Pressemitteilung vom 23.04.1998

Training im Reinraum - Neue Technik hält Einzug

(Pressemitteilung 99/98)

Das Zentrum für Mikrotechnologien der Technischen Universität Chemnitz nimmt in diesen Tagen ein funkelnagelneues Halbleitermeßsystem in Betrieb, mit dem Forschung und studentische Ausbildung im Bereich der Mikroelektronik einen großen Schritt nach vorn kommen. Mit dem neuen System können Kapazitäts-Spannungs- bzw. Strom-Spannungs-Kennlinien zur Charakterisierung von Isolatorschichten in mikroelektronischen Schaltkreisen effektiv und einfach gemessen werden.

Möglich wird dies durch einen Kooperationsvertrag zwischen der TU Chemnitz und der Firma Solid State Measurement GmbH Dresden, einem Hersteller elektronischer Testausrüstungen für die Halbleiterindustrie. Diese Tochterfirma der Solid State Measurements Inc. Pittsburgh/Pennsylvania (USA) leiht der Chemnitzer Uni das Meßsystem im Wert von 350.000 Mark für die Dauer von drei Jahren. Charles Thomas, Präsident der US-Firma, sagte bei seinem jüngsten Besuch in Chemnitz: "Wir sind hocherfreut, unseren Kunden eine so hervorragende Möglichkeit für Messungen und zum Training unter Reinraumbedingungen hier in Europa anbieten zu können. Besonders schätzen wir die vertraglich besiegelte Partnerschaft mit der TU Chemnitz." Zu gemeinsamen Forschungsprojekten zur Weiterentwicklung spezieller Meßverfahren finden derzeit Abstimmungsrunden zwischen beiden Partnern statt.

Wichtiger Hinweis für Fotografen und Kamerateams: Das neue Meßsystem kann im Reinraum fotografiert und gefilmt werden. Wenden Sie sich bitte zwecks Terminabstimmung an Dr. Bernd Löbner, Tel. 03 71 / 5 31 -31 29.