wie andere Ellipsometer ermöglicht dieses Gerät eine schnelle, effiziente und präzise Echtzeitverfolgung von dielektrischen Funktionen (ε) und Schichtdicken.

es unterstützt die kombinatorische Analyse, indem es die In-situ-Ellipsometrie mit Probenpräparationsmethoden wie Sprühbeschichtung (Ultraschall-Spraycoater), Flash-Lamp-Annealing und tempern kombiniert

fester Winkel: 64,5°

Spektralbereich: 4,9 - 1,49 eV (Multi-Wavelenght-Modus), 6,2 - 1,37 eV (Single-Wavelength-Modus)

Spektrale Auflösung: 0,3 eV (MWM), 0,1 eV (SWM)