Dr.-Ing. Stephan Buschnakowski

Arbeitsgebiete

• Schaltungs- und Layoutentwurf im Rahmen des SFB 379 (Sonderforschungsbereich "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays"),
  Teilprojekte:
  • A4: Adaptive Mehrbereichs-Sensorarrays zur Vibrationsanalyse
  • B5: Beugungsgitter-Mikrospiegel als Sensorarray für eine spektrale Bildscanner-Technologie
  • C5: Vertikal-FET in oberflächennaher Si-Bulk-Mikromechanik

Veröffentlichungen

• Buschnakowski, S.; Ebest, G.; Heinz, S.; Schlegel, C.: Integrated high voltage amplifiers to drive capacitive microactuators (JPEG, 2,2MB), MICRO SYSTEM Technologies 2001, Posterpräsentation, Düsseldorf, 27.-29.03.2001, ISBN 3-8007-2601-7
• Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Geßner, T.: Vertikaler Feldeffekttransistor mit beweglicher Gate-Elektrode für die Bewegungsdetektion, 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz, 29.-30.10. 2003, ISBN 3-00-011655-9
• Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Geßner, T.: A High Aspect Ratio Vertical FET Sensor for Motion Detection (PDF, 3MB / Award, 90kB), MICRO SYSTEM Technologies 2003, Posterpräsentation, München, 7.-8.10.2003; ISBN 3-77237020-9
• Buschnakowski, S.; Heinz, S.; Zeun, H.; Korndörfer, F.; Ebest, G.: Integrierter Zweiphasen-Lock-In-Verstärker zur kapazitiven Signaldetektion mikromechanischer Vibrationssensoren, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 343-348, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
• Korndörfer, F.; Kuschel, B.; Heinz, S.; Zeun, H.; Buschnakowski, S.; Ebest, G.: Charakterisierung von Bauelementen unter dem Aspekt der Selbsterwärmung, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 419-424, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
• Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Korndörfer, F.; Schuberth, R.; Zeun, H.; Ebest, G.; Geßner, T.: Vertikaler Feldeffekttransistor mit beweglicher Gate-Elektrode für die Bewegungsdetektion, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 487-492, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
• Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Korndörfer, F.; Zeun, H.; Hiller, K.; Hahn, R.; Ebest, G.: Integrierter 48-kanaliger Hochvolt-Schalter zur Ansteuerung mikromechanischer Schwenkspiegel, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 493-498, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
• Zeun, H.; Korndörfer, F.; Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Ebest, G.: Summation phasenverschobener Signale, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 529-533, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
• Zeun, H.; Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Korndörfer, F.; Schreiter, M.; Ebest, G.: High-ohmic poly-Si in high-voltage circuits, Proceedings Conference Applied Electronics 2003, pp. 244-247, 10.-11.09.2003 Pilsen, Tschechien, ISBN 80-7082-951-6
• Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Heinz, S.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Gessner, T.: Development and Characterization of a High Aspect Ratio Vertical FET Sensor for Motion Detection, The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 03, Boston, June 8-12 2003
• Flaspöhler, M.; Buschnakowski, S.; Kuhn, M.; Kaufmann, C.; Frühauf, J.; Gessner, T.; Ebest, G.; Hübler, A.: Multispectral Image Capturing System Based on a Micro Mirror Device with a Diffraction Grating, Proceedings of The PICS Conference - The Digital Photography Conference, Rochester, NY, pg. 183-187 (2003), ISBN 0-89208-245-3
• Buschnakowski, S.: Alternatives Antriebs- und Auswerteverfahren für die Mikrosystemtechnik, Chemnitz, Oktober 2004
• Reuter,D.; Bertz,A.; Billep,D.; Scheibner,D.; Buschnakowski, S.; Dötzel,W.; Geßner,T.: In-Process Gap Reduction of Capacitive Transducers, Transducers 2005, Seoul (Korea), 2005 June 5-9; Tech. Digest, pp 1358-1361, ISBN 0-7803-8995-6, doi:10.1109/SENSOR.2005.1497333