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Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik

Prof. Dr.-Ing. Gunter Ebest



Arbeitsgebiete

  • Leiter der Professur (1993-2007)
  • MOS-Technik (Schwerpunkt CMOS)
  • Integrierte Schaltungstechnik (Schwerpunkt Analog-MOS)
  • Solarzellenforschung

Veröffentlichungen

  • Beyer, A.; Reich, R.; Rennau, M.; Ebest, G.: Corona charging of insulated surface and application in the photovoltaic, Proc. of the 13th European Photovoltaic Solar Energy Conference 1995, Nizza
  • Beyer, A.; Ebest, G.; Reich, R.: Metal Insulator Semiconductor inversion layer solar cell by Rapid Thermal Processing, Appl. Phys. Letters 67 (1995), 697
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Ebest, G.; Kretschmar, H.; Schubert, S.: Mikromechanische Drucksensoren bis 200°C, Design&Elektronik, Sonderheft Sensortechnik, Mai 1995, 49
  • Reiz, S.; Ebest, G.; Melzer, F.; Rößler, F.; Strobel, B.: Untersuchungen zur Modellierung kapazitiver Drucksensoren und zur Einbindung in Schaltungssimulatoren wie PSPICE und ELDO, Tagungsband des 2. Workshop Methoden- und Werkzeugentwicklung für den Mikrosystementwurf, Karlsruhe 1995
  • Symanzik, H.-G.; Rößler, F.; Ebest, G.: Elektrisches Übersprechen in mikromechanischen Arrays, mikroelektronik+mikrosystemtechnik, 5/1995
  • Symanzik, H.-G.; Melzer, F.; Ebest, G.: Ansteuerung eines Spiegel-Aktorarrays, Tagungsband der 2. Tagung Mikrosystemtechnik-Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz, 16.-17.10. 1995
  • Schlegel, C.; Ebest, G.; Erler, K.: Statusbericht zum Projekt "Mikrosystembausteine für Hochtemperaturanwendungen", Vortrag zum Statusseminar, Ulm, Mai 1995
  • Schlegel, C.; Ebest, G.; Erler, K.; Rößler, F.: Komponenten eines Si-Mikrosystems zur Druckmessung für den Einsatz bis 200°C, Abschlußseminar und Präsentation zum Verbundprojekt "Mikrosystembausteine für Hochtemperaturanwendungen", Duisburg, 23.-24.11. 1995
  • Beyer, A.; Ebest, G.: Neue Verfahrensschritte zur Wirkungsgradverbesserung von MIS-Solarzellen und Übertragung auf zukünftige Si-Substrate, Zwischenbericht zum BMBF-Verbundprojekt "Neue Verfahren zur Erhöhung der Leerlaufspannung von MIS-Inversionsschicht-Solarzellen", April 1995
  • Reiz, S.; Ebest, G.; Melzer, F.: Beschreibung und Modellierung physikalischer Systeme, Zwischenbericht zum BMBF-Verbundprojekt METEOR, Januar 1995
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Ebest, G.; Kurth, St.: Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung, P 195 41 616.3
  • Beyer, A.; Ebest, G.; Reich, R.: MIS solar cells with silicon oxynitride tunnel insulator by using rapid thermal processing, Applied Physics Letters 68 (4) 1996 , p.508
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Ebest, G.; Rößler, F.: Sensor- und Schaltungsentwicklung für den Hochtemperaturbereich, Schlußbericht des BMBF-Verbundprojektes HITEMP, April 1996
  • Heinz, S.; Erler, K.; Günther, T.; Melzer, F.; Ebest, G.: Displaysysteme zur Erzeugung stereoskopischer Darstellungen, Abschlußbericht zum SMWK-Verbundprojekt, Dezember 1996
  • Ebest, G.; Hiller, W.; Knorr, U.: A new method and system for the simulation of modular inverters in solar facades, 25th Photovoltaic Specialist Conference, Washington May 1996, pp.1449-1452
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Hahn, R.; Ebest, G.; C. Kaufmann, Geßner, T.: Mikromechanische Bauelemente und Strukturen und Verfahren zu deren Herstellung, P 196 43 318, Herstellung 10/96
  • Reiz, S.; Ebest, G.; Rößler, F.: Modellentwicklung und Vergleich verschiedener Simulationswerkzeuge und Beschreibungssprachen am Beispiel kapazitiver Drucksensoren, 4. Statusseminar METEOR, 18./19. November 1996, FZ Karlsruhe
  • Ebest, G.; Beyer, A.: Neue Verfahren zur Erhöhung der Leerlaufspannung an MIS-Inversionsschicht-Solarzellen, Statusreport 1996 (Photovoltaik), Beitrag Nr.12
  • Reiz, S.; Ebest, G.: Beschreibung und Modellierung physikalischer Systeme, Jahresbericht zum BMBF-Verbundprojekt METEOR, Februar 1996
  • Reiz, S.; Ebest, G.: Methoden- und Werkzeugentwicklung für den Mikrosystementwurf, Abschlußbericht des Verbundprojekts, Juni 1997
