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Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme
Projekte
Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme 

Forschungsprojekte


Aktuelle Projekte

Förderer Titel / Thema Professur Zeitraum
BMBF

UP4Foundry (ForMikro 2.0)

Universelle Technologieplattform für eine foundryfähige heterogene Systemintegration, Herstellung und Stresstest ultradünner Substrate.

2024–2028
SAB

Supra3D

Integration von supraleitenden Werkstoffen in 3D Package-Architekturen für Ionenfallen-Quantencomputer.

2024–2027
BMWK

Smartman

Industrie 4.0, Digitalisierung der Produktion von Automotive-Baugruppen und deren Nullstunden-Qualität, Zuverlässigkeit und Robustheit.

2024–2026
EU MSCA DN

Mirelai - MIcroelectronics RELiability driven by Artificial Intelligence
(Industrie-Doktoranden-Netzwerk)

AI-coupled inline quality testing of power-modules by IR thermography.

2023–2026
BMBF

CeCaS

Neue Automotive qualifizierte Hochleistungsprozessoren und künftige Central Car Server mit Cloud-Anbindung inklusive Systemintegration.

TU Chemnitz: Thermo-mechanische Charakterisierung und Test.

2023–2025
EU

Nanomat

Heterogene Material- und Technolgieplattform für einen neuen Bereich der Leistungs-Nanoelektronik. Radarmodul mit Phased-Array-Antenna auf Basis von System-in-Flex.

2023–2025
EU Penta Xecs

e2Lead

Elektroniksystem mit besonders hoher Zuverlässigkeit für das autonome Fahren, thermisches Management für Automotive HPC.

2023–2025
BMWK

InThElekt

Integrale Thermoplast-Sandwich-Struktur Bauteile mit adaptierten Elektroniken für E-Fahrzeuge

TU Chemnitz: Charakterisierung von Bimaterial-Grenzflü

2023–2025
BMBF

Copperfield

Technologieentwicklung und Zuverlässigkeit von gesinterten Kupferkontakten für leistungselektronische und mikroelektronische Anwendungen.

2023–2025

Abgeschlossene Projekte

Förderer Titel / Thema Professur / Leitungsfunktion Zeitraum
EU/BMBF

iREL 4.0 (ECSEL Innovation Actions Calls 2019)

Zuverlässigkeit für heterogene Systemintegration für Industrie 4.0 Zuverlässigkeits- und Qualitätsoffensive der europäischen Industrie bzgl. Packaging.

TU Chemnitz: Kooperation mit Infineon und AMS bzgl. Lebensdauermodellierung, Fehleranalytik und beschleunigter Tests.
Fokus: Gesinterte Silber- und Kupferverbindungen, Verkapselungen, Fehleranalytik

2020–2023
BMBF

KI-LiDAR

Digitaler Zwilling und neuronale Netzwerke zur Rekalibrierung von Automotive Flash-LiDAR, feldgekoppelte Simulation und Validierung.

2019–2022
ESF

Landesinnovationspromotion

Transiente IR-optische & KI-basierte Verfahren für die Inline-Fehleranalytik und Qualitätskontrolle von Mikroelektronischen Packages bei der Fertigung.

2019–2022
EU/BMBF

HiPER (PENTA Call 3: Transport and Smart Mobility)

Thermisches Management und Zuverlässigkeit von GPU-Power-SiP für Automotive-HPC für autonomes Fahren, Flüssigkeitskühlungs-Teststand, Design, Aufbau, Test und Simulation Power-SiP, Power-Management GPU-Mock-up Ansteuerung und Test

2019–2022
SAB

Transferzentrum "MoHeSys"

Modulare Integration für dünne & heterogene Sensorsysteme, Charakterisierung der heterogenen Dünnschicht- und Mehrlagensysteme und Zuverlässigkeitsbewertung, Struktur-Eigenschaftskorrelation dünner Schichten.

2019–2020
ESF

Inlinetest (ICT-31-2017-IA)

Thermographische Verfahren für die inline Prozessüberwachung in der Fertigung von Leistungselektronik: Fokus MMIC (GaN-HPA), Discretes

2018–2021
ESF

Nachwuchsforschergruppe "e-Pisa"

Energieautarke, drahtlose piezoelektrische MEMS Sensoren und Aktoren in der Medizintechnik und Industrie 4.0; Desing, Aufbau und Test AlN-basierter Cantilever als Ermüdungsplattform für dünne Sensorschichten unter Vibrationsbelastung, Funktionalität

2017–2020
ESF/SAB

Landesinnovationspromotion

Thermo-mechanische Charakterisierung und Zuverlässigkeit flexibler Sensorsysteme, Struktur-Eigenschafts-Korrelation bei der Ermüdung bzw. Zerrüttung dünner Al und Cu PVD-Schichten durch beschleunigte Stresstests

2016–2019
SAB

Leistungszentrum "Funktionsintegration für die Mikro-/Nanoelektronik"

