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Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme
Failure Analytical Methods for Micro and Nano Systems
Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme 

Failure Analytical Methods for Micro and Nano Systems

Verantwortlich:  Prof. Dr. Bernhard Wunderle

Diese Lehrveranstaltung wird in ausschließlich englischer Sprache unter dem Orginaltitel "Failure Analytical Methods for Micro and Nano Systems" gehalten.

Für diese Lehrveranstaltung gibt es kein deutschsprachiges Pendant.

Alle Unterlagen sowie aktuelle Informationen sind abrufbar über den OPAL-Kurs: Failure Analytical Methods for Micro and Nano Systems  .

Offizielle Termine der Lehrveranstaltung in diesem Semester

Nummer Name Zeit Raum Details
244036-755
[Praktikum]
Dienstag (14-täglich, ungerade KW)
07:30-10:45
2/N010
(alt: C10.010)
244036-750
[Vorlesung]
Mittwoch (Wöchentlich)
15:30-17:00
2/N012
(alt: C10.012)

Allgemeine Informationen

  • Sprache: Englisch
  • Teilnehmer:
    • wahlobligatorisch: M_MN, M_MSMN
  • Lehrformen:
    • Vorlesung: 2 LVS im Wintersemester
    • Übung: 2 LVS im Wintersemester
  • Prüfung: Klausur (90 min)
  • Leistungspunkte: 5
  • Arbeitsaufwand: 150 AS

Qualifikationsziele

Die Studenten erlangen Kenntnisse auf dem Gebiet der fehleranalytischen Methoden für Mikro- und Nanosysteme und verstehen die zugrundeliegenden physikalischen Prinzipien. Sie sind in der Lage, ihr Wissen auf typische Szenarien bei der Material- und Fehleranalyse im Rahmen einer Systemintegration im Mikro- und Nanobereich anzuwenden. Dabei können sie einen Bezug zur thermo-mechanischen Zuverlässigkeit herstellen. Aus dem Praktikum kennen sie typische Resultate (Fehlerbilder) sowie Limitierungen und haben Kenntnisse zur Kontrastentstehung und zu parasitären Effekten. Sie haben ein starkes interdisziplinäres Verständnis zu Werkstoffen und elektronischen Systemen in Grundlagen und Anwendung.

Inhalt

Motivation und Anknüpfung an die Herausforderungen der Systemintegration: Mikro- und Nanosysteme, Zuverlässigkeit, Fehlermöglichkeiten & Industrierelevanz. Vermittlung der Grundlagen, Anwendung und Bewertung der folgenden Methoden/Techniken:
  • Ultraschallmikroskopie (SAM)
  • Rasterlektronenmikroskopie (REM) und fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB)
  • Transmissionselektronenmikroskoopie (TEM)
  • Energiedispersive Rüntgenspektroskopie (EDX),
  • Elektronrückstreubeugung (EBSD)
  • Röntgenbeugung (XRD)
  • Raman-Spektroskopie
  • Atomkraftmikroskopie (AFM)
  • Infrarotthermographie (IRT) & Thermoreflektanz (TR)
  • Photoelektronenspektroskopie (XPS)
  • Computertomographie (CT)
  • Ki generiertes Bild

    Offen für Argumente geht in die zweite Runde

    Online-Debattenformat der Juniorprofessur Soziologie der TU Chemnitz thematisiert am 10. September 2025 die Rolle der Solarenergie im Zuge der Energiewende …

  • Gruppe vieler Menschen

    Let's run #TUCgether!

    Zum Jubiläum des Chemnitzer Firmenlaufs gingen 266 Laufbegeisterte für die TU Chemnitz an den Start …

  • Menschen stehen vor einer Leinwand

    Erfolgreiche Summer School an der TU Chemnitz

    Professur Medienpsychologie und die Hochschulallianz Across begrüßten zur Summer School „How much science is in science fiction?“ medienbegeisterte Nachwuchswissenschaftlerinnen und -wissenschaftler aus neun verschiedenen Ländern …

  • Menschen stehen vor einem Haus

    Als Azubi an die Uni? Ja, klar!

    Kanzler der TU Chemnitz begrüßte neue Auszubildende und gratulierte Absolventinnen und Absolventen zum erfolgreichen Berufsabschluss – TU Chemnitz bildet aktuell in zehn Berufen aus …