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Professur Werkstoff- und Oberflächentechnik
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Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop NEON40EsB mit EDXS und EBSD

Technische Angaben:

  1. Mikroskop
    • Abbildung von Ober-, Schliff- bzw. Bruchflächen von:
      • Ausgangsmaterialien (Pulver, Fasern, Folien)
      • Werkstoffen, Verbundwerkstoffen und Werkstoffverbunden
      • Beschichtungen
      • Bauteilen
    • Vergröerungen: 50-fach bis 200.000-fach (materialabhängig)
    • Detektoren:
      • Kammerdetektor für Sekundärelektronen
      • Kammerdetektor für Rückstreuelektronen
      • Inlens-Detektor für Sekundärelektronen
      • Inlens-Detektor für Rückstreuelektronen
      • STEM-Detektor für TEM-Lamellen
  2. Energiedispersive Röntgenmikrobereichsanalyse (EDXS) EDAX Genesis
    • Lokale chemische Analyse an ebenen Flächen:
      • für Elemente mit Ordnungzahl Z ≥ 8
      • Nachweisgrenze ca. 0,5 Gew.-% für Z ≥ 11
      • Quantifizierungsunsicherheit ca. 2 Gew.-% für Hauptanteile
      • Arten:
        • Durchschnittsanalyse
        • Phasenanalyse (für Teilchenabmessung > 1 µm)
        • Elementkonzentrationsverteilung entlang einer Geraden (Linescan)
        • Zweidimensionale Elementkonzentrationsverteilung (Mapping)
  3. Rückstreuelektronenbeugung (EBSD) EDAX TSL, TKD-EBSD (Transmissions-EBSD)
    • Orientierungs-Mapping (inverse Polfigur, IPF), Texturanalyse, Verformungsanalyse
    • kristallografische Phasenanalyse, Phasen-Mapping
Untersuchungsmethodik (pdf-Datei - 380kb) Beispiele

Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop NEON40EsB mit EDXS und EBSD