Thermo-mechanische Charakterisierung und Zuverlässigkeit von 3D WL-SiP Strukturen

Partner und Koordinator TU Chemnitz

2016–2018
BMBF

Nanoproxi (KMU-innovativ: Nanotechnologie NanoChance): "Entwicklung eines thermischen Delaminationsdetektions-Verfahrens"

Entwicklung einer thermischen Pixel-Kamera zur in-situ Detektion von Delamination

2015–2018
DFG

DFG-Forschergruppe FOR1713, Sensorische Mikro- und Nanosysteme (SMINT, Teil II).Teilprojekt: "Ermüdungstest-plattform zur Zuverlässigkeitsbewertung von Nanokomponenten"

Charakterisierung von Werkstoffen auf der Mikro- und Nanoskala mittels MEMS-Belastungsvorrichtungen.

Teilprojektleiter

2014–2017
EU

CarrICool (FP7-ICT-2013-11-small): "Modular Interposer architecture providing scalable heat removal, power delivery, and communication"

Thermo-mechanical characterisation of 3D architectures in Si-interposer, e.g. TSVs and CuSn-based joining-technologies (soldering, TLPB)

Workpackage Leader

2014–2017
VW-Stiftung

Piezoresistive carbon nanotubes for condition monitoring and reliability consideration (Part II)

Degradation of SWCNT-metal interfaces in simulation and experiment (in situ TEM actuation & DIC analysis).

Teilprojektleiter

2014–2016
EU

NanoTherm (FP7-ICT-2011.3.1-large): "Innovative Nano and Micro Technologies for Advanced Thermo and Mechanical Interfaces"

Characterisation, modelling and failure analysis of porous sintered silver and Epoxy-Ag-Composites as die attach for power applications

Workpackage Leader

2012–2016
EU

SmartPower (FP7-ICT-2011-7-large): "Smart integration of GaN & SiC high power electronics for industrial and RF applications"

1: System approach to double-sided cooling of power converter using TEC and transient thermal buffering.

2: RF-Power-SiP under thermo-mechanical loading, characterisation and lifetime evaluation.

Workpackage Leader

2011–2016
EU

HyperConnect (FP7-NMP-2012-SMALL-6): "Functional joining of dissimilar materials using directed self-assembly of nanoparticles by capillary-bridging"

Self-assembly and interdiffusion using nano-materials, deformation and failure mechanisms of sintered joints und thermos-mechanical loading

Workpackage Leader

2013–2015
DFG

DFG-Forschergruppe FOR1713: Sensorische Mikro- und Nanosysteme (SMINT, Teil I).

Entwicklung und Charakterisierung einer MEMS-Belastungsvorrichtung

Teilprojektleiter

2011–2014
VW-Stiftung

Integration of dielectrophoretic deposited Carbon Nanotubes and their reliability in mechanical sensor systems (Part I)

Structure-property correlation for SWCNTs during pullout testing from a metal matrix for smart systems application.

Teilprojektleiter

2011–2014
EU

eBRAINS (FP7-ICT-2009-5-large): "Best-Reliable Ambient Intelligent Nano Sensor Systems"

Characterisation of TSVs and CuSn Joints for 3D-SiP technologies. High cycle fatigue of thin Al BEOL layers under isothermal vibration loading

2010–2014
BMBF

Nanett (Phase II): "Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration - Materialintegrierte Sensorik basierend auf Nanoeffekten"

Materialcharakterisierung, Simulation und Test eines Polymer-verkapselten piezo-resistiven Bewegungssensors aus PVDF.

Partner

2012–2014
BMBF

Nanett (Phase I): "Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration - Materialintegrierte Sensorik basierend auf Nanoeffekten"

Simulation und Charakterisierung des Aufrollverhaltens von nanoskaligen TiCr Smart Tubes während der Prozessierung.

Partner

2009–2012
  • Ki generiertes Bild

    Offen für Argumente geht in die zweite Runde

    Online-Debattenformat der Juniorprofessur Soziologie der TU Chemnitz thematisiert am 10. September 2025 die Rolle der Solarenergie im Zuge der Energiewende …

  • Gruppe vieler Menschen

    Let's run #TUCgether!

    Zum Jubiläum des Chemnitzer Firmenlaufs gingen 266 Laufbegeisterte für die TU Chemnitz an den Start …

  • Menschen stehen vor einer Leinwand

    Erfolgreiche Summer School an der TU Chemnitz

    Professur Medienpsychologie und die Hochschulallianz Across begrüßten zur Summer School „How much science is in science fiction?“ medienbegeisterte Nachwuchswissenschaftlerinnen und -wissenschaftler aus neun verschiedenen Ländern …

  • Menschen stehen vor einem Haus

    Als Azubi an die Uni? Ja, klar!

    Kanzler der TU Chemnitz begrüßte neue Auszubildende und gratulierte Absolventinnen und Absolventen zum erfolgreichen Berufsabschluss – TU Chemnitz bildet aktuell in zehn Berufen aus …