Gestaltung von Solarfassaden an öffentlichen Gebäuden, 12. Symp. Photovol. Solarenergie, Staffelstein 1997, p. 399-406
  • Hiller, W.; Amft, D.; Ebest, G.: Optimization of the PV-Yield in solar facades by different directions, Proc. of the 26th. IEEE PVSC, Anaheim (Cal.) 1997
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Ebest, G.; Kurth, S.: Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung, Erteilung, Nr. 195 41 616
  • Ebest, G.; Beyer, A.; Mrwa, A.; Reich, R.: Neue Verfahren zur Erhöhung der Leerlaufspannung von MIS-Inversionsschicht-Solarzellen, Abschlußbericht zum BMBF-Projekt, März 1998
  • König, D.; Ebest, G.: New Approach to a unipolar thin film Schottky solar cell, 2nd World Conference on PV Solar Energy Conversion, 6-10 July 1998, Vienna, Austria
  • König, D.; Ebest, G.: Novel thin film solar cell model with two antipolar MIS structures (PDF, 75kB), Solar Energy Materials and Solar Cells 5, 67 (1998)
  • Steiniger, C.; Bertz, A.; Höffer, A.; Heinz, S.; Ebest, G.; Geßner, T.: Verträglichkeit von Mikromechanik- und Mikroelektronik-Prozessen, Tagungsband Kolloquium des Sonderforschungsbereiches 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays", Chemnitz 12. Oktober 1999
  • König, D.; Ebest, G.: The negatively charged insulator-semiconductor structure: concepts, technological considerations and applications (PDF, 55kB), Solid State Electronics 44, 111 (2000), doi:10.1016/S0038-1101(99)00214-2
  • König, D.; Ebest, G.: Antipolar counterpart to the positively charged SiOxNy layer for improvement of field effect solar cells (PDF, 149kB), 16th European PV Solar Energy Conference, 1-5 May 2000, Glasgow, Great Britain
  • Ball, M.; Erler, K.; Mrwa, A.; Ebest, G.: Automatic Methods for Treatment of the Dark Current Characteristics of Solar Cells (PDF, 953kB), Poster Presentation, Subject Number 2, 16th European Photovoltaic Solar Energy Conference, 1-5 May 2000, Glasgow/Great Britain
  • Mrwa, A.; Ebest, G.; Rennau, M.; Beyer, A.: High Efficiency MIS Inversion Layer Solar Cells Prepared by Rapid Thermal Process (PDF, 172kB), Poster VA 1/11, 16th European Photovoltaic Solar Energy Conference, 1-5 May 2000, Glasgow/Great Britain
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ball, M.; Ebest, G.: Rapid thermal annealed spin-on glass process for multicrystalline pn-silicon solar cells (PDF, 312kB), Poster VA 1/4, 16th European Photovoltaic Solar Energy Conference, 1-5 May 2000, Glasgow/Great Britain
  • Mrwa, A.; Ebest, G.; Rennau, M.; Beyer, A.: Comparison of different emitter diffusion methods for MINP solar cells: thermal diffusion and RTP, Solar Energy Materials & Solar Cells, Vol. 61, Iss. 2 (2000), pp. 127-134, doi:10.1016/S0927-0248(99)00105-1
  • Erler, K.; Ball, M.; Mrwa, A.; Werner, T.; Ebest, G.: Drastische Minderung der Oberflächenreflexion von multi- und einkristallinem Silizium-Material durch RIE (PDF, 9MB), Poster, Freiberger Forschungsforum, 16.6.2000
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ball, M.; Ebest, G.: Multikristalline Silizium-Solarzellen auf der Basis von spin-on und RTP (PDF, 208kB), Vortrag, Freiberger Forschungsforum, 16.6.2000
  • Schlegel, C.; Symanzik, H.-G.; Heinz, S.; Ebest, G.: Elektrostatisch betätigte Mikroaktoren - integrierte Hochvolt-Verstärker, 14. Internationale Wissenschaftliche Konferenz Mittweida, Scientific Reports, Nr.10, November 2000
  • Schlegel, C.; Symanzik, H.-G.; Heinz, S.; Ebest, G.: Integrierte Hochvolt-Schaltungstechnik, Ergebnispräsentation zum Forschungsvertrag, Alpha microelectronics GmbH, Frankfurt/Oder, 10. November 2000
  • König, D.; König, K.; Ebest, G.: Solarzellen-Oberfläche, Deutsches Patent DE 100 57 296, 17. November 2000
  • König, D.; König, K.; Ebest, G.: Solarzellen unter Verwendung eines Kontaktrahmens und Verfahren zu deren Herstellung, Deutsches Patent DE 100 57 297 vom 17. November 2000
  • Ebest, G.; Erler, K.; Mrwa, A.; Ball, M.: Großflächige multikristalline Silizium-Solarzellen mit hohen Wirkungsgraden, Abschlussbericht zumBMWi-Forschungsprojekt, FKZ 0329803
