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Projektleiter/Ansprechpartner

[Forschungsstelle]

Beteiligte Kooperationspartner

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 470746116 
(TUC 2113653 | TUC 2113654)
01.01.2022 – 31.12.2029

Proximitätsinduzierte Supraleitung in Graphen auf SiC durch Interkalation
Teil von DFG FOR 5242: 
Proximitätsinduzierte Korrelationseffekte in niedrigdimensionalen Strukturen (PROXIMITY)

Prof. Dr. Thomas Seyller  
[MAIN-Forschung Professur Technische Physik]

Dr. Philip Schäfer 
[MAIN-Forschung Professur Technische Physik]

 

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 545127749
(TUC 2413548 | TUC 20113539)
01.10.2025 – 30.09.2028

Untersuchung intrinsischer Dämpfungseffekte und Ableitung von Regeln für ein robustes Design von hochqualitativen mikromechanischen Resonatoren (High-Q)

Dr. Danny Reuter 
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Prof. Dr. Jan Mehner

[MAIN-Forschung Professur Mikrosystem- und Medizintechnik]

 

 

 

EU Horizon Europe
EIC Pathfinder Challenges
EU GA 101161153 (TUC 2420313)
01.09.2024 – 31.08.2028

Neue Ansätze für halogenfreies und nachhaltiges Ätzen von Silizium und Glas (HaloFreeEtch)

Dr. Danny Reuter 
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Dr. Jörg Schuster
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]

 

 

 

EU Horizon Europe
JU Innovation Action
EU GA 101194187 (TUC 2020439)
01.07.2025 – 31.07.2028

Beschleunigung von Innovationen im Bereich von Herstellungsverfahren moderner Aufbau- und Verbindungstechnik für Elektronikanwendungen 
(E2PACKMAN)

Prof. Dr. Bernhard Wunderle 
[MAIN-Forschung Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme]
Prof. Dr. Thomas Basler
[Technische Universität Chemnitz, Professur für Leistungselektronik]

 

 

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 548242085 (TUC 2413443)
01.04.2025 – 31.03.2028

Untersuchung eines neuartigen Konzeptes von CNT-basierten MEMS-Kondensatoren auf einer Membranplattform zur Bestimmung des Quellzustandes von smarten Hydrogelen (HydroMEMS)

Dr. Sascha Hermann 
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Prof. Dr. Julia Körner
[Leibniz-Universität Hannover, Institut für Grundlagen der Elektrotechnik und Messtechnik]

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 439892735 (TUC 2413186)
01.04.2024 – 31.03.2027

Technologieplattform für nanomaterialbasierte PUF-Schaltungen mit hoher Entropie (NanoSec2)
Teil von DFG SPP 2253: 
Von Nanoelektronik zu sicheren Systemen (NANOSECURITY)

Dr. Sascha Hermann
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Prof. Dr. Stefan Katzenbeisser [Universität Passau, Professur für Technische Informatik]
Prof. Dr. Elif Bilge Kavun [Technische Universität Dresden, Professur für Vertrauenswürdige Elektronik sowie Barkhausen-Institut gGmbH Dresden]

 

 

 

EU Horizon Europe
EIC Pathfinder Open
EU GA 101186701 (TUC 20120346)
01.03.2025 – 29.02.2028

Selbstversorgte und sich selbst umformende autarke Haut für drahtlose Knotenpunkte (LEAF)

Dr. Daniil Karnaushenko 
[MAIN-Forschungsgruppe Formbare Elektronik]

 

 

 

EU EFRE InfraProNet 2021-2027
SAB 100756407 (TUC 2420831)
23.10.2025 – 31.12.2027

Deterministische Lichtquellen für die Quanten-Technologien (DeLiQuaT)

Prof. Dr. Karla Hiller 
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS Chemnitz
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS, Institutsteil Entwicklung Adaptiver Systeme EAS Dresden
Technische Universität Dresden
Hochschule für Technik und Wirtschaft HTW Dresden

 

 

 

EU EFRE FuE-Verbundprojekt
SAB 100747429 (TUC 2420350)
22.07.2025 – 31.12.2027

Anlagen- und Prozessentwicklung für die Atomlagenabscheidung aluminiumbasierter Dünnfilme für Barriere, Aktorik und Elektronik (MultiALD)

Dr. Danny Reuter 
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Dr. Jörg Schuster
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS Chemnitz
Fa. scia Systems GmbH, Chemnitz
Fa. FAP GmbH, Dresden
Fa. InfraTec Infrarotsensorik und Messtechnik GmbH, Dresden

 

 

 

EU EFRE InfraProNet 2021-2027
SAB 100757341 (TUC 20120405)
17.07.2025 – 31.12.2027

