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Professur Smart Systems Integration
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Professur Smart Systems Integration 

Student Jobs, Thesis

NEW: Students of the Master course »Micro and Nano Systems« should apply for a research project on Bildungsportal Sachsen.

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Im Rahmen dieser Arbeit sollen Trockenätzversuche an SiO2 und Si3N4 auf Waferlevel durchgeführt, Versuchsparameter hinsichtlich Selektivität variiert und die Ergebnisse ausgewertet werden.
Konkret soll eine Selektivität von mindestens 1:30 zwischen SiO2 und Si3N4 erreicht werden, indem das F/C-Verhältnis eingestellt wird. Praktisch wird dieses Verhältnis über den Gasfluss der Prozessgase (CHF3, CF4) bestimmt. Die Experimente werden an SiO2 und Si3N4 Schichten sowie SiO2/Si3N4 Stapeln auf Si-Wafern durchgeführt.

Zu den Aufgaben zählen:

  • Literaturrecherche (Trockenätzen/RIE, F/C-Verhältnis, SiO2/SiN Ätzmechanismen, …)
  • Versuchsplanung
  • Versuchsdurchführung an der Ätzanlage
  • Charakterisierung an Messgeräten (Mikroskop, Profilometer, REM, …)
  • Auswertung und Präsentation der Ergebnisse
    Die praktischen Versuche werden im Reinraum durchgeführt.

Literatur:

[1] Journal of Vacuum Science & Technology A 17, 26 (1999); https://doi.org/10.1116/1.582108

[2] J. Vac. Sci. Technol. A 38, 050803 (2020); https://doi.org/10.1116/6.0000395


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Possible as: Student research project

Addressed topics: MEMS, Nano technology, Measurement / analytics, Processes / technology, Review of Literature

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#298  

Labels: Student research project   Student Assistance   Bachelor-Thesis   Master-Thesis   Diploma Thesis   PhD Position  

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