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ball, M.; Ebest, G.; Steckemetz, S.; A. Metz, Hezel, R.: Rapid thermal annealed spin-on glass process for screen printed multicrystalline silicon solar cells (PDF, 1MB), 17th European PVSEC, VC 1.09, Munich, 22-26 October 2001
  • Erler, K.; Ball, M.; Mrwa, A.; Werner, T.; Henker, M.; Ebest, G.: Preparation of RIE textured silicon surfaces and application to typical solar cells processing (PDF, 5MB), 17th European PVSEC, VC 1.10, Munich, 22-26 October 2001
  • Mrwa, A.; Ebest, G.; Rennau, M.; Beyer, A.: High efficiency MINP solar cells: Comparison between conventional and rapid thermal process (PDF, 192kB), 17th European PVSEC, VC 1.29, Munich, 22-26 October 2001
  • König, D.; Ebest, G.: Hole collecting contacts by Pt with PtSi formation (PDF, 438kB), Poster VC1-28, 17th European PV Solar Energy Conference, 22 - 26 October 2001, Munich, Germany, proceedings pp. 1503
  • Heinz, S.; Symanzik, H.-G.; Ebest, G.: Integrierte Hochvoltverstärker für Arrayapplikationen, 5. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 23./24. Oktober 2001
  • Korndörfer, F.; Heinz, S.; Ebest, G.: Parameterextraktion und Modellierung eines vertikalen DMOS-Transistors in SOI-Technologie, Informationstagung Mikroelektronik 2001, Wien, 10./11. Oktober 2001
  • Heinz, S.; Ebest, G.: Integrierte Hochvoltverstärkerschaltungen zur Ansteuerung mikromechanischer Aktorarrays, Informationstagung Mikroelektronik 2001, Wien, 10./11. Oktober 2001
  • König, D.; Scholz, R.; Gemming, S.; Thurzo, I.; Kampen, T. U.; Zahn, D. R. T.; Ebest, G.: Evidence for high negative charge densities in AlF3 coatings on oxidized silicon: a promising source for large drift fields, Poster P28, International Workshop on Nanostructures in Photovoltaics, 28 July - 4 August 2001, Max-Planck-Institut für komplexe Systeme Dresden, Germany
  • König, D.; Ebest, G.: New contact frame design for minimizing losses due to edge recombination and grid-induced shading (PDF, 48kB), Poster P3, 12th International PV Science & Engineering Conference, 11-15 June 2001, Cheju Island, Korea, Proceedings pp. 117
  • König, D.; Ebest, G.: Novel external field source by localization of electrons for improving field effect solar cells (PDF, 87kB), Oral Session OC9.3, 12th International PV Science & Engineering Conference, 11-15 June 2001, Cheju Island, Korea, Proceedings pp. 285
  • König, D.; Ebest, G.: Negative Festladungen als externe Driftfeldquellen: Neue Möglichkeiten zur Verbesserung von Silizium-Solarzellen (PDF, 154kB), Workshop "Verfahren und Materialien für die Photovoltaik" der Fördergemeinschaft Dünne Schichten und der ANTEC Solar GmBH Rudisleben, 29.-30. März 2001, Arnstadt
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ball, M.; Ebest, G.: Multikristalline Siliziumsolarzellen, Workshop "Verfahren und Materialien für die Photovoltaik", 29./30. März 2001, Rudisleben/Germany
  • Buschnakowski, S.; Ebest, G.; Heinz, S.; Schlegel, C.: Integrated high voltage amplifiers to drive capacitive microactuators (JPEG, 2,2MB), MICRO SYSTEM Technologies 2001, Posterpräsentation, Düsseldorf, 27.-29.03.2001, ISBN 3-8007-2601-7
  • Schlegel, C.; Heinz, S.; Ebest, G.: Integrierte Front End - Schaltungen für ein piezoelektrisches Mikrowandler - Phased Array, Fachtagung Informationstechnik, 21. - 22.03.2001, Magdeburg, ISBN 3-930385-29-5
  • König, D.; Rennau, M.; Henker, M.; Ebest, G.: Evidence of a high density of fixed negative charges in an insulation layer compound on silicon (PDF, 212kB), Thin Solid Films, 126 (2001), pp. 126-131, ISSN: 0040-6090, doi:10.1016/S0040-6090(00)01926-X
  • Heinz, S.; Symanzik, H.-G.; Ebest, G.; alpha microelectronics GmbH: Monolithisch integrierter Hochspannungsverstärker, Deutsche Patentanmeldung, März 2001
  • Erler, K.; Mrwa, A.; Diefenbach, K. H.; Ebest, G.; Werner, T.; Schwarz, T.: Application of cost effective solar cell processing steps on RIE textured silicon surfaces (PDF, 544kB), PV in Europe - From PV Technology to Energy Solutions Conference, V2.9, 07-11 october 2002, Rome
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Diefenbach, K. H.; Ebest, G.: Rapid and classic thermal processing of block cast multicrystalline and edge defined film-fed growth EFG silicon (PDF, 397kB), PV in Europe - From PV Technology to Energy Solutions Conference, V2.8, 07-11 october 2002, Rome
  • Korndörfer, F.; Heinz, S.; Zeun, H.; Ebest, G.: Specifics of high voltage technologies - Characterization and modeling of HV-DMOS transistors, Proceedings Conference Applied Electronics 2002, pp. 114-117, 11.-12.09.2002 Pilsen Tschechien, ISBN 80-7082-881-1
  • König, D.; Scholz, R.; Gemming, S.; Thurzo, I.; Kampen, T. U.; Zahn, D. R. T.; Ebest, G.: Evidence for high negative charge densities in AlF3 coatings on oxidized silicon: a promising source for large drift fields, Physica E 14, 259 (2002), doi:10.1016/S1386-9477(02)00399-5
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ebest, G.; Steckemetz, S.; Hezel, R.: RT Annealed Spin-on Glass Process for Screen Printed Multicrystalline Silicon Solar Cells (PDF, 94kB), World Renewable Energy Congress VII, Poster, Cologne 2002
  • König, D.; Ebest, G.: Novel external drift field source by localization of electrons for improvement of solar cells, Solar Energy Materials and Solar Cells 75, 335 (2002)
  • König, D.; Ebest, G.: New contact frame design for minimizing losses due to edge recombination and grid-induced shading, Solar Energy Materials and Solar Cells 75, 381 (2002), doi:10.1016/S0927-0248(02)00184-8
  • Dietrich, J.; Knopke, J.; Miesch, W.; Ebest, G.; Heinz, S.: Schaltungsanordnung zur Überbrückung hoher Spannungen mit einem Schaltsignal, Deutsche Patentanmeldung 102 46 083.3, 27.09.2002
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Geßner, T.: Vertikaler Feldeffekttransistor mit beweglicher Gate-Elektrode für die Bewegungsdetektion, 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz, 29.-30.10. 2003, ISBN 3-00-011655-9
  • Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Hanf, M.; Heinz, S.; Geßner, T.; Dötzel, W.; Ebest, G.: Technologieentwicklung für ein Mikrospiegelarray mit integrierter Elektronik, 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz, 29.-30.10. 2003, ISBN 3-00-011655-9
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Geßner, T.: A High Aspect Ratio Vertical FET Sensor for Motion Detection (PDF, 3MB / Award, 90kB), MICRO SYSTEM Technologies 2003, Posterpräsentation, München, 7.-8.10.2003; ISBN 3-77237020-9
  • Buschnakowski, S.; Heinz, S.; Zeun, H.; Korndörfer, F.; Ebest, G.: Integrierter Zweiphasen-Lock-In-Verstärker zur kapazitiven Signaldetektion mikromechanischer Vibrationssensoren, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 343-348, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Korndörfer, F.; Kuschel, B.; Heinz, S.; Zeun, H.; Buschnakowski, S.; Ebest, G.: Charakterisierung von Bauelementen unter dem Aspekt der Selbsterwärmung, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 419-424, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Korndörfer, F.; Schuberth, R.; Zeun, H.; Ebest, G.; Geßner, T.: Vertikaler Feldeffekttransistor mit beweglicher Gate-Elektrode für die Bewegungsdetektion, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 487-492, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Korndörfer, F.; Zeun, H.; Hiller, K.; Hahn, R.; Ebest, G.: Integrierter 48-kanaliger Hochvolt-Schalter zur Ansteuerung mikromechanischer Schwenkspiegel, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 493-498, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Zeun, H.; Korndörfer, F.; Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Ebest, G.: Summation phasenverschobener Signale, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 529-533, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Zeun, H.; Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Korndörfer, F.; Schreiter, M.; Ebest, G.: High-ohmic poly-Si in high-voltage circuits, Proceedings Conference Applied Electronics 2003, pp. 244-247, 10.-11.09.2003 Pilsen, Tschechien, ISBN 80-7082-951-6
  • König, D.; Zahn, D. R. T.; Ebest, G.: Field Effect Of Fixed Negative Charges On Oxidized Silicon Induced By AlF3 Layers With Fluorine Deficiency, accepted at 9th International Conference on the Formation of Semiconductor Interfaces (ICFSI-9), 15-19 September 2003, Madrid, Spain, doi:10.1016/j.apsusc.2004.05.113
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Diefenbach, K. H.; Denissov, S.; Ebest, G.: Ortsaufgelöste Messung der Minoritätsladungsträgerlebensdauer bei Siliziumsolarzellen mittels MW-PVD (PDF, 416kB), Freiberger Siliziumtage 19.-21.6.2003, Freiberger Forschungshefte B 327, S 91-107, ISBN 3-86012-218-5
  • Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Heinz, S.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Gessner, T.: Development and Characterization of a High Aspect Ratio Vertical FET Sensor for Motion Detection, The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 03, Boston, June 8-12 2003
  • Flaspöhler, M.; Buschnakowski, S.; Kuhn, M.; Kaufmann, C.; Frühauf, J.; Gessner, T.; Ebest, G.; Hübler, A.: Multispectral Image Capturing System Based on a Micro Mirror Device with a Diffraction Grating, Proceedings of The PICS Conference - The Digital Photography Conference, Rochester, NY, pg. 183-187 (2003), ISBN 0-89208-245-3
  • König, D.; Zahn, D. R. T.; Reich, R,; Gottfried, K.; Ebest, G.: P inversion layer solar cells as test for the I-S structure: results and prospects, Poster 1P-D3-21, 3rd World Conference on PV Solar Energy Conversion, 11-18 May 2003, Osaka, Japan
  • Zeun, H.; J. Uhle; Heinz, S.; Ebest, G.: Hochohmige Polysilizium-Widerstände in integrierten Hochvolt-Schaltungen, 10. GMM-Workshop "Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen", pp. 227-230, 20.-22.10.2004 Cottbus, ISSN 0947-1413
  • Hammer, K.; Heinz, S.; Zeun, H.; Ebest, G.: Using of High-end Design Tools in Education, Proceedings Conference Applied Electronics 2004, pp. 64-67, 8.-9.09.2004 Pilsen, Tschechien, ISBN 80-7043-274-8
  • Diefenbach, K. H.; Erler, K.; Mrwa, A.; Denissov, S.; Ebest, G.; Rindelhardt, U.: Emitter Formation at RIE Textured Surfaces, 19th PVSEC Paris, France, June 7-11, 2004, pp. 899-902, ISBN 3-936-338-14-0 / 88-89407-02-6
  • Zeun, H.; Heinz, S.; Ebest, G.: Nonlinear Behaviour of High-ohmic Polysilicon Resistors in Integrated Circuits, Proceedings Conference Applied Electronics 2005, pp. 361-364, 7.-8.09.2005 Pilsen, Tschechien, ISBN 80-7043-369-8
  • Ebest, G.; Mrwa, A.; Erler, K.; Rindelhardt, U.: Light trapping and optical losses in solar cells with RIE textured surfaces, 20th PVSEC Barcelona, June 6-10, 2005, pp. 1213-1215, ISBN 3-936338-19-1
  • König, D.; Scholz, R.; Zahn, D. R. T.; Ebest, G.: Band Diagram of the AlF3/SiO2/Si System, J. Appl. Phys. 97 (2005) 093707, ISSN 0021-8979
  • Heinz, S.; Ebest, G.; Dietrich, J.; Knopke, J.; Miesch, W.: Schaltungsanordnung zur Überbrückung hoher Spannungen mit einem Schaltsignal, US-Anmeldung PCT/DE 03/03264, 24.03.2005
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ebest, G.; Rindelhardt, U.: Experimental Investigations Towards Implementation of RIE and RTP Into the Multicrystalline Solar Cell Process, 21st PVSEC Dresden, 4.-8. Sep. 2006, Publication: 2CV.3.12, ISBN 3-936 338-20-5, pp. 815-817
  • Heinz, S.; Lange, A.; Erler, K.; Ebest, G.; Miesch, W.; Dietrich, J.; Knopke, J.; Pfau, W.: High-Voltage Amplifier for MEMS based Switching Arrays in Wavelength-Division Multiplexing Networks (PDF, 953 kB), IEEE International Symposium on Industrial Electronics, Vigo, 04.-07.06.2007, doi:10.1109/ISIE.2007.4374809
  • Lange, A.; Heinz, S.; Erler, K.; Ebest, G.; Lerner, R.; Eckholdt, U.; Schottmann, K.: Modeling the Leakage Current of Dielectric Isolation Structures in a High-Voltage Semiconductor Technology (PDF, 670 kB), IEEE International Symposium on Industrial Electronics, Vigo, 04.-07.06.2007, doi:10.1109/ISIE.2007.4374811
  • Lerner, R.; Eckoldt, U.; Schottmann, K.; Heinz, S.; Erler, K.; Lange, A.; Ebest, G.: Time dependent isolation capability of high voltage deep trench isolation, 20th International Symposium on Power Semiconductors Devices and ICs, May 2008, ISPSD '08, Orlando, ISBN 978-1-4244-1532-8, doi:10.1109/ISPSD.2008.4538934

Presseartikel