Professur Smart Systems Integration
Abgeschlossene Projekte

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Siehe auch Aktuelle Projekte

EU/BMBF: HiEFFICIENT - Highly EFFICIENT and reliable electric drivetrains based on modular, intelligent and highly integrated wide band gap power electronics modules

Project Leader:Prof. Dr. Thomas Otto
Duration:01.05.2021 bis 30.04.2024

CopperPaste Entwicklung und Charakterisierung von Pastengemischen und Galvanikprozessen zur Herstellung wärmeleitfähiger Bohrlochfüllungen von Leiterplatten für Hochstromanwendungen sowie Adressierung von Fragen der Zuverlässigkeit von Paste und Füllung

Local Project Manager:Prof. Karla Hiller
Project Leader:Prof. Karla Hiller
Duration:01.04.2022 bis 31.03.2024

VE-VIDES - Verbundprojekt: Designmethoden und HW/SW-Co-Verifikation für die eindeutige Identifizierbarkeit von Elektronikkomponenten - VE-VEVIDES

Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Duration:01.03.2021 bis 29.02.2024

PermanentBond Entwicklung einer Fügetechnologie auf Waferebene, welche es ermöglicht Glas/Silizium/ Lithiumtantalat Verbünde mit einem TTV < 5µm materialschonend herzustellen und Entwicklung eines Analyseprozesses für materialspezifische Prozessansprüche

Local Project Manager:Prof Karla Hiller
Project Leader:Prof Karla Hiller
Duration:01.03.2022 bis 29.02.2024

Cattle Observer UtBr- IntellCaOb / Systemintegration und Packaging

Local Project Manager:Prof. Karla Hiller
Project Leader:Prof. Karla Hiller
Duration:01.07.2021 bis 31.12.2023

BMBF: UpFUSE - Verbundprojekt: Erforschung passiver Funk-Sensorsysteme zur Energieautarken Erschütterungs- und Vibrationsüberwachung - ForMikro-UpFUSE -, Teilvorhaben: Entwicklung nanoionischer Speicher und Kopplung mit piezoelektrischen MEMS

Local Project Manager:Dr. Sven Zimmermann (Verbundprojekt-Koordinator)
Project Leader:Dr. Sven Zimmermann
Partners:Ruhr Universität Bochum, Universität Paderborn, Fraunhofer ENAS
Duration:01.10.2019 bis 30.09.2023
Project Homepage:https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/UpFuse/index.php

SMUL: Wassermonitor - "Wassermonitor-NanOpt, Mobiles nano-optisches Wasserqualitätsmonitoring-System"

Project Leader:Prof. Dr. Thomas Otto
Duration:01.08.2020 bis 31.07.2023

CHARM - Verbundprojekt: Elektroniksysteme für extrem robuste IoT- und KI-Anwendungen, Teilvorhaben: Zuverlässigkeitsuntersuchungen und virtuelles Prototyping für Elektronik unter rauen Einsatzbedingungen

Project Leader:Prof. Dr. Thomas Otto
Partners:CHARM is an extensive three-year project with 37 partners from 10 European countries. The project consortium consists of 11 small and mid-sized enterprises, 14 large enterprises and 12 research and technology organisations. They represent the industrial value chain from simulations, sensors and components to packaging, integration and reliability as well as connectivity, cloud and cyber security solutions.
Duration:01.06.2020 bis 31.05.2023
Aims of the Project:The CHARM ECSEL JU project aims to develop industrial IoT (Internet of Things) solutions with an improved tolerance towards harsh industrial surroundings. Digitalisation of the European manufacturing industries is the key to their continuous renewal and competitiveness. Harsh environmental conditions in manufacturing processes and end user environment may slow down the opportunities brought by IoT and AI (Artificial Intelligence). The CHARM (Challenging environments tolerant Smart systems for IoT and AI) project is set to solve this challenge.
Project Homepage:https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/charm/index.php.en

POLAR - Verbundprojekt: Pyroelektrischer, Hafniumoxid-basierter digitaler Sensor Teilvorhaben: Technologieentwicklung und mikromechanische Strukturierung Sensorchip

Local Project Manager:Prof. Dr. Karla Hiller
Project Leader:Dr.-Ing. habil Norbert Neumann, InfraTec GmbH
Partners:InfraTec GmbH, Infrarotsensorik und Messtechnik (Koordinator), AMAC ASIC- und Mikrosensoranwendung Chemnitz GmbH, Fraunhofer IPMS-CNT, Zentrum für Mikrotechnologien der TU-Chemnitz, Hugo Müller GmbH & Co. KG (assoziierter Partner)
Duration:01.05.2019 bis 30.04.2023
Project Homepage:https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/Polar/index.php

EU: SixthSense - Lebensrettende Technologie zur Gesundheitsüberwachung mit sensorischem Feedback zur Verbesserung des Situationsbewusstseins

Project Leader:Prof. Dr. Thomas Otto
Duration:01.05.2020 bis 30.04.2023

BMBF: diVIBES - Digitale 3D Breitband-Vibrationssensoren zur verbesserten Maschinenüberwachung durch maschinelles Lernen