Quantencomputer mittels Ionenfallen in niobbasierter Technologie (Quinte)

Prof. Dr. Bernhard Wunderle 
[MAIN-Forschung Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme]
Prof. Dr. Harald Kuhn
[Technische Universität Chemnitz, Professur für Smart Systems Integration und Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien]

 

 

 

EU EFRE InfraProNet 2021-2027
SAB 100757310 (TUC 20120383)
15.07.2025 – 31.12.2027

Flexibles drahtloses Implantat für neurologisches Echtzeitmonitoring
(FreeNEMo)

Prof. Dr. Oliver G. Schmidt 
[MAIN-Forschung Professur Materialien der Nanoelektronik]
Prof. Dr. rer. nat. habil. Gerald Steiner 
[Technische Universität Dresden, Medizinische Fakultät, Medizinisch-Theoretisches Zentrum, Arbeitsgruppe Klinisches Sensoring und Monitoring sowie Universitätsklinikum Carl Gustav Carus]
ChA Prof. Dr. med. habil. Matthias Kirsch 
[Klinikum Chemnitz gGmbH, Klinik für Neurochirurgie sowie Technische Universität Dresden, Medizinische Fakultät]

 

 

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG SCHM 1298/26-1
(TUC 20112519)
01.04.2018 – 31.08.2027

Gottfried-Wilhelm-Leibniz-Preis 2018

Prof. Dr. Oliver G. Schmidt 
[MAIN-Forschung Professur Materialsysteme der Nanoelektronik]

 

 

 

 

 

 

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 525754595 (TUC 2181602)
01.10.2023 – 30.06.2027

Magneto-Detektion durch CISS-basierte hybride Grenzflächen
(1-A04)
Teil von DFG TRR 386: 
Hyperpolarisation in molekularen Systeme (HYP*MOL)

Prof. Dr. Olav Hellwig
[MAIN-Forschung Professur Magnetische Funktionsmaterialien]
Dr. Jeffrey Kelling
[MAIN-Forschung Professur Theoretische Physik quantenmechanischer Prozesse und Systeme]
Prof. Dr. Christoph Tegenkamp
[Technische Universität Chemnitz, Professur für Analytik an Festkörperoberflächen]

 

 

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 525754718 (TUC 2181603)
01.10.2023 – 30.06.2027

Systematisch entworfene Polypeptide zur Erforschung des CISS-Effekts
(2-B02)
Teil von DFG TRR 386: 
Hyperpolarisation in molekularen Systeme (HYP*MOL)

Prof. Dr. Sibylle Gemming
[MAIN-Forschung Professur Theoretische Physik quantenmechanischer Prozesse und Systeme]

Prof. Dr. Georg Künze
[Universität Leipzig, Medizinische Fakultät, Institut für Wirkstoffentwicklung sowie Interdisziplinäres Zentrum für Bioinformatik]

 

 

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 525754755 (TUC 2181604)
01.10.2023 – 30.06.2027

Chirale Nanocluster für Spin-Hyperpolarisation bei Photoanregung
(2-B03)
Teil von DFG TRR 386: 
Hyperpolarisation in molekularen Systeme (HYP*MOL)

Prof. Dr. Georgeta Salvan
[MAIN-Forschungsgruppe Magneto-Optik]

[MAIN-Forschung Professur Koordinationschemie]

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 525754797 (TUC 2181605)
01.10.2023 – 30.06.2027

Block-Cooligomere für Spin-Filterung und -Transport über allorganische Grenzflächen (2-B05)
Teil von DFG TRR 386: 
Hyperpolarisation in molekularen Systeme (HYP*MOL)

Prof. Dr. Michael Sommer
[MAIN-Forschung Professur Polymerchemie] 
Prof. Dr. Georgeta Salvan
[MAIN-Forschungsgruppe Magneto-Optik] 
Prof. Dr. Frank Ortmann
[Technische Universität München, Professur für Theoretische Methoden in der Spektroskopie]

 

 

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 525754927 (TUC 2181608)
01.10.2023 – 30.06.2027 

HYP*MOL: Modul Integriertes Graduiertenkolleg (4-IRTG)
Teil von DFG TRR 386: 
Hyperpolarisation in molekularen Systeme (HYP*MOL)

Prof. Dr. Sibylle Gemming
[MAIN-Forschung Professur Theoretische Physik quantenmechanischer Prozesse und Systeme] 
Prof. Dr. Berthold Kersting
[Universität Leipzig, Institut für Anorganische Chemie und Kristallographie, Professur für Koordinationschemie]

 

 

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 525754876 (TUC 2181601)
01.10.2023 – 30.06.2027 

