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| Helke,C.; Seiler,J.; Meinig,M.; Grossmann,T.D.; Bonitz,J.; Haase,M.; Zimmermann,S.; Ebermann,M.; Kurth,S.; Reuter,D.; Hiller,K.: Integration of (Poly-Si/Air)n Distributed Bragg Reflectors in a 150 mm Bulk Micromachined Wafer-Level MOEMS Fabrication Process.. IEEJ Trans Elec Electron Eng. |
Universität überzeugt insbesondere in den aktuell gerankten Fachgebieten Chemie, Informatik, Mathematik, Physik und Sportwissenschaft …
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