Local Project Manager:Prof. Dr. Karla Hiller
Project Leader:Dr. Detlef Billep, EDC
Partners:Electronic Design Chemnitz GmbH, X-FAB MEMS Foundry GmbH Erfurt, SPEKTRA Schwingungstechnik und Akustik GmbH Dresden, FusionSystems GmbH Chemnitz, Fraunhofer ENAS, Chemnitz
Duration:01.03.2020 bis 28.02.2023
Project Homepage:https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/DiVibes/index.php

SRCC-SmartWindow - WIR Smart Rail Connectivity Campus - Transparente Displays für kollektive visuelle Fahrgastinformationen

Local Project Manager:Prof. Dr. Karla Hiller
Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Duration:01.02.2021 bis 31.01.2023

UltimateGaN - Verbundprojekt Teilvorhaben: Zuverlässigkeitsbewertung und Lebensdauermodellierung von GaN-basierten Leistungsbauelementen

Project Leader:Prof. Dr. Thomas Otto
Duration:01.05.2019 bis 31.10.2022

TMR2 - Kristallisationsmechanismen von CiFeB-basierten TMR-Schichtstapeln bei Laser-Annealing

Local Project Manager:Prof. Dr. Schulz
Project Leader:Prof. Dr. Schulz
Duration:01.01.2020 bis 30.09.2022

GeoTech - Geometrisch skalierte Spulen für das induktive Transient Liquid Phase (TLP)- Waferbonden in der Mikrosystemtechnik

Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Duration:01.04.2020 bis 30.09.2022

Scale Phase 2 - Skalierung von Fügetechnologien in Produktionsprozesse für mikro-und makroskopische Anwendungen

Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Duration:01.09.2019 bis 31.08.2022

Nanolot - gradierte Nanoverbundwerkstoffe mit funktionsorientierten Eigenschaften zur Verarbeitung mit additiven Fertigungstechnologien

Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Duration:01.02.2020 bis 31.07.2022

Landvermessung - Automatische Landvermessung 5.0, Digitales 3D-Raumvermessungssystem

Project Leader:Prof. Dr. Thomas Otto
Duration:01.01.2020 bis 30.06.2022

intense2020 - Intelligente Energieversorgung und Sensorik für die Automobilelektronik der Zukunft

Local Project Manager:Prof. Dr. Karla Hiller
Project Leader:Dr. O. Pyper, Infineon Technologies Dresden GmbH
Partners:Infineon Technologies Dresden GmbH, Fraunhofer ENAS
Duration:15.02.2018 bis 31.05.2022
Project Homepage:https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/Intense2020/index.php

AiF IGF: 3D Robojet - Robotergeführter Injektdruck von funktionalen Schichten auf dreidimensionale (3D) Objekte

Project Leader:Prof. Dr. Thomas Otto
Duration:01.03.2019 bis 31.07.2021

BMBF: MetaQuant - Kombination von Metamaterialien mit Quantum Dot LEDs zur Optimierung ihres Abstrahlverhaltens

Local Project Manager:Dr. Danny Reuter
Project Leader:Zentrum für Mikrotechnologien
Partners:TU Chemnitz
Duration:01.07.2019 bis 30.06.2021
Project Homepage:https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/Metaquant/index.php

AiF IGF: Insight - Induktives Sintern von gedruckten mikro- und nanoskalierten Zwischenschichten zum Fügen mikroelektronischer Komponenten

Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Duration:01.06.2018 bis 31.05.2021

AiF/ZIM: Indu2Mikro - Spulenentwicklung für einen definierten Wärmeeintrag bei kleinen Bauteilen

Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Duration:01.06.2019 bis 31.05.2021

AiF IGF: FOSTA - Verbesserung des Einsatzverhaltens von Werkzeugen der Warmformgebung durch nitriergerechte Auswahl von Warmarbeitsstählen

Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Duration:01.01.2018 bis 30.04.2021

AiF IGF: SINTER - Einflussgrößen-Wirkungsanalyse Lebensdauerabschätzung hoch stabiler Verbindungen in der Leistungselektronik

Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Duration:01.11.2018 bis 30.04.2021

SAB/SMWK: Leistungs-/Transferzentrum Funktionsintegration für die Mikro-/Nanoelektronik

Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Partners:Fraunhofer ENAS, IIS-EAS, IPMS, IZM-ASSID; TU Dresden; HTW Dresden
Duration:10.05.2019 bis 31.12.2020
Project Homepage:https://www.leistungszentrum-mikronano.de/

AiF/ZIM: Demenz - System zur Unterstützung demenzkranker Patienten in Pflegeheimen, Entwicklung der Messplatz-Funktionen

Project Leader:Prof. Dr. Thomas Otto
Duration:01.09.2018 bis 31.12.2020

SAB: Lenore2 - Entwicklung einer Sensorplattform aus der Kombination von DNA Origami und einem 2D-Metamaterial

Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Duration:01.09.2020 bis 19.11.2020

DFG: Plasmasensor - Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen

Project Leader:Dr. Sven Zimmermann
Duration:01.06.2017 bis 28.08.2020
Aims of the Project:Wafer-Level Sensorstruktur zur Bestimmung von Ionenenergie- und Ionenverteilungsfunktionen in Niederdruckplasmen
Project Homepage:https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/Plasmasensor/index.php.en

SAB: E-PISA - Energieautarke, drahtlose Piezoelektrische MEMS Sensoren und Aktoren in der Medizintechnik und Industrie 4.0

Local Project Manager:Dr. Chris Stöckel
Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Partners:Professur Innovationsforschung und Technologiemanagement, Professur Mikrosysteme und Medizintechnik, Professur für Mikrotechnologie, Professur Nanoelectronics Technologies, Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme, Professur Halbleiterphysik, Professur für Innovationsforschung und Technologiemanagement
Duration:01.07.2017 bis 30.06.2020
Project Homepage:https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/EPisa/index.php

SAB: Lenore - Entwicklung einer Sensorplattform aus der Kombination von DANN Origami und einem 2D-Metamaterial

Project Leader:Prof. Dr. Thomas Otto
Duration:01.05.2020 bis 16.06.2020

SAB: DeDNAed - Entwicklung eines hochsensitiven Biosensorikverfahrens auf Basis der Ramansignalauswertung mittels oberflächenverstärkter Ramanspektroskopie von mit Atomclustern funktionalisierten Markermolekülen assembliert auf einem DNA-Origami

Project Leader:Prof. Dr. Thomas Otto
Duration:16.03.2020 bis 03.06.2020

EU/BMBF/SMWA: SILENSE - Zuverlässigkeitsforschung für smarte ultraschallbasierte MEMS-Sensor-Systeme

Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Duration:01.04.2017 bis 31.03.2020

SAB: Almet - Anlagen und Prozesse für die Atomlagenabscheidung metallischer Dünnschichten

Project Leader:Prof. Dr. Stefan Schulz
Duration:01.02.2017 bis 31.01.2020

DLR/BMWi: TransMan - Transitions-Manipulation

Local Project Manager:Martin Schüller
Project Leader:Dr. Jörg Nestler
Duration:01.07.2016 bis 31.12.2019

SAB: miniModul - Hochminiaturisiertes Spektrometermodul für die IR-Gassensorik

Local Project Manager:Prof. Dr. Karla Hiller
Project Leader:Dr.-Ing. habil Norbert Neumann, InfraTec GmbH
Partners:InfraTec GmbH Dresden, Infrarotsensorik und Messtechnik
Duration:01.08.2016 bis 31.12.2019
Project Homepage:http://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/minimodul/minimodul.php

SAB: QDNA-Sensor - Entwicklung eines Biosensorikverfahrens auf Basis von supernano-QDs und DANN Origami als modulares Template

Project Leader:Prof. Dr. Thomas Otto
Duration:29.05.2019 bis 18.09.2019

BMBF: MSSpinCrash - Multisensorsystem zur Spindeldiagnose und Crash-Detektion in Werkzeug-maschinen sowie Einbindung in Industrie 4.0 Prozesse

Local Project Manager:Dr. Danny Reuter
Project Leader:Lenord, Bauer & Co GmbH
Partners:Lenord, Bauer & Co. GmbH, AMAC GmbH, HEckert GmbH, TU Chemnitz
Duration:01.02.2016 bis 31.07.2019
Project Homepage:https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/SPinCrash/index.php

SAB/SMWK: MinaH

Project Leader:Frau Prof. Karla Hiller
Duration:01.08.2016 bis 31.07.2019

AiF/ZIM: Scale - Skalierung von Fügetechnologien für mikro-und makroskopische Produktionsprozesse

Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Duration:01.06.2019 bis 31.05.2019

DFG: InterKoop - Aufbau internationaler Kooperationen zum Thema chronische neurale Stimulation

Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Duration:27.07.2018 bis 03.05.2019

AiF IGF: InduBond - Erarbeitung einer induktiven Fügetechnologie zum Bonden von mikroelektronmechanischen Systemen (MEMS)

Local Project Manager:Christian Hofmann
Project Leader:Dr. Sven Zimmermann
Duration:01.01.2016 bis 31.03.2019

DFG: cfAED Center for Advancing Electronics ( Cluster of Ecellence) -BAC path

Local Project Manager:Dr. Jörg Nestler
Project Leader:PI TUC: Prof. Dr. Thomas Otto
Partners:Technische Universität Dresden
Duration:01.11.2012 bis 31.12.2018
Project Homepage:http://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/cfaed.php.en

DFG: MERGE - Cluster of Excellence - Domain D - Micro- and nanosystems integration for hybrid structures

Local Project Manager:Martin Schüller
Project Leader:Prof. Dr. Thomas Otto
Partners:TU Chemnitz, Fraunhofer ENAS
Duration:01.11.2012 bis 31.12.2018
Project Homepage:http://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/merge.php.en

