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Entwicklungstrends der Mikrosystemtechnik

Wissenschaftler der TU Chemnitz und des Fraunhofer ENAS präsentieren ihre Ergebnisse auf der 10. Smart Systems Integration Conference in München am 9. und 10. März 2016

  • Diese Aufnahme eines Rasterelektronenmikroskops zeigt einen thermischen Aktor für In-Situ-Tests im Transmissionselektronenmikroskop und Vergrößerung der Kohlenstoffnanoröhrchen, die in die Mikrostruktur auf Waferlevel integriert sind (hergestellt im Zentrum für Mikrotechnologien, Carbon Nano Device Gruppe, Dr. Sascha Hermann und Jens Bonitz).

Unter der Leitung von Prof. Dr. Thomas Geßner, Direktor des Zentrums für Mikrotechnologien der TU Chemnitz und Direktor des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS, findet am 9. und 10. März 2016 bereits zum zehnten Mal die internationale Konferenz und Ausstellung „Smart Systems Integration Conference“ in München statt. Rund 300 Experten aus Wissenschaft und Industrie treffen sich, um über aktuelle Entwicklungstrends, neue Technologien und Komponenten sowie Anwendungen im Bereich Medizintechnik, Automobil und Industrie 4.0 zu diskutieren.

Schwerpunkt der diesjährigen Konferenz sind die Themen Hardware für das Internet der Dinge sowie gedruckte, flexible Systeme. Die Chemnitzer Wissenschaftler präsentieren Ergebnisse zu beiden Haupthemen. Entsprechend der Marktstudien von Yole Développement gewinnt das Drucken von intelligenten Systemen in den nächsten Jahren zunehmend an Bedeutung. Im Rahmen eine Paneldiskussion wird Prof. Dr. Reinhard Baumann, Professur für Digitale Drucktechnologie und Bebilderungstechnik der Fakultät für Maschinenbau, aktuelle Trends diskutieren.

Wissenschaftler der TU Chemnitz stellen darüber hinaus aktuelle Ergebnisse in Vorträgen und Postern vor. Zwei Themen sind dabei von besonderer Relevanz. So spricht Steffen Hartmann, Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik über den In-Situ-Test des Interfaces zwischen Kohlenstoffnanoröhren und Metallen im Transmissionselektronenmikroskop. Kohlenstoffnanoröhren haben auf Grund ihrer Eigenschaften ein hohes Potential für den Einsatz als Sensorelemente. Zur Sensorfunktion sind metallische Elektroden notwendig. Über sie wird nicht nur der elektrische Kontakt hergestellt, sondern auch die Kohlenstoffnanoröhrchen mechanisch fixiert. Deshalb ist dieses Interface besonders relevant für die Funktionalität dieser neuartigen Sensoren. Die Arbeiten wurden seitens der Volkswagen Stiftung im Projekt „Piezoresistive Carbon Nanotubes for condition monitoring and reliability considerations“ gefördert.

Prof. Dr. Stefan Schulz, Honorarprofessor für Technologien der Nanoelektronik der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, präsentiert die Möglichkeiten der Kooperation mit dem Leistungszentrum „Funktionsintegration für die Mikro-/Nanoelektronik“. Dieses vom sächsischen Wissenschaftsministerium kofinanzierte Leistungszentrum hat zum Ziel, ein Eco-System für die schnelle Überführung von Forschungsergebnissen in innovative Produkte bereitzustellen und so die Stärken des Standorts Sachsen konsequent weiterzuentwickeln. Die zentrale Säule ist ein Plattformprojekt, in dem die vier Fraunhofer-Kerninstitute IPMS, ENAS, IZM-ASSID und IIS-EAS ausgerichtet am Bedarf innovativer Produkte gemeinsam eine flexible Technologie- und Entwicklungsplattform für innovative Bauelemente und Systeme und damit die inhaltliche Basis für alle weiteren Arbeiten des Zentrums schaffen. Sie werden dabei durch ausgewählte Professuren der der TU Chemnitz, der TU Dresden und der HTW Dresden unterstützt, mit denen jeweils schwerpunktmäßig ein Fraunhofer-Institut kooperiert. Für die TU Chemnitz sind dies die im Zentrum für Mikrotechnologien verankerten Professoren Bernhard Wunderle, Karla Hiller, Stefan Schulz und Thomas Geßner.

Ein Interview mit Prof. Dr. Thomas Geßner zur 10. Smart Systems Integration Conference ist veröffentlicht unter: http://www.mikroproduktion.com/uploads/media/10_MI_1_16_Mesago_Interview-online.pdf

(Autorin: Dr. Martina Vogel)

Katharina Thehos
07.03.2016

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