Elektronenmikroskopische Präparationstechnik

• Apparaturen zur Bedampfen bzw. Sputtern mit Kohlenstoff, Gold oder Gold/Palladium
• Diamantdrahtsäge
• Apparaturen zum Planparallel- und Muldenschleifen für die TEM-Präparation
• TENUPOL 5 zum elektrolytischen Dünnen von metallischen TEM-Präparaten
• GATAN PIPS zum Dünnen von TEM-Präparaten mittels Ar-Ionenstrahl unter flachem Einfallswinkel

Bedampfungsanlage für die Beschichtung von nichtleitfähigen Proben mit Graphit	Ultrahochpräzisionssäge zum Vorbereiten von TEM-Proben
Ätzanlage der Fa. GATAN zur Probenvorbereitung REM	Ionenpolieranlage der Fa. GATAN zur Probenvorbereitung TEM
Anlage zum chemischen Ätzen von TEM-Proben