Pressemitteilung vom 29.07.1998

Kompetenz zahlt sich aus: US-Firmen kooperieren mit ZfM

(Pressemitteilung 173/98)

Immer mehr amerikanische Halbleiterfirmen setzen auf das Wissen "made in Germany". Das spürt auch das Zentrum für Mirkotechnologien (ZfM) der Technischen Universität Chemnitz von Tag zu Tag mehr. Mittlerweile sind es bereits fünf US-Firmen, die mit der Chemnitzer "High-Tech-Schmiede" kooperieren. Das sind Applied Materials in Santa Clara im sonnigen Kalifornien, Advanced Micro Devices in Sunnyvale und Dresden, Solid State Measurements in Pittsburgh, Materials Research Corporation in Orangeburg und Motorola in Arizona. Gemeinsam mit Wissenschaftlern und Studenten aus Chemnitz entwickeln die Firmen zum Beispiel neue Materialien und Verfahren für Leitbahnen höchstintegrierter Schaltkreise. Doch warum gerade in Chemnitz? Im Zentrum für Mikrotechnologien der TU können Strukturbreiten im Bereich von 200 Nanometern realisiert werden. "Weltweit sind dazu nur wenige Forschungseinrichtungen in der Lage", versichert der Direktor des ZfM Prof. Dr. Thomas Geßner.

Das gelingt freilich nur, wenn die vorhandene Technik immer auf dem neuesten Stand ist. Zwölf Millionen Mark ließ sich der Freistaat Sachsen erst 1996 die Modernisierung des Chemnitzer Zentrums für Mikrotechnologien kosten. In diesem Jahr konnten bereits 4,5 Millionen Mark Forschungsgelder durch die Mikroelektroniker zusätzlich an die Uni geholt werden, womit 32Mitarbeiter abgesichert sind. Seit 1996 wird in Chemnitz die Mikrosystemtechnik auch durch den Sonderforschungsbereich "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Deutschen Forschungsgemeinschaft vorangetrieben. "Und die hochqualifizierten Elektrotechnik-Absolventen der TU Chemnitz werden derzeit von den Chipherstellern überall auf der Welt "mit Kußhand" begrüßt", freut sich Prof. Geßner.

In diesen Tagen wird die Verbindung des ZfM zur US-Firma Applied Materials ganz konkret: Im Zentrum für Mikrotechnologien wird eine neue Anlage dieser Firma installiert, mit der Kupferleitbahnen erzeugt werden können. Ihr Wert: 1 Million Mark. Finanziert wird diese Ausrüstung vom Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie in einem Verbundprojektes u. a. mit der Siemens AG. Der Neuanschaffung vorausgegangen war ein dreiviertel Jahr Forschungsarbeit: Dipl.-Ing. Matthias Markert vom ZfM entwickelte in den USA gemeinsam mit Applied Materials diese Anlage weiter.

Weitere Informationen erteilt Prof. Dr. Thomas Geßner, Tel. 03 71 / 5 31 - 31 30, E-Mail Thomas.Gessner@infotech.tu-chemnitz.de , Dipl.-Ing. Matthias Markert, Tel. 03 71 / 5 31 - 36 81, E-mail: Markert@e-technik.tu-chemnitz.de .