HYP*MOL: Zentrales Verwaltungsprojekt (3-Z01)
Teil von DFG TRR 386: 
Hyperpolarisation in molekularen Systeme (HYP*MOL)

Prof. Dr. Georgeta Salvan
[MAIN-Forschungsgruppe Magneto-Optik] 
Prof. Dr. Jörg Matysik
[Universität Leipzig, Institut für Analytische Chemie, Professur für Molekülspektroskopie]

 

 

 

Sächsisches Ministerium für Wissenschaft und Kunst (SMWK) Programm RL TG70 Forschungsprojektförderung
SAB 100714632 (TUC 2420300)
01.06.2024 – 31.05.2027

Supraleitende Architekturen für die 3D-Integration von Quantencomputern (Supra3D)

Prof. Dr. Bernhard Wunderle
[MAIN-Forschung Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme]
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS Chemnitz
Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung IFW Dresden

 

 

 

Europäischer Forschungsrat
ERC Starting Grant 2021
EU GA 101039802 (TUC 20120159)
01.05.2022 – 30.04.2027
 

Integrierte Smart-Dust-Batterien mit einer Nahe-Null-Leistungs-Überwachung (SMADBINS)

Dr. Minshen Zhu 
[MAIN-Forschungsgruppe Mikrobatterien]

 

 

 

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 46190988 (TUC 2112940)
01.04.2023 – 31.03.2027

Korrelation von elektronischen und optischen Eigenschaften von Materialien in gedruckten organischen Solarzellen
Teil von DFG FOR 5387: 
Gedruckte und stabile organische Photovoltaik von Nichtfullerenakzeptoren (P*PULAR)

Prof. Dr. Dr. h.c. Dietrich R. T. Zahn
[MAIN-Forschung Professur Halbleiterphysik]

 

 

 

 

 

 

Alexander-von-Humboldt-Stiftung (AvH) Forschungsstipendium
AvH ... (TUC 2019008)
01.03.2026 – 28.02.2027

Spin-Engineering einzelner Atome

Prof. Dr. Oliver G. Schmidt 
[MAIN-Forschung Professur Materialsysteme der Nanoelektronik]
Prof. Dr. Chundong Wang
[Huazhong University of Science and Technology, Wuhan, VR China]

 

 

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 535729384 (TUC 2113179) 
01.03.2024 – 28.02.2027

Strukturelle, elektronische und chemische Eigenschaften niedrigindizierter Hochentropielegierungsoberflächen

Prof. Dr. Thomas Seyller
[MAIN-Forschung Professur Technische Physik]

 

 

 

 

EU ESF Plus Nachwuchsforschungsgruppe
SAB 100693458 (TUC 2420215)
01.01.2024 – 28.02.2027

Übertragbare wissensbasierte Prozessmodelle für eine flexible Fertigung (WiProFlex)

Prof. Dr. Karla Hiller
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Dr. Linda Jäckel
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]

 

 

 

EU EFRE Validierungsvorhaben
SAB 100759930 (TUC 138203584)
01.01.2026 – 31.12.2026

Mikrofluidische Assemblierkarte (MAC-1)
Teil der TUCfonds2025-Validierungsförderung

Prof. Dr. Prof. h.c. Thomas Otto 
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]

 

 

 

EU Horizon Europe
Research and Innovation Action
EU GA 101135704
01.01.2024 – 31.12.2027

Automatisierte Überwachung im Gartenbau durch Spektralanalyse mit Quantenpunktdetektoren und hochauflösenden optischen Filtern (HORTIQD)

Dr. Martin Möbius
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS Chemnitz
Firma AMAC ASIC- und Mikrosensoranwendungen Chemnitz GmbH
Firma Viimagic GmbH, Mittweida

 

 

 

EU EFRE Validierungsvorhaben
SAB 100759930 (TUC 138203581)
15.12.2025 – 14.12.2026

Validierung einer Echtzeit-Histologie- und Gewebediagnostik mit färbefreien bildgebenden Verfahren (VChemFreeDx)
Teil der TUCfonds2025-Validierungsförderung

Prof. Dr. Dr. h.c. Dietrich R. T. Zahn 
[MAIN-Forschung Professur Halbleiterphysik]

 

 

 

 

EU EFRE FuE-Verbundprojekt
SAB 100693594 (TUC 2420232)
01.12.2023 – 30.11.2026

Technologieplattform für innovative, kompakte und vollintegrierte System-in-Package-Lösungen (KoVoPack)

Prof. Dr. Karla Hiller
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Dr. Jörg Schuster
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS Chemnitz
Firma Infineon Technologies Dresden GmbH & Co. KG
Firma Von Ardenne GmbH, Dresden
Firma SAW components Dresden GmbH

 

 

 

