Nanoindenter UNAT

(Eigenschaften von Dünnschichten (PVD, CVD, DLC) und Grenzflächen (Inferface) ohne Substrateinfluss)

Technische Angaben

• Indenter: Berkovich, Kugel
• Maximalkraft: 2000 mN
• Kraftauflösung:  ≤ 0,1 µN (6 µN Rauschen)
• x-y-Tisch, Fahrbereich: 50 x 50 mm
• z-Tisch, Fahrbereich: 50 mm
• Objektivvergrößerung: 50-fach

Nanoindentation

• Härte nach Standard DIN EN ISO 14577
• Elastizitätsmessung mit Kugelindenter
• zyklische Messungen

Mikroscratchtest

• Indenterradius: ab 5 µm
• Normalkraft: 10 bis 2000 mN
• Scratchlänge: bis 2 mm
• Scratchgeschwindigkeit: bis 10 µm/s

Mikroverschleißtest

• Indenterradius: ab 5 µm bis 3,2 mm
• Normalkraft: 100 bis 2000 mN
• Verschleißspurlänge: bis 150 µm

QCSM-Modul

• Härte und E-Modul als Funktion der Eindringtiefe