„Best Paper Award“ für interdisziplinäres Forschungsteam
Chemnitzer Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler publizierten erfolgreich ihre Forschungsarbeiten zur Abscheidung atomar dünner Kobaltschichten im „Journal of Vacuum Science & Technology A“
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Die Hauptautorinnen und -autoren der Studie (v. l.): Dr. Linda Jäckel, Mathias Franz, Dr. Xiao Hu und Dr. Lysann Kaßner. Foto: ZfM -
Elektronenmikroskopaufnahme der mit Kobalt beschichteten Fotolack-Teststruktur. Sie stellt ein Balkendiagramm dar, bei dem jeder Streifen einen halben Mikrometer breit ist. Das Diagramm zeigt die mittlere Lufttemperatur Deutschlands seit Aufzeichnungsbeginn im Jahr 1881. Der Wert 4 wurde zur besseren Veranschaulichung der räumlichen Struktur herausgezoomt. Fotomontage: Mathias Franz
Forscherinnen und Forscher des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien und der Professur Anorganischen Chemie der Technischen Universität Chemnitz haben in Kooperation mit dem Fraunhofer Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS, der scia Systems GmbH und der Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH einen Prozess für die Niedrigtemperatur-Atomlagenabscheidung (ALD) von metallischem Kobalt entwickelt.
Mit der an der TU Chemnitz entwickelten Chemikalie CoCOhept können die Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler mit dem zyklischen ALD-Verfahren schrittweise metallisches Kobalt auf beliebige Oberflächen Atomlage für Atomlage aufbringen. Anschaulich demonstriert haben sie dies auf einer speziellen Fotolack-Teststruktur im Mikrometermaßstab: dem wahrscheinlich kleinsten Klimadiagramm der Welt. Die Ergebnisse ihrer Arbeit haben sie im „Journal of Vacuum Science & Technology A“ veröffentlicht. Für diese Arbeit wurden sie Ende Juni 2025 vom Journal im Rahmen der ALD/ALE-Konferenz in Südkorea mit dem „Best Paper Award“ ausgezeichnet.
Die preisgekrönte OpenAccess-Veröffentlichung ist unter https://doi.org/10.1116/6.0004248 verfügbar.
Weitere Informationen erteilt Mathias Franz, E-Mail mathias.franz@s2015.tu-chemnitz.de.
Mario Steinebach
01.07.2025
