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Halbleiterphysik
Halbleiterphysik
Halbleiterphysik 

Horiba XploRA

Ansprechpartner:

Dr. Narmina Balayeva

Nutzung

  • Schnelle chemische Identifizierung und Kartierung von Feststoffen, dünnen Schichten und biologischen Proben

  • Untersuchungen von Spannung/Dehnung und Kristallinität in Halbleitern und 2D-Materialien

  • Schnelle, voll-konfokale Raman-Bildgebung für die Prozesskontrolle oder für Einrichtungen mit mehreren Benutzern

Ausstattung

  • Spektralbereich: 50 - 4 000 cm-¹ (mit einer optischen Einstellung, kein Gittertausch) 

  • Spektrale Auflösung: ≤ 1,4 cm-¹ (FWHM, hochauflösende Einstellung) / 6,5 cm-¹ (Standard) 

  • Laser (intern): bis zu drei gleichzeitig installierte Quellen (typ. 532 nm, 638 nm, 785 nm) mit automatischer Wellenlängenumschaltung 

  • Konfokale Leistung: 0,5 µm laterale Auflösung; echte Pinhole-Tiefenunterscheidung