  • Ebest, G.; Beyer, A.: Neue Verfahren zur Erhöhung der Leerlaufspannung an MIS-Inversionsschicht-Solarzellen, Abschlußbericht zum Forschungsprojekt, 1997
  • Hiller, W.; Ebest, G.; Lehnhoff, J.: Eine Lösung zur zukunftsorientierten Gestaltung von Solarfassaden an öffentlichen Gebäuden, 12. Symp. Photovol. Solarenergie, Staffelstein 1997, p. 399-406
  • Hiller, W.; Amft, D.; Ebest, G.: Optimization of the PV-Yield in solar facades by different directions, Proc. of the 26th. IEEE PVSC, Anaheim (Cal.) 1997
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Ebest, G.; Kurth, S.: Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung, Erteilung, Nr. 195 41 616
  • Ebest, G.; Beyer, A.; Mrwa, A.; Reich, R.: Neue Verfahren zur Erhöhung der Leerlaufspannung von MIS-Inversionsschicht-Solarzellen, Abschlußbericht zum BMBF-Projekt, März 1998
  • König, D.; Ebest, G.: New Approach to a unipolar thin film Schottky solar cell, 2nd World Conference on PV Solar Energy Conversion, 6-10 July 1998, Vienna, Austria
  • König, D.; Ebest, G.: Novel thin film solar cell model with two antipolar MIS structures (PDF, 75kB), Solar Energy Materials and Solar Cells 5, 67 (1998)
  • Steiniger, C.; Bertz, A.; Höffer, A.; Heinz, S.; Ebest, G.; Geßner, T.: Verträglichkeit von Mikromechanik- und Mikroelektronik-Prozessen, Tagungsband Kolloquium des Sonderforschungsbereiches 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays", Chemnitz 12. Oktober 1999
  • König, D.; Ebest, G.: The negatively charged insulator-semiconductor structure: concepts, technological considerations and applications (PDF, 55kB), Solid State Electronics 44, 111 (2000), doi:10.1016/S0038-1101(99)00214-2
  • König, D.; Ebest, G.: Antipolar counterpart to the positively charged SiOxNy layer for improvement of field effect solar cells (PDF, 149kB), 16th European PV Solar Energy Conference, 1-5 May 2000, Glasgow, Great Britain
  • Ball, M.; Erler, K.; Mrwa, A.; Ebest, G.: Automatic Methods for Treatment of the Dark Current Characteristics of Solar Cells (PDF, 953kB), Poster Presentation, Subject Number 2, 16th European Photovoltaic Solar Energy Conference, 1-5 May 2000, Glasgow/Great Britain
  • Mrwa, A.; Ebest, G.; Rennau, M.; Beyer, A.: High Efficiency MIS Inversion Layer Solar Cells Prepared by Rapid Thermal Process (PDF, 172kB), Poster VA 1/11, 16th European Photovoltaic Solar Energy Conference, 1-5 May 2000, Glasgow/Great Britain
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ball, M.; Ebest, G.: Rapid thermal annealed spin-on glass process for multicrystalline pn-silicon solar cells (PDF, 312kB), Poster VA 1/4, 16th European Photovoltaic Solar Energy Conference, 1-5 May 2000, Glasgow/Great Britain
  • Mrwa, A.; Ebest, G.; Rennau, M.; Beyer, A.: Comparison of different emitter diffusion methods for MINP solar cells: thermal diffusion and RTP, Solar Energy Materials & Solar Cells, Vol. 61, Iss. 2 (2000), pp. 127-134, doi:10.1016/S0927-0248(99)00105-1
  • Erler, K.; Ball, M.; Mrwa, A.; Werner, T.; Ebest, G.: Drastische Minderung der Oberflächenreflexion von multi- und einkristallinem Silizium-Material durch RIE (PDF, 9MB), Poster, Freiberger Forschungsforum, 16.6.2000
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ball, M.; Ebest, G.: Multikristalline Silizium-Solarzellen auf der Basis von spin-on und RTP (PDF, 208kB), Vortrag, Freiberger Forschungsforum, 16.6.2000
  • Schlegel, C.; Symanzik, H.-G.; Heinz, S.; Ebest, G.: Elektrostatisch betätigte Mikroaktoren - integrierte Hochvolt-Verstärker, 14. Internationale Wissenschaftliche Konferenz Mittweida, Scientific Reports, Nr.10, November 2000
  • Schlegel, C.; Symanzik, H.-G.; Heinz, S.; Ebest, G.: Integrierte Hochvolt-Schaltungstechnik, Ergebnispräsentation zum Forschungsvertrag, alpha microelectronics GmbH, Frankfurt/Oder, 10. November 2000
  • König, D.; König, K.; Ebest, G.: Solarzellen-Oberfläche, Deutsches Patent DE 100 57 296, 17. November 2000
  • König, D.; König, K.; Ebest, G.: Solarzellen unter Verwendung eines Kontaktrahmens und Verfahren zu deren Herstellung, Deutsches Patent DE 100 57 297 vom 17. November 2000