EC: StrengthABLE

Local Project Manager:Frau Prof. Karla Hiller
Project Leader:Frau Prof. Karla Hiller
Partners:The JRP-Consortium consists of a core of 6 National Metrology Institutes (NMIs) and Designated Institutes (DIs), complemented by 7 universities and research institutes and 5 industrial partners; therefore, the project will facilitate joint working between NMIs, scientific community and industry. The consortium brings together broad experience and world-leading expertise in the complementary areas needed to ensure the success of this project
Duration:01.06.2015 bis 31.05.2018
Aims of the Project:Strength-ABLE is a three year collaborative European project that will generate design rules and new measurement techniques to exploit the opportunity to length-scale engineer materials into more sustainable/energy efficient industrial components that are lighter, stronger, fatigue and wear resistant.
Project Homepage:http://empir.npl.co.uk/strength-able/

AIF/ZIM: TAPYR

Project Leader:Tobias Seifert
Duration:01.03.2016 bis 28.02.2018

FOR 1713/2 - Forschergruppe Sensorische Mikro- und Nanosysteme / TP 8b

Project Leader:Prof. Thomas Otto
Duration:01.01.2015 bis 31.12.2017

SAB/SMWK: Leistungszentrum Funktionsintegration für die Mikro- und Nanoelektronik

Local Project Manager:Prof.Dr. Stefan Schulz
Project Leader:Hr. Herre, Fraunhofer IPMS
Partners:Fraunhofer ENAS, Fraunhofer IIS-EAS, Fraunhofer IPMS, Fraunhofer IZM-ASSID, HTW Dresden, TU Dresden
Duration:12.02.2016 bis 31.12.2017
Aims of the Project:Nano- und Mikroelektronik durchdringen heute alle Lebensbereiche. Mit dem Internet der Dinge und Industrie 4.0 steigt nicht nur die Nachfrage, auch die Anforderungen an die Systeme wachsen: Die Bauteile muessen kuenftig noch mehr Funktionen integrieren koennen, noch kleiner und staerker vernetzt sein. Die Wettbewerbsfaehigkeit und Innovationskraft von Unternehmen im Bereich Elektronik entscheidet sich heute in dem Maße, wie schnell sie auf neueste technologische Entwicklungen zugreifen koennen. Dabei sind schnelle und effektive Entwicklungen von Loesungen aller Teilaspekte einer Applikation erforderlich. Ziel ist es, Wettbewerbsfaehigkeit und Innovationskraft insbesondere der mittelstaendischen Firmen in Sachsen in den Bereichen Sensorik und Aktorik, Messtechnik sowie im Maschinen- und Anlagenbau durch eine schnelle Ueberfuehrung von Forschungsergebnissen in innovative Produkte zu staerken. Als Erstes erarbeiten die Partner eine gemeinsame Technologie- und Entwicklungsplattform fuer innovative Bauelemente und Systeme und damit die inhaltliche Basis fuer alle weiteren Arbeiten. Dazu fuehren sie gegenwaertig Entwicklungsarbeiten durch, Fraunhofer ENAS leistet Beitraege bei innovativen Komponenten und Fertigungstechnologien, heterogene Systemintegration und Zuverlaessigkeitsbewertung.
Project Homepage:https://www.leistungszentrum-mikronano.de/

VW-Stiftung: VW-Projekt (Phase 2): Piezoresistive Carbon Nanotubes for condition monitoring and reliability considerations

Local Project Manager:Dr. Sascha Hermann
Project Leader:Prof. Dr. T. Geßner
Partners:Prof. Dr. J. Mehner, Prof. Dr. B. Wunderle
Duration:01.01.2014 bis 31.05.2017
Aims of the Project:In the first project phase the fundamentals for the investigation and application of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) as piezoresistive sensing elements have been laid. With this research an actual batch processing compatible CNT/MEMS technology has been demonstrated for the first time. A MEMS test stage has been realized allowing to investigate mechanical and electrical properties of CNTs under mechanical load and to perform reliability studies on the CNT-metal interface. In the project renewal we will intensify those studies with a novel analytical approach on the one hand. With our wafer level technology we will realize a test system to do in situ transmission electron microscopy investigations providing unique insights into the CNT-metal contact physics under well-controllable strained condition. On the other hand we will bring fundamental investigations as well as CNT sensor technology to the next level by focusing on single-walled CNTs with a strongly restricted chiral distribution. This will enable a new class of high sensitive and strongly miniaturized devices allowing to pass from a static application to high frequency CNT-based piezoresistive vibration sensors for condition monitoring.

