Praktika / Anleitungen

Skripte und andere Lehrmaterialen sind nur für Studenten bzw. Mitarbeiter der Technischen Universität Chemnitz zugänglich.

Technologiepraktikum

• Zeitplanung

• Versuch V1 - Mikroskopie  (1.4 MB)
• Versuch V2 - Fotolithografie  (449 KB)
• Versuch V3 - Thermische Oxidation  (186 KB)
• Versuch V4 - Chemische Dampfphasenabscheidung (CVD)  (240 KB)
• Versuch V5 - Physikalische Dampfphasenabscheidung (PVD)  (653 KB)
• Versuch V6 - Naßchemisches Ätzen  (736 KB)
• Versuch V7 - Trockenätzen  (403 KB)
• Versuch V8 - Montage/Bonden  (1.6 MB)
• Versuch V9 - Simulation von Dotierungsprozessen  (5.4 MB)