Elektronenmikroskopische Präparationstechnik
- Apparaturen zur Bedampfen bzw. Sputtern mit Kohlenstoff, Gold oder Gold/Palladium
- Diamantdrahtsäge
- Apparaturen zum Planparallel- und Muldenschleifen für die TEM-Präparation
- TENUPOL 5 zum elektrolytischen Dünnen von metallischen TEM-Präparaten
- GATAN PIPS zum Dünnen von TEM-Präparaten mittels Ar-Ionenstrahl unter flachem Einfallswinkel
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| Bedampfungsanlage für die Beschichtung von nichtleitfähigen Proben mit Graphit | Ultrahochpräzisionssäge zum Vorbereiten von TEM-Proben |
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| Ätzanlage der Fa. GATAN zur Probenvorbereitung REM | Ionenpolieranlage der Fa. GATAN zur Probenvorbereitung TEM |
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| Anlage zum chemischen Ätzen von TEM-Proben |
