Nanoindenter UNAT
(Eigenschaften von Dünnschichten (PVD, CVD, DLC) und Grenzflächen (Inferface) ohne Substrateinfluss)
Technische Angaben
- Indenter: Berkovich, Kugel
- Maximalkraft: 2000 mN
- Kraftauflösung: ≤ 0,1 µN (40 µN Rauschen)
- x-y-Tisch, Fahrbereich: 50 x 50 mm
- z-Tisch, Fahrbereich: 50 mm
- Objektivvergrößerung: 50-fach
Nanoindentation
- Härte nach Standard DIN EN ISO 14577
- Elastizitätsmessung mit Kugelindenter
- zyklische Messungen
Mikroscratchtest
- Indenterradius: ab 5 µm
- Normalkraft: 10 bis 2000 mN
- Scratchlänge: bis 2 mm
- Scratchgeschwindigkeit: bis 10 µm/s
Mikroverschleißtest
- Indenterradius: ab 5 µm bis 3,2 mm
- Normalkraft: 100 bis 2000 mN
- Verschleißspurlänge: bis 150 µm
QCSM-Modul
- Härte und E-Modul als Funktion der Eindringtiefe