DFG: NanoReaktif: Neuartige nanoskalige reaktive Materialsysteme als interne Wäremquelle für Fügeverfahren

Project Leader:Prof. Thomas Geßner
Duration:01.07.2014 bis 30.06.2016

DFG: MCT-ACE kap US-Sensor

Project Leader:Prof. Thomas Geßner
Duration:01.04.2013 bis 31.12.2015

DFG: Graduiertenkolleg 1215: Materialien und Konzepte für fortschrittliche Metallisierungssysteme und Nanosysteme

Local Project Manager:Dr. Ramona Ecke / Dr. Thomas Wächtler / Prof. Stefan Schulz
Project Leader:Prof. Thomas Geߟner
Partners:Fudan Univ. Shanghai; Jiao Tong Univ. Shanghai; TU Berlin / Fraunhofer IZM; TU Chemnitz / Fraunhofer ENAS
Duration:01.04.2006 bis 31.03.2015
Project Homepage:http://www.zfm.tu-chemnitz.de/irtg/

BMBF: NANO3PT: Technologieentwicklung und Herstellung von nanostrukturierbaren steuerbaren optischen Komponenten

Project Leader:Dr. Karla Hiller
Partners:Micro Resist Technology GmbH; AMO GmbH; Creavac GmbH; Fraunhofer ENAS; InfraTec GmbH; Gesellschaft f. Gerätebau GmbH
Duration:01.04.2011 bis 31.03.2015

IGF-Vorhaben 17367 BR: Remtec - Entwicklung von Kontaktier- und Verbindungstechniken auf Basis galvanisch abgeschiedener reaktiver Mehrschichtsysteme

Project Leader:Dr. Bräuer
Partners:Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., Fraunhofer IWS, Fraunhofer ISIT
Duration:01.12.2011 bis 30.11.2014
Project Homepage:http://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/remtec/remtec.php

BMBF: nanett - Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration (Phase 2)

Local Project Manager:Dr. Danny Reuter
Project Leader:Prof. Dr. Thomas Geßner
Partners:HS Mittweida / Leibniz Institut IPF, Dresden / Leibniz IHP GmbH, Frankfurt / Leibnitz Institut IFW, Dresden / Fraunhofer IZM, Berlin / Fraunhofer ENAS, Chemnitz / Fraunhofer IAP, Potsdam
Duration:01.11.2012 bis 31.10.2014
Aims of the Project:Die Moeglichkeit, Intelligenz und neue Funktionalit?ten zu miniaturisieren und in konventionelle oder neue Komponenten und Materialien zu integrieren, und damit so genannte Smart Systems zu schaffen, birgt großes Potenzial u.a. im Bereich der Sensortechnik. Durch hochentwickelte und miniaturisierte Sensoren k?nnen Informationen unterschiedlichster Art aus der unmittelbaren Umwelt gewonnen werden. Das wird zunehmend genutzt, um z.B. Produktions- oder Logistikprozesse intelligenter und effizienter zu steuern. Dabei sollen Mikro- und Nanosysteme eingesetzt werden, die autonom arbeiten und miteinander vernetzt sind. Die Weiterentwicklung von Technologien zur Nutzung der Dimensionen im Nanometerbereich und die Entdeckung neuer physikalischer Phänomene auf der atomaren bzw. molekularen Ebene eröffnen zudem neue Anwendungsm?glichkeiten in der Biotechnologie, der Umwelt?berwachung, der Messtechnik und vielen anderen Bereichen. nanett will diese neuen Möglichkeiten nutzen und Sensorsysteme durch die Anwendung von Nanotechnologien verbessern: Mithilfe der Nanotechnologie soll der Funktionsumfang der Sensorsysteme erhöht, die Energieeffizienz verbessert und die Baugröße verringert werden; zudem sollen die Herstellungskosten reduziert werden. Die folgenden drei thematischen Schwerpunkte wurden bearbeitet: Prozesse und Technologien zur Abscheidung, Strukturierung und Charakterisierung von nanoskaligen Materialsystemen Das Themenfeld zielt auf die Nutzbarmachung von neuen, nanostrukturierten Spintronik-Strukturen für die magnetische Sensorik. Dies ermöglicht, Magnetfelder und deren Änderungen in allen drei Raumrichtungen hochempfindlich und schnell zu messen. Integrationstechnologien, Energiemanagement und Vernetzungsstrategien f?r autonome Sensorknoten Autonome Sensorknoten, in denen Informationen geb?ndelt und weitergeleitet werden, m?ssen extrem leistungsf?hig, zuverl?ssig und robust sein. Gleichzeitig muss die Baugr??e der Systeme m?glichst gering und ein energieautarker und wartungsfreier Betrieb ?ber mehrere Jahre gew?hrleistet sein. Gegenw?rtig besteht eine Diskrepanz zwischen dem Leistungsbedarf und dem im Sensorknoten verf?gbaren Leistungsbudget. Um dieses Problem zu beheben, m?ssen sowohl Konzepte f?r die Energiegewinnung und das Energiemanagement von Sensorknoten verbessert, als auch neue Vernetzungsstrategien der Sensorknoten erarbeitet werden. Herstellung, Integration und Zuverl?ssigkeit von funktionalen Werkstoffen Das Themenfeld umfasst die Entwicklung von funktionalen Werkstoffen, deren Eigenschaften auf der Einbindung von Nanoeffekten in das Material (insbesondere Polymere) beruhen, sodass Sensorfunktionalit?ten in den Werkstoff integriert werden k?nnen. Da der ?berwachung von Belastungszust?nden bei Leichtbaustrukturen eine besondere Bedeutung zukommt, sollen Sensorfunktionalit?ten zun?chst in Materialien des Strukturleichtbaus integriert werden. Ziel ist es zum einen, eine indikative Schicht zu entwickeln, die Belastungen an der Oberfl?che eines Bauteils sichtbar macht. Zum anderen soll ein Detektionsmechanismus f?r Risse oder Br?che in Bauteilen implementiert werden. Dazu werden mit variablen Fluoreszenzfarbstoffen gef?llte Mikro- oder Nanor?hrchen eingebettet, die im Fall eines Bruches oder Risses eine bestimmte farbige Substanz freisetzen. Deren Farbstoffe k?nnen mit einfachen und gro?fl?chigen Untersuchungen detektiert werden und die ?berschreitung von Belastungsgrenzwerten im Bauteil eindeutig nachweisen.
Project Homepage:http://www.nanett.org/

