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Am Tag der offenen Tür Karriere gestartet

Dr. Danny Reuter leitet seit Dezember 2014 die Abteilung Lithografie und Strukturierungsprozesse am Zentrum für Mikrotechnologien – Der Tag der offenen Tür brachte ihn einst nach Chemnitz

Als Danny Reuter im Frühjahr 1996 in seine Geburtsstadt Chemnitz zurückkehrte, ahnte er noch nicht, dass sie zu seiner neuen Heimat werden sollte. Der Schleswig-Holsteiner Abiturient ist zu diesem Zeitpunkt auf der Suche nach einem Studienplatz. Am Tag der offenen Tür der TU informierte er sich damals über das hiesige Angebot. Letztendlich überzeugte ihn Prof. Dr. Wolfram Dötzel durch einen Vortrag, sein Elektrotechnikstudium in Chemnitz zu beginnen, das er 2002 auch erfolgreich abschloss. Im Anschluss daran erhielt Reuter ein Angebot für eine Doktorandenstelle am Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) bei Prof. Dr. Thomas Geßner. Die Entscheidung fiel ihm nicht schwer: „Der Professor genießt ein hohes Ansehen bei den Studenten und hat viele Kontakte zur Industrie. Also habe ich die Gelegenheit am Schopf gepackt und dort promoviert.“ Thematisch beschäftigte er sich mit der Dünnschichtverkappung von Beschleunigungssensoren, also einem platz- und kostensparenden Schutz für Sensoren, die heute in jedem Auto oder Handy zu finden sind. Daran anschließend wechselte der frischgebackene Doktor zum Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS, das eng mit dem ZfM zusammenarbeitet. Dort fasste er die Integration von Nanostrukturen in Mikrosystemen ins Auge – erstere sind viel kleiner als letztere. Diesem Thema blieb er auch 2009 treu, als er in einem Team um Prof. Geßner das Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration (nanett) an der TU Chemnitz beantragte und bis Oktober 2014 koordinierte. Vom Bundesministerium für Bildung und Forschung mit 14 Millionen Euro gefördert, dient das Netzwerk der Wirtschaft als vielseitiger Entwicklungspartner.

Seit Dezember 2014 ist Reuter nun neuer Leiter der Abteilung Lithografie und Strukturierungsprozesse am ZfM, übrigens dieselbe Abteilung, an der er einst promovierte. Seine Aufgabe dort gliedert sich in mehrere Teilbereiche. Bei der Lithografie werden Mikro- oder Nanostrukturen optisch auf eine als Wafer bezeichnete Grundplatte übertragen, ein Prozess der wesentlich für die industrielle Herstellung von beispielsweise Computerchips ist. Bei seiner Arbeit kann er dabei auf die neue und sehr wertvolle Elektronenstrahlbelichtungsanlage des Fraunhofer-Instituts zurückgreifen, die Strukturen bis 20 Nanometer schreiben kann. Außerdem soll neues Equipment für die Lithografie von 200-Millimeter-Wafern besorgt werden, bisher beschränkte sich selbiges auf 100 bis 150 Millimeter. In einem anderen Aufgabenbereich gilt es für Reuter die ebenfalls für die Chipproduktion relevanten Strukturierungsprozesse anzuwenden und weiterzuentwickeln, zu denen beispielsweise Nass- und Trockenätzen gehören. Des Weiteren soll die AIM-Technologie zur Herstellung mikromechanischer Komponenten vorangetrieben werden. Dazu will Reuter die Zusammenarbeit mit langjährigen Partnern, wie GEMAC und EDC aus Chemnitz, First Sensor aus Berlin oder Lenord+Bauer aus Oberhausen fortsetzen. Momentan wird beispielsweise an der Entwicklung eines Warnsystems zur Detektion von Schäden an Schienenfahrzeugen getüftelt, das den Schienenverkehr sicherer machen soll. Komplettiert wird Reuters Aufgabenfeld durch seine Vorlesung „Technologien für Mikro- und Nanosysteme“, die für den Masterstudiengang Mikrosysteme und Mikroelektronik an der TU Chemnitz angeboten wird.

Allgemein empfindet es Reuter als sehr wichtig, Nachwuchs zu gewinnen und gut auszubilden: „Man muss den Studenten die nötigen Grundlagen vermitteln, damit sie im späteren Berufsleben darauf zurückgreifen können.“ Momentan herrsche ein großer Bedarf an gut ausgebildeten Ingenieuren und vor allem die Aussichten als deutschsprachiger Absolvent seien sehr gut. „Es gibt recht wenige Einheimische, die hier studieren und die vielen Studierenden aus China und Indien kehren nach dem Abschluss oft wieder in ihre Heimat zurück.“ Interessierten bietet der kommende Tag der offenen Tür am 15. Januar 2015 eine gute Gelegenheit, sich über die Studienmöglichkeiten an der TU Chemnitz zu informieren.

(Autor: Sebastian Muckelbauer)

Katharina Thehos
13.01.2015

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