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Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik 

Lehrveranstaltung Mikroelektronik



Die Einschreibung erfolgt über die OPAL-Plattform, auf der Sie auch weitere Informationen zum Kurs finden.

Studieninhalte

Vorlesungskomplexe
  1. Einordnung, Begriffsbestimmungen
    • Vor- und Nachteile
    • Integrationsgrad
  2. Bauelemente der Mikroelektronik
    • Halbleitermaterialien
      • Einordnung
      • Gitterstruktur
      • Eigenleitung
      • Störstellenleitung
      • Leitfähigkeit im Halbleiter
        • Einfluss elektrisches Feld
        • Einfluss Dotierung
      • Daten wichtiger Halbleitermaterialien
      • Ergänzung Diffusionsspannung
    • Halbleiterdioden
      • Wirkungsweise
      • Stromdurchflossener pn-Übergang
        • Flussfall
        • Sperrfall
      • Kennliniengleichungen
      • Reale Kennlinie
        • Bahnwiderstand
        • Durchbruch im Sperrbereich
      • Dynamische Eigenschaften
        • Sperrschichtkapazität
        • Diffusionskapazität
        • Kleinsignalersatzschaltbild
        • Großsignal-Schaltverhalten
      • Temperaturverhalten
      • Thermische Belastbarkeit
      • Spezielle Dioden - Einsatzgebiete
        • Gleichrichterdioden
        • Z-Dioden
        • Kapazitätsdioden (Varaktoren)
        • Schottkydioden
        • Tunneldioden
        • PIN-Dioden
    • Bipolartransistoren
      • Aufbau und Wirkungsweise
      • Grundschaltungen und Ersatzschaltbild
      • Kennlinienfelder und Arbeitspunkteinstellung
      • Temperaturverhalten
      • Arbeitspunktstabilisierung
      • Kleinsignalverhalten - Vierpolparameter
        • Ersatzschaltbild mit Hybrid-Parameter
        • Ersatzschaltbild mit y-Parametern (Leitwertparameter)
        • Ersatzschaltbild mit π-Parametern
      • Kleinsignalverstärker
        • Emitterschaltung
        • Basisschaltung
        • Kollektorschaltung
      • Schaltverhalten
    • Unipolartransistoren
      • Sperrschicht-Feldeffekttransistoren (JFET)
      • MOSFETs
      • Aufbau und Wirkungsweise
      • Kennlinien des MOSFET (Enhancement-Typ)
      • Arbeitspunktstabilisierung
      • Temperaturverhalten
      • Kleinsignalersatzschaltbilder
        • Ersatzschaltbild mit y-Parametern (Leitwertparameter)
        • Ersatzschaltbild mit π-Parametern
      • Kleinsignalverstärker (Source Schaltung)
    • Operationsverstärker
      • Prinzipielle Funktion
      • Invertierende und Nichtinvertierende Grundschaltung
      • Transferkennlinie des realen OPV
      • Frequenzkompensation
      • Anwendungsgrundschaltungen
  3. Technologien der Mikroelektronik
    • Klassifizierung
    • Prozessschritte
      • Waferherstellung
      • Schichttechnik
        • CVD-Verfahren
        • Thermische Oxidation
        • PVD-Verfahren
      • Fotolithografie
      • Dotiertechnik
      • Ätztechnik
    • Strukturerzeugung
    • Bipolartechnik
    • MOS-Technik
    • Assembly - Packaging
  4. Integrierte Schaltungstechnik
    • Besonderheiten der integrierten Schaltungstechnik
    • Digitaltechnik
      • Bipolare Schaltkreisfamilien
        • TTL
        • ECL
      • MOS-Technik
      • CMOS-Technik
      • Dynamische Schaltungstechnik
    • Analogtechnik
      • Stromquellen - Stromspiegel
      • Spannungsquellen
      • Verstärker
  5. Wirtschaftliche Aspekte
    • Zuverlässigkeit und Ausbeute
    • