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der Professur Smart Systems Integration

Der Fokus unserer Forschungsarbeiten liegt auf der Entwicklung und Anwendung von Mikro- und Nanotechnologien für die Bereiche Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und Systemintegration. Als technologische Basis nutzen wir die hochmodernen Reinräume des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien (ZfM), die über Ausrüstung für Prozessierung und Charakterisierung von Siliziumwafern und Halbleitersubstraten verfügen.

In enger Zusammenarbeit mit anderen Professuren des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien und dem Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS setzen wir diese Technologien ein, um innovative Mikro- und Nanosysteme zu entwickeln und Prototypen herzustellen. Unsere Entwicklungsarbeiten erfolgen dabei sowohl in regionalen, landesweiten und internationalen Forschungsprojekten als auch im Rahmen von Direktaufträgen in Kooperation mit Industriepartnern.

Unser Ausbildungsangebot zeichnet sich durch exzellente Qualität und Praxisbezug aus. Vorlesungen und Seminare werden durch Praktika sowie projektbezogene Forschungsarbeiten (BA, MA, PhD) mit Reinraum-Bezug ergänzt und unterstützt.