DFG: Forschergruppe 1713: Sensorische Mikro- und Nanosysteme

Local Project Manager:Christian Wagner / Dr. Danny Reuter
Project Leader:Prof. Thomas Geßner / Prof. R. T. Zahn
Partners:Leibniz IFW, TU Chemnitz, Fraunhofer ENAS
Duration:01.04.2011 bis 31.03.2014
Aims of the Project:Ein wichtiger Trend in der Halbleiterindustrie, den die International Technology Roadmap for Semiconductors beschreibt und mit More than Moore bezeichnet, beruht auf der Integration unterschiedlicher Technologien und Funktionalit?ten um neben der Signal- und Informationsverarbeitung auch die Interaktion mit der Umwelt in einem miniaturisierten System zu erm?glichen. Die Smart Systems Integration folgt diesem Trend zu miniaturisierten multifunktionalen Baugruppen und Systemen. Smart Systems erf?llen durch das Zusammenwirken leistungsf?higer heterogener Komponenten komplexe Funktionen auf kleinstem Raum. Um im internationalen Vergleich langfristig wettbewerbsf?hig zu bleiben, erfordern intelligente Systeme der Zukunft die Integration von Bauelementen und Komponenten auf Basis neuester Mikro- und Nanotechnologien. Beispiele hierf?r sind neue Sensorprinzipien auf Basis von Nanostrukturen, Nanoelektromechanische Systeme (NEMS) oder die Verwendung von Festk?rperbauelementen als sensorische Wandler. Diese Ans?tze sind die Basis f?r zuk?nftige intelligente Systeme, aber noch weit von der Anwendung entfernt. Die Forschergruppe 1713 ?Sensorische Mikro- und Nanosysteme? zielt auf solche zukunftsweisende mikro- und nanotechnologischen Konzepte, die dem Technologietrend More than Moore zugeordnet werden k?nnen.
Project Homepage:http://www.zfm.tu-chemnitz.de/for1713

VW-Stiftung: VW-Projekt (Phase 1): Integration of dielectrophoretic deposited Carbon Nanotubes and their reliabilitiy in mechanical sensor systems

Local Project Manager:Dr. Kaufmann / Dr. Hermann
Project Leader:Prof. Geßner
Partners:Prof. Mehner, Prof. Wunderle, Fraunhofer ENAS
Duration:01.09.2010 bis 31.08.2013

DFG: Forschergruppe 1154: Teilprojekt 8: Von der Herstellung molekularer Schichten und deren magneto-optischen Untersuchungen zu lateralen Bauelementen

Local Project Manager:Dr. Karla Hiller
Project Leader:Prof. D. R. T. Zahn
Partners:TU Dresden, Universität Leipzig, TU Freiberg, IFW Dresden
Duration:01.07.2010 bis 30.06.2013

DFG: NEMS/MEMS and Nanomaterial-enhanced Passive Components Compatible with Advanced Nano-CMOS for Future One-chip Tunable RF Systems

Local Project Manager:Dr. Maik Wiemer
Project Leader:Prof. Thomas Geßner
Partners:Prof. Masayoshi Esashi, Tohoku University
Duration:01.01.2010 bis 31.12.2012

BMBF: nanett - Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration (Phase 1)

Local Project Manager:Dr. Danny Reuter
Project Leader:Prof. Thomas Geߟner
Partners:HS Mittweida / Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH / Leibniz Institut IPF, Dresden / IHP GmbH, Frankfurt / Leibnitz Institut IFW, Dresden / Fhg IZM, Berlin / Fhg ENAS, Chemnitz / Fhg IAP, Potsdam
Duration:01.11.2009 bis 31.10.2012
Project Homepage:http://www.nanett.org/

UA: InfraTEC (NANOREF)

Local Project Manager:Dr. Karla Hiller
Partners:Industrieprojekt / Vertrag mit InfraTEC
Duration:01.04.2008 bis 30.09.2010

EU 6FP IST/NMP : Surface enhanced micro optical fluidic systems (SEMOFS)