  • Ebest, G.; Erler, K.; Mrwa, A.; Ball, M.: Großflächige multikristalline Silizium-Solarzellen mit hohen Wirkungsgraden, Abschlussbericht zum BMWi-Forschungsprojekt, FKZ 0329803
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ball, M.; Ebest, G.; Steckemetz, S.; A. Metz, Hezel, R.: Rapid thermal annealed spin-on glass process for screen printed multicrystalline silicon solar cells (PDF, 1MB), 17th European PVSEC, VC 1.09, Munich, 22-26 October 2001
  • Erler, K.; Ball, M.; Mrwa, A.; Werner, T.; Henker, M.; Ebest, G.: Preparation of RIE textured silicon surfaces and application to typical solar cells processing (PDF, 5MB), 17th European PVSEC, VC 1.10, Munich, 22-26 October 2001
  • Mrwa, A.; Ebest, G.; Rennau, M.; Beyer, A.: High efficiency MINP solar cells: Comparison between conventional and rapid thermal process (PDF, 192kB), 17th European PVSEC, VC 1.29, Munich, 22-26 October 2001
  • König, D.; Ebest, G.: Hole collecting contacts by Pt with PtSi formation (PDF, 438kB), Poster VC1-28, 17th European PV Solar Energy Conference, 22 - 26 October 2001, Munich, Germany, proceedings pp. 1503
  • Heinz, S.; Symanzik, H.-G.; Ebest, G.: Integrierte Hochvoltverstärker für Arrayapplikationen, 5. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 23./24. Oktober 2001
  • Korndörfer, F.; Heinz, S.; Ebest, G.: Parameterextraktion und Modellierung eines vertikalen DMOS-Transistors in SOI-Technologie, Informationstagung Mikroelektronik 2001, Wien, 10./11. Oktober 2001
  • Heinz, S.; Ebest, G.: Integrierte Hochvoltverstärkerschaltungen zur Ansteuerung mikromechanischer Aktorarrays, Informationstagung Mikroelektronik 2001, Wien, 10./11. Oktober 2001
  • König, D.; Scholz, R.; Gemming, S.; Thurzo, I.; Kampen, T. U.; Zahn, D. R. T.; Ebest, G.: Evidence for high negative charge densities in AlF3 coatings on oxidized silicon: a promising source for large drift fields, Poster P28, International Workshop on Nanostructures in Photovoltaics, 28 July - 4 August 2001, Max-Planck-Institut für komplexe Systeme Dresden, Germany
  • König, D.; Ebest, G.: New contact frame design for minimizing losses due to edge recombination and grid-induced shading (PDF, 48kB), Poster P3, 12th International PV Science & Engineering Conference, 11-15 June 2001, Cheju Island, Korea, Proceedings pp. 117
  • König, D.; Ebest, G.: Novel external field source by localization of electrons for improving field effect solar cells (PDF, 87kB), Oral Session OC9.3, 12th International PV Science & Engineering Conference, 11-15 June 2001, Cheju Island, Korea, Proceedings pp. 285
  • König, D.; Ebest, G.: Negative Festladungen als externe Driftfeldquellen: Neue Möglichkeiten zur Verbesserung von Silizium-Solarzellen (PDF, 154kB), Workshop "Verfahren und Materialien für die Photovoltaik" der Fördergemeinschaft Dünne Schichten und der ANTEC Solar GmBH Rudisleben, 29.-30. März 2001, Arnstadt
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ball, M.; Ebest, G.: Multikristalline Siliziumsolarzellen, Workshop "Verfahren und Materialien für die Photovoltaik", 29./30. März 2001, Rudisleben/Germany
  • Buschnakowski, S.; Ebest, G.; Heinz, S.; Schlegel, C.: Integrated high voltage amplifiers to drive capacitive microactuators (JPEG, 2,2MB), MICRO SYSTEM Technologies 2001, Posterpräsentation, Düsseldorf, 27.-29.03.2001, ISBN 3-8007-2601-7
  • Schlegel, C.; Heinz, S.; Ebest, G.: Integrierte Front End - Schaltungen für ein piezoelektrisches Mikrowandler - Phased Array, Fachtagung Informationstechnik, 21. - 22.03.2001, Magdeburg, ISBN 3-930385-29-5
  • König, D.; Rennau, M.; Henker, M.; Ebest, G.: Evidence of a high density of fixed negative charges in an insulation layer compound on silicon (PDF, 212kB), Thin Solid Films, 126 (2001), pp. 126-131, ISSN: 0040-6090, doi:10.1016/S0040-6090(00)01926-X
  • Heinz, S.; Symanzik, H.-G.; Ebest, G.; alpha microelectronics GmbH: Monolithisch integrierter Hochspannungsverstärker, Deutsche Patentanmeldung, März 2001
  • Erler, K.; Mrwa, A.; Diefenbach, K. H.; Ebest, G.; Werner, T.; Schwarz, T.: Application of cost effective solar cell processing steps on RIE textured silicon surfaces (PDF, 544kB), PV in Europe - From PV Technology to Energy Solutions Conference, V2.9, 07-11 october 2002, Rome
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Diefenbach, K. H.; Ebest, G.: Rapid and classic thermal processing of block cast multicrystalline and edge defined film-fed growth EFG silicon (PDF, 397kB), PV in Europe - From PV Technology to Energy Solutions Conference, V2.8, 07-11 october 2002, Rome
  • Korndörfer, F.; Heinz, S.; Zeun, H.; Ebest, G.: Specifics of high voltage technologies - Characterization and modeling of HV-DMOS transistors, Proceedings Conference Applied Electronics 2002, pp. 114-117, 11.-12.09.2002 Pilsen Tschechien, ISBN 80-7082-881-1
  • König, D.; Scholz, R.; Gemming, S.; Thurzo, I.; Kampen, T. U.; Zahn, D. R. T.; Ebest, G.: Evidence for high negative charge densities in AlF3 coatings on oxidized silicon: a promising source for large drift fields, Physica E 14, 259 (2002), doi:10.1016/S1386-9477(02)00399-5
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ebest, G.; Steckemetz, S.; Hezel, R.: RT Annealed Spin-on Glass Process for Screen Printed Multicrystalline Silicon Solar Cells (PDF, 94kB), World Renewable Energy Congress VII, Poster, Cologne 2002
  • König, D.; Ebest, G.: Novel external drift field source by localization of electrons for improvement of solar cells, Solar Energy Materials and Solar Cells 75, 335 (2002)
  • König, D.; Ebest, G.: New contact frame design for minimizing losses due to edge recombination and grid-induced shading, Solar Energy Materials and Solar Cells 75, 381 (2002), doi:10.1016/S0927-0248(02)00184-8
  • Dietrich, J.; Knopke, J.; Miesch, W.; Ebest, G.; Heinz, S.: Schaltungsanordnung zur Überbrückung hoher Spannungen mit einem Schaltsignal, Deutsche Patentanmeldung 102 46 083.3, 27.09.2002
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Geßner, T.: Vertikaler Feldeffekttransistor mit beweglicher Gate-Elektrode für die Bewegungsdetektion, 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz, 29.-30.10. 2003, ISBN 3-00-011655-9
  • Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Hanf, M.; Heinz, S.; Geßner, T.; Dötzel, W.; Ebest, G.: Technologieentwicklung für ein Mikrospiegelarray mit integrierter Elektronik, 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz, 29.-30.10. 2003, ISBN 3-00-011655-9
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Geßner, T.: A High Aspect Ratio Vertical FET Sensor for Motion Detection (PDF, 3MB / Award, 90kB), MICRO SYSTEM Technologies 2003, Posterpräsentation, München, 7.-8.10.2003; ISBN 3-77237020-9
  • Buschnakowski, S.; Heinz, S.; Zeun, H.; Korndörfer, F.; Ebest, G.: Integrierter Zweiphasen-Lock-In-Verstärker zur kapazitiven Signaldetektion mikromechanischer Vibrationssensoren, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 343-348, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Korndörfer, F.; Kuschel, B.; Heinz, S.; Zeun, H.; Buschnakowski, S.; Ebest, G.: Charakterisierung von Bauelementen unter dem Aspekt der Selbsterwärmung, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 419-424, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Korndörfer, F.; Schuberth, R.; Zeun, H.; Ebest, G.; Geßner, T.: Vertikaler Feldeffekttransistor mit beweglicher Gate-Elektrode für die Bewegungsdetektion, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 487-492, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Korndörfer, F.; Zeun, H.; Hiller, K.; Hahn, R.; Ebest, G.: Integrierter 48-kanaliger Hochvolt-Schalter zur Ansteuerung mikromechanischer Schwenkspiegel, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 493-498, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Zeun, H.; Korndörfer, F.; Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Ebest, G.: Summation phasenverschobener Signale, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 529-533, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Zeun, H.; Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Korndörfer, F.; Schreiter, M.; Ebest, G.: High-ohmic poly-Si in high-voltage circuits, Proceedings Conference Applied Electronics 2003, pp. 244-247, 10.-11.09.2003 Pilsen, Tschechien, ISBN 80-7082-951-6
