Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik

Publikationen der Professur - 2003


Publikationen / Vorträge

  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Geßner, T.: Vertikaler Feldeffekttransistor mit beweglicher Gate-Elektrode für die Bewegungsdetektion, 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz, 29.-30.10. 2003, ISBN 3-00-011655-9
  • Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Hanf, M.; Heinz, S.; Geßner, T.; Dötzel, W.; Ebest, G.: Technologieentwicklung für ein Mikrospiegelarray mit integrierter Elektronik, 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz, 29.-30.10. 2003, ISBN 3-00-011655-9
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Geßner, T.: A High Aspect Ratio Vertical FET Sensor for Motion Detection (PDF, 3MB / Award, 90kB), MICRO SYSTEM Technologies 2003, Posterpräsentation, München, 7.-8.10.2003; ISBN 3-77237020-9
  • Buschnakowski, S.; Heinz, S.; Zeun, H.; Korndörfer, F.; Ebest, G.: Integrierter Zweiphasen-Lock-In-Verstärker zur kapazitiven Signaldetektion mikromechanischer Vibrationssensoren, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 343-348, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Korndörfer, F.; Kuschel, B.; Heinz, S.; Zeun, H.; Buschnakowski, S.; Ebest, G.: Charakterisierung von Bauelementen unter dem Aspekt der Selbsterwärmung, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 419-424, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Korndörfer, F.; Schuberth, R.; Zeun, H.; Ebest, G.; Geßner, T.: Vertikaler Feldeffekttransistor mit beweglicher Gate-Elektrode für die Bewegungsdetektion, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 487-492, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Korndörfer, F.; Zeun, H.; Hiller, K.; Hahn, R.; Ebest, G.: Integrierter 48-kanaliger Hochvolt-Schalter zur Ansteuerung mikromechanischer Schwenkspiegel, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 493-498, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Zeun, H.; Korndörfer, F.; Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Ebest, G.: Summation phasenverschobener Signale, Informationstagung Mikroelektronik 2003, pp. 529-533, 1.-2.10.2003 Wien, Österreich, ISBN 3-85133-030-7
  • Zeun, H.; Heinz, S.; Buschnakowski, S.; Korndörfer, F.; Schreiter, M.; Ebest, G.: High-ohmic poly-Si in high-voltage circuits, Proceedings Conference Applied Electronics 2003, pp. 244-247, 10.-11.09.2003 Pilsen, Tschechien, ISBN 80-7082-951-6
  • König, D.; Zahn, D. R. T.; Ebest, G.: Field Effect Of Fixed Negative Charges On Oxidized Silicon Induced By AlF3 Layers With Fluorine Deficiency, accepted at 9th International Conference on the Formation of Semiconductor Interfaces (ICFSI-9), 15-19 September 2003, Madrid, Spain, doi:10.1016/j.apsusc.2004.05.113
  • Mrwa, A.; Erler, K.; Diefenbach, K. H.; Denissov, S.; Ebest, G.: Ortsaufgelöste Messung der Minoritätsladungsträgerlebensdauer bei Siliziumsolarzellen mittels MW-PVD (PDF, 416kB), Freiberger Siliziumtage 19.-21.6.2003, Freiberger Forschungshefte B 327, S 91-107, ISBN 3-86012-218-5
  • Buschnakowski, S.; Bertz, A.; Bräuer, W.; Heinz, S.; Schuberth, R.; Ebest, G.; Gessner, T.: Development and Characterization of a High Aspect Ratio Vertical FET Sensor for Motion Detection, The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 03, Boston, June 8-12 2003
  • Flaspöhler, M.; Buschnakowski, S.; Kuhn, M.; Kaufmann, C.; Frühauf, J.; Gessner, T.; Ebest, G.; Hübler, A.: Multispectral Image Capturing System Based on a Micro Mirror Device with a Diffraction Grating, Proceedings of The PICS Conference - The Digital Photography Conference, Rochester, NY, pg. 183-187 (2003), ISBN 0-89208-245-3
  • König, D.; Zahn, D. R. T.; Reich, R,; Gottfried, K.; Ebest, G.: P inversion layer solar cells as test for the I-S structure: results and prospects, Poster 1P-D3-21, 3rd World Conference on PV Solar Energy Conversion, 11-18 May 2003, Osaka, Japan

Diplom- und Studienarbeiten

  • Schreiter, M.: Entwurf eines integrierten Hochvolt-Verstärkers mit Schutzschaltungen zur Anwendung in Arraystrukturen, Diplomarbeit, Betreuer: Heinz, S., Juli 2003
  • Uhle, J.: Charakterisierung und Modellierung integrierter Polysilizium-Widerstände, Studienarbeit, Betreuer: Zeun, H.; Heinz, S., Februar 2003

Dissertationen

TUCaktuell