Partners:CSEM Zürich/CH; CEA Grenoble/F; Bayer (Schweiz) AG /CH; Eurogenetic S.A. /B; ALMA Lyon/F, Cardiff University /UK, Hospital Liege /B
Duration:01.09.2005 bis 28.02.2009
Project Homepage:http://www.semofs.com

SAB: PRIMER

Local Project Manager:Prof. Dr. Stefan E. Schulz
Project Leader:Prof. Dr. Thomas Geßner
Partners:AMD Fab36 LLC&Co.KG, Fraunhofer IISB, Fraunhofer ENAS Chemnitz, ZfM TU Chemnitz
Duration:01.01.2007 bis 31.12.2008
Aims of the Project:Teilvorhaben ZfM: Entwicklung von Analyseverfahren zum Nachweis der Penetration von Fl?ssigkeiten in sub-100-nm-Strukturen

EU 6FP IST: Pulling the limits of NanoCMOS electronics (PULLNANO)

Local Project Manager:Prof. Schulz
Project Leader:Prof. Geßner
Partners:STMicroelectronics S.A. Montrouge/F; Kath. Univ. Leuven/B; Forschungszentrum Jülich/D; ETH Zürich/CH, FhG-IZM Berlin und Chemnitz u.a.
Duration:01.06.2006 bis 30.11.2008

SMWA: Verfahren und Einrichtung zum flächigen Laserabtragen auf der Basis stressfrei beschichteter 2D-Mikrospiegel; Teilvorhaben: Entwicklung hoch-reflektierender mikromechanischer Spiegel zur Materialbearbeitung und für medizinische Applikationen

Partners:IMM Elektronik Mittweida, ACSYS Lasertechnik Mittweida, Leibniz-Institut Oberflächenmodifizierung Leipzig
Duration:01.10.2005 bis 30.09.2007

Poröse Polymere

Local Project Manager:Prof. Schulz
Project Leader:Prof. Geßner
Partners:BTU Cottbus, FhG-IZM Teltow
Duration:01.01.2005 bis 31.12.2006

EU: CMOS backbone for 2010 e-Europe. NANOCMOS. From the 45nm node down to the limits

Project Leader:Prof. Schulz
Partners:ST Crolles, ST Agrate, PHILIPS Crolles, PHILIPS Research Leuven, PHILIPS Research Eindhoven, INFINEON, IMEC, CEA-LETI, CNRS, Fraunhofer IISB, IBS, ISILTEC, MAGWEL, ACIES
Duration:01.01.2004 bis 30.06.2006
Aims of the Project:Development of the technological platform for 45nm and 32nm node
Project Homepage:http://www.nanocmos-eu.com

DFG: VIVA - Low Power System Bus Encoding

Local Project Manager:Prof. D. Müller
Duration:01.07.1999 bis 31.03.2005
Aims of the Project:Development and implementation of coder-decoder systems for SOC system busses which minimize under a set of constraints the total power dissipation on a system bus with its coder and decoder implementation through reduction of switching activity on this bus.

Solutions in the field of color image processing

Local Project Manager:Prof. D. Müller
Partners:Siemens A&D Nürnberg, Sächsisches Textilforschungsinstitut STFI Chemnitz
Duration:01.12.2003 bis 30.06.2004
Aims of the Project:Evaluation of new algorithms in the field of image processing by using FPGAs and realtime processing, investigation of color spaces and classification for color image analysis.

BMBF: IPQ (IP Qualification)

Local Project Manager:Prof. D. Müller
Duration:01.07.2001 bis 31.03.2004
Aims of the Project:The methodologies and tools developed in the project IPQ are targeted on significant improvements in quality assurance in the development and application of Intellectual Property (IP). This includes the development of new methods for IP specification, intelligent IP retrievel, techniques for (semi)automatic IP adaptation as well as contributions to IP standardisa-tion activities.

BMWi: Optimization of the multicrystalline solar cell process by means of RTP and RIE

Local Project Manager:Prof. G. Ebest
Partners:RWE Schott Solar, Alzenau
Duration:01.04.2001 bis 31.03.2004
Aims of the Project:Proof of rapid thermal processing and reactive ion etching for solar cell fabrication

Service order No. 5 for master agreement research and development, entered by AMD and Technische Universität Chemnitz

Local Project Manager:Prof. C. Radehaus
Duration:01.08.2003 bis 28.02.2004
Aims of the Project:Automation of the software system GOPI modelling CV-characteristics of gate-oxide-structures - within the framework of the GOPI model - to estimate the parameters

BMBF: Verbesserung der Performance von Ics durch Integration von Kupfer und low-k Dielektrika - PERFECT

Local Project Manager:Dr. Stefan E. Schulz
Project Leader:Prof. Thomas Geߟner
Partners:Infineon Technologies AG Munich, DaimlerChrysler AG Ulm, Dresden University of Technology, University of Hannover
Duration:01.11.2000 bis 28.02.2004
Aims of the Project:Application of Copper interconnects for mobile communication IC?s, power devices and micrometer wave devices; Integration of organic low k dielectrics into Copper Damascene metallization

DFG: Poröse Polymere als low-k Dielektrika für Metallisierungssysteme in der Mikroelektronik

Local Project Manager:Dr. Stefan E. Schulz
Project Leader:Prof. T. Gessner
Partners:BTU Cottbus
Duration:01.02.2002 bis 31.01.2004
Aims of the Project:Development and characterization of organic ultra low k material with reduced density; Patterning process development and compatibility with copper interconnect processing.

