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ESF Plus Nachwuchsforschungsgruppe WiProFlex

Übertragbare wissensbasierte Prozessmodelle für eine flexible Fertigung

Die fortschreitende Entwicklung von Industrie 4.0 und Künstlicher Intelligenz (KI) eröffnet neue Perspektiven für eine moderne industrielle Fertigung. Die Möglichkeit Digitaler Zwillinge für die modellgestützte Prozessoptimierung und -kontrolle rückt in greifbare Nähe. Jedoch stoßen bestehende KI-Ansätze an ihre Grenzen, da sie enorme Datenmengen benötigen und insbesondere in flexiblen Fertigungsumgebungen und bei heterogenen Produktportfolios oft nur kleine und heterogene Datensätze entstehen.

Ziel der interdisziplinären ESF Plus Nachwuchsforschungsgruppe WiProFlex ist daher die Entwicklung sogenannter wissensbasierter Prozessmodelle, welche mit Hilfe von informierten Maschinellem Lernens vorhandene Daten geschickt mit Domänenwissen wie physikalischen Simulationen und Expertenwissen anreichern. Dadurch können robuste und zuverlässige Prozessmodelle auch mit geringen Datenmengen entwickelt werden.

Demonstriert werden die Modelle an Prozessen aus der hochkomplexen Fertigung von Mikroelektronik. Als Ergebnis des Projektes entsteht ein Demonstrator eines wissensbasierten Prozessmodells für den Referenzprozess des Chemisch-Mechanischen Planarisierens (CMP) sowie Handlungsempfehlungen um das Vorgehen auf andere Fertigungsprozesse branchenübergreifend übertragen zu können.

Dies ist ein vom Europäischen Sozialfonds (ESF-Plus)  und dem Freistaat Sachsen gefördertes Kooperationsprojekt an der TU Chemnitz.

Laufzeit: 01.01.2024 - 31.12.2026