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Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik

Publikationen der Professur - 1999


Publikationen / Vorträge

  • Erler, K.; Mrwa, A.; Ball, M.; Heinz, S.; Zichner, N.: Großflächige multikristalline Silizium-Solarzellen mit hohen Wirkungsgraden, Zwischenbericht 1998, April 1999
  • Steiniger, C.; Bertz, A.; Höffer, A.; Heinz, S.; Ebest, G.; Geßner, T.: Verträglichkeit von Mikromechanik- und Mikroelektronik-Prozessen, Tagungsband Kolloquium des Sonderforschungsbereiches 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays", Chemnitz 12. Oktober 1999
  • Wibbeler, J.; Steiniger, C.; Wolf, K.; Symanzik, H.-G.; Mehner, J.; Dötzel, W.: Abstimmbare resonante Sensorarrays in oberflächennaher Si-Bulk-Mikromechanik, 4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 11./12.10.1999
  • Symanzik, H.-G.; Schlegel, C.: Elektronische Auslesung von mikromechanischen Schwingstrukturen in SCREAM Technologie, 4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 11./12.10.1999

Studienarbeiten

Diplomarbeiten

  • Siegel, T.: Entwurf integrierter Schaltungen zur analogen Verzögerung von Sensorsignalen, Diplomarbeit, Betreuer: Schlegel, C., Juli 1999
  • Schucknecht, T.: Untersuchung der Wandlersignalauswertung mit einer elektronischen Arraynachbildung, Diplomarbeit, Betreuer: Symanzik, H.-G., Oktober 1999

Presseartikel