EU EFRE FuE-Verbundprojekt
SAB 100689338 (TUC 2420126)
13.11.2023 – 12.11.2026

Miniaturisiertes modulares digitales 3D+-Sensorsystem mit optimierter Aufbau- und Verbindungstechnik für die intelligente Zustandsüberwachung 
(MIMODI-3D+)

Prof. Dr. Karla Hiller
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Dr. Martin Möbius
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS Chemnitz

 

 

 

EU EFRE Validierungsvorhaben
SAB 100759930 (TUC 138203582)
01.01.2026 – 31.10.2026

Validierung flexibler drahtloser Implantate für neurologisches In-Situ-Echtzeitmonitoring (VFreeNEMo)
Teil der TUCfonds2025-Validierungsförderung

Prof. Dr. Oliver G. Schmidt 
[MAIN-Forschung Professur Materialsysteme der Nanoelektronik]

 

 

 

 

Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt (BMFTR) WiVorPro
FKZ 13N16823 (TUC 2413067)
01.10.2023 – 30.06.2026

Optomechanische Detektion kleinster Bewegungsamplituden für hochpräzise mikroelektromechnische MEMS Inertialsensoren (OPTOMEMS)

Prof. Dr. Karla Hiller
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Dr. Martin Möbius
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS Chemnitz

 

 

 

Industrie
(TUC 2413096)
01.10.2023 – 30.09.2026

Entwicklung thermo-mechanischer Stresstests für kleine µ/n-Strukturen

Prof. Dr. Bernhard Wunderle
[MAIN-Forschung Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme]

 

 

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 466828598 (TUC 2412724)
01.10.2023 – 30.09.2026

Analoge integrierte Hochfrequenz-Schaltungen basierend auf Kohlenstoffnanoröhren Feld-Effekt Transistoren (ICCNT)

Dr. Sascha Hermann
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Prof. Dr. Michael Schröter
[Technische Universität Dresden, Professur für Elektronische Bauelemente und Integrierte Schaltungen]

 

 

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 517869265 (TUC 2113015)
01.08.2023 – 31.07.2026

Neuartige kationsubstituierte quaternäre Chalkogenid-Nanokristalle Cu2XSnS4 (X = Zn, Ni, Fe, Co): Eigenschaften und potentielle Anwendungen

Prof. Dr. Dr. h.c. Dietrich R. T. Zahn 
[MAIN-Forschung Professur Halbleiterphysik]
Prof. Dr. Volodymyr Dzhagan
[Staatliche Akademie der Wissenschaften der Ukraine, Lashkaryov-Institut für Halbleiterphysik, Kyiv, Ukraine]
Prof. Dr. Serhiy Kondratenko
[Staatliche Universität Taras Shevchenko Kyiv, Ukraine]

 

 

 

Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWi)
FuE-Verbundprojekt
FKZ 19I23007I (TUC 2413048)
01.10.2023 – 30.06.2026

Transformation der Fahrzeugtechnik durch hochintegrierte Komponenten für robuste, digitalisierte und effiziente Antriebs- und Energiesysteme basierend auf WBG-Technologien - Robustheit und Zuverlässigkeit von Leistungshalbleiterbauelementen (trustAE)

Prof. Dr. Karla Hiller
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]

 

 

 

 

 

 

Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
DFG 512904458 (TUC 2412915)
01.07.2023 – 30.06.2026

Nahfeldverstärkter optomechanischer Nanoresonator (NEONA)

Dr. Danny Reuter 
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]
Prof. Dr. Dirk Plettemeier
[Technische Universität Dresden, Professur für Hochfrequenztechnik]

 

 

 

EU Horizon Europe
Research and Innovation Action
EU GA 101091980 (TUC 2420166)
01.01.2023 – 30.06.2026

Auf neuartigen Materialien beruhende Einzelphotonenquelle und -detektor für die Messung endokriner Disruptoren (GREENER)

Dr. Martin Möbius
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]

 

 

 

Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) KDT Digitale Schlüsseltechnologien
FKZ 101111890 (TUC 2420177)
01.05.2023 – 30.04.2026

Kostengünstige intelligente GaN-IC-Lösungen als Wegbereiter für umweltfreundlichere Anwendungen (All2GaN)

Prof. Dr. Karla Hiller
[MAIN-Fachgruppe Mikro- und Nanotechnologien]

 

 

 

 

 

Europäischer Forschungsrat ERC Advanced Grant 2018
EU GA 835268 (TUC 20120154)
01.11.2019 – 30.04.2026
 

Medizinische Microroboter zur Unterstützung neuer assistierter Reproduktionsverfahren
(MicroRepro)

Prof. Dr. Oliver G. Schmidt 
[MAIN-Forschung Professur Materialsysteme der Nanoelektronik]