Industrial: Development of silicon gratings for the assessment of optical and tactile surface measuring instruments

Local Project Manager:Prof. J. Frühauf
Partners:GEMAC mbH Chemnitz
Duration:15.09.2003 bis 31.01.2004
Aims of the Project:Etching of silicon gratings with trapezoidal, triangular, rectangular and arched profiles

DFG: Reshaping of silicon microstructures by Laser – a new micro-technological process

Local Project Manager:Prof. J. Frühauf
Partners:HTW Mittweida
Duration:04.09.2000 bis 03.09.2003
Aims of the Project:Reshaping without tool, minimizing of thermal load, development of new shapes

EU: ULISSE : Ultra low k dielectrics for Damascene copper interconnects schemes

Local Project Manager:Dr. Stefan E. Schulz
Project Leader:Prof. Thomas Geߟner
Partners:Infineon Technologies, Philips, IMEC, ST Microelectronics, Bull, LETI Grenoble
Duration:01.10.2001 bis 31.08.2003
Aims of the Project:Integration of ultra low k dielectrics

BMBF: Ultradünne Barrieren

Local Project Manager:Dr. Stefan E. Schulz
Project Leader:Prof. Thomas Geߟner
Partners:AMD Saxony Manufacturing GmbH Dresden, Dresden University of Technology, Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden
Duration:01.08.2000 bis 31.07.2003
Aims of the Project:Process development and characterization of ultrathin diffusion barriers

Stiftung Industrieforschung: Catalogue of Shape and Functional Elements of Bulk-Silicon Microtechnique

Local Project Manager:Prof. Dr. J. Frühauf
Duration:01.04.2002 bis 31.05.2003
Aims of the Project:Systematical description of shapes and functions realisable by anisotropic wet etching

Design of complex sensor - actuator systems [EKOSAS]

Local Project Manager:Prof. W. Dötzel, Dr. J. Mehner
Partners:Siemens AG Munich, CAD-FEM GmbH Grafing, GEMAC mbH Chemnitz, AST Dresden, Univ. Erlangen, FhG IIS/EAS Dresden
Duration:01.01.2000 bis 31.03.2003
Aims of the Project:The goal of the project is to develop methods and tools for modeling and simulation of complex microelectromechanical systems which are characterized by strong interactions between physical domains and to the electronic circuitry.

DFG: VIVA - Low Power System Bus Encoding

Local Project Manager:Prof. D. Müller
Duration:01.07.1999 bis 31.03.2003
Aims of the Project:Development and implementation of coder-decoder systems for SoC sy.stem busses which minimize under a set of constraints the total power dis.sipation on a system bus with its coder and decoder implementation through reduction of switching activity on this bus.

Interface-based Design of complex digital Systems

Local Project Manager:Prof. D. Müller
Duration:01.07.1999 bis 31.03.2003
Aims of the Project:The focus of this project are the development of methods for modelling communication between modules of highly complex systems at different levels of abstraction in terms of hierarchically layered data communication protocols and the realization of corresponding description formalisms as an extension of the language SystemC.

Detection of gear faults using microsystems

Local Project Manager:Prof. D. Müller
Partners:TU Dresden
Duration:01.11.2001 bis 31.10.2002
Aims of the Project:Development of a small hardware system for gear monitoring – Gear mo.nitoring systems are used to detect gear faults. Today´s systems are expen.sive and need much space. In order to decrease the system costs a space- saving hardware system was developed and tested.

BMBF: Nanoporöse SiO2 - Schichten

Local Project Manager:Prof. T. Gessner / Dr. Stefan E. Schulz
Project Leader:Applied Materials GmbH
Partners:Applied Materials GmbH, Suss Microtec AG Vaihingen
Duration:01.10.2000 bis 30.09.2002
Aims of the Project:Development of prototype equipment for deposition of porous silicon oxide low k dielectrics; Process optimization and film characterization

Pesticide-Sensors based on Immunochemical Reactions and Nano-Electrodes

Local Project Manager:Prof. C. Radehaus
Duration:01.03.2001 bis 31.08.2002
Aims of the Project:Study of feasibility of Pesticide-Sensors based on Immunochemical Reactions and Nano-Electrodes

GeoTech - Geometrisch skalierte Spulen für das induktive Transient Liquid Phase (TLP)- Waferbonden in der Mikrosystemtechnik

Project Leader:Prof. Dr. Karla Hiller
Duration:01.04.2020 bis 30.11.-0001

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