  • König, D.; Zahn, D. R. T.; Ebest, G.: Field Effect Of Fixed Negative Charges On Oxidized Silicon Induced By AlF3 Layers With Fluorine Deficiency, accepted at 9th International Conference on the Formation of Semiconductor Interfaces (ICFSI-9), 15-19 September 2003, Madrid, Spain, doi:10.1016/j.apsusc.2004.05.113
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Diefenbach, K. H.; Denissov, S.; Ebest, G.: Ortsaufgelöste Messung der Minoritätsladungsträgerlebensdauer bei Siliziumsolarzellen mittels MW-PVD (PDF, 416kB), Freiberger Siliziumtage 19.-21.6.2003, Freiberger Forschungshefte B 327, S 91-107, ISBN 3-86012-218-5
  • Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Heinz, S.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Gessner, T.: Development and Characterization of a High Aspect Ratio Vertical FET Sensor for Motion Detection, The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 03, Boston, June 8-12 2003
  • Flaspöhler, M.; Buschnakowski, S.; Kuhn, M.; Kaufmann, C.; Frühauf, J.; Gessner, T.; Ebest, G.; Hübler, A.: Multispectral Image Capturing System Based on a Micro Mirror Device with a Diffraction Grating, Proceedings of The PICS Conference - The Digital Photography Conference, Rochester, NY, pg. 183-187 (2003), ISBN 0-89208-245-3
  • König, D.; Zahn, D. R. T.; Reich, R,; Gottfried, K.; Ebest, G.: P inversion layer solar cells as test for the I-S structure: results and prospects, Poster 1P-D3-21, 3rd World Conference on PV Solar Energy Conversion, 11-18 May 2003, Osaka, Japan
  • Zeun, H.; J. Uhle; Heinz, S.; Ebest, G.: Hochohmige Polysilizium-Widerstände in integrierten Hochvolt-Schaltungen, 10. GMM-Workshop "Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen", pp. 227-230, 20.-22.10.2004 Cottbus, ISSN 0947-1413
  • Hammer, K.; Heinz, S.; Zeun, H.; Ebest, G.: Using of High-end Design Tools in Education, Proceedings Conference Applied Electronics 2004, pp. 64-67, 8.-9.09.2004 Pilsen, Tschechien, ISBN 80-7043-274-8
  • Diefenbach, K. H.; Erler, K.; Mrwa, A.; Denissov, S.; Ebest, G.; Rindelhardt, U.: Emitter Formation at RIE Textured Surfaces, 19th PVSEC Paris, France, June 7-11, 2004, pp. 899-902, ISBN 3-936-338-14-0 / 88-89407-02-6
  • Zeun, H.; Heinz, S.; Ebest, G.: Nonlinear Behaviour of High-ohmic Polysilicon Resistors in Integrated Circuits, Proceedings Conference Applied Electronics 2005, pp. 361-364, 7.-8.09.2005 Pilsen, Tschechien, ISBN 80-7043-369-8
  • Ebest, G.; Mrwa, A.; Erler, K.; Rindelhardt, U.: Light trapping and optical losses in solar cells with RIE textured surfaces, 20th PVSEC Barcelona, June 6-10, 2005, pp. 1213-1215, ISBN 3-936338-19-1
  • König, D.; Scholz, R.; Zahn, D. R. T.; Ebest, G.: Band Diagram of the AlF3/SiO2/Si System, J. Appl. Phys. 97 (2005) 093707, ISSN 0021-8979
  • Heinz, S.; Ebest, G.; Dietrich, J.; Knopke, J.; Miesch, W.: Schaltungsanordnung zur Überbrückung hoher Spannungen mit einem Schaltsignal, US-Anmeldung PCT/DE 03/03264, 24.03.2005
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Ebest, G.; Rindelhardt, U.: Experimental Investigations Towards Implementation of RIE and RTP Into the Multicrystalline Solar Cell Process, 21st PVSEC Dresden, 4.-8. Sep. 2006, Publication: 2CV.3.12, ISBN 3-936 338-20-5, pp. 815-817
  • Heinz, S.; Lange, A.; Erler, K.; Ebest, G.; Miesch, W.; Dietrich, J.; Knopke, J.; Pfau, W.: High-Voltage Amplifier for MEMS based Switching Arrays in Wavelength-Division Multiplexing Networks (PDF, 953 kB), IEEE International Symposium on Industrial Electronics, Vigo, 04.-07.06.2007, doi:10.1109/ISIE.2007.4374809
  • Lange, A.; Heinz, S.; Erler, K.; Ebest, G.; Lerner, R.; Eckholdt, U.; Schottmann, K.: Modeling the Leakage Current of Dielectric Isolation Structures in a High-Voltage Semiconductor Technology (PDF, 670 kB), IEEE International Symposium on Industrial Electronics, Vigo, 04.-07.06.2007, doi:10.1109/ISIE.2007.4374811
  • Lerner, R.; Eckoldt, U.; Schottmann, K.; Heinz, S.; Erler, K.; Lange, A.; Ebest, G.: Time dependent isolation capability of high voltage deep trench isolation, 20th International Symposium on Power Semiconductors Devices and ICs, May 2008, ISPSD '08, Orlando, ISBN 978-1-4244-1532-8, doi:10.1109/ISPSD.2008.4538934
  • Zwei Hände halten einen bunten Würfel.

    6. „Tag der Mathematik“ zwischen Big Data und künstlicher Intelligenz

    Fakultät für Mathematik der TU Chemnitz lädt am 23. März 2024 ins Zentrale Hörsaal- und Seminargebäude zu anschaulichen Vorträgen, Mitmach-Ausstellung und einem großen Schülerteamwettbewerb ein – der Eintritt ist frei …

  • Ein Mann lächelt, hat seine Arme verschränkt und schaut nach oben.

    Gestalte die Welt wie Finn mit MINT!

    Videoclip der TU Chemnitz mit besonderem Fokus auf Mathematik, Informatik, Naturwissenschaften und Technik (MINT) erobert von März bis April 2024 nicht nur mehrere Kino-Leinwände in Sachsen …

  • Eine junge Frau arbeitet an einer Werkzeugmaschine.

    Lehrwerkstatt lädt zum „Schnuppernachmittag“ ein

    Interessierte an einer Ausbildung zum/zur Industriemechaniker/-in können am 3. April 2024 die Lehrwerkstatt an der TU Chemnitz kennenlernen – Ausbilder Felix Matthes beantwortet Fragen zu den Ausbildungsinhalten – um Anmeldung wird gebeten …

  • Büste eines Mannes vor einer Burgmauer

    So kommt mehr Nachhaltigkeit in die Lehre

    TU Chemnitz ist gemeinsam mit der Universität Leipzig und der Hochschule für Technik und Wirtschaft Dresden am Projekt TrafoSax beteiligt, indem praktisch umsetzbare Konzepte zur breiten Implementierung von Bildung für nachhaltige Entwicklung (BNE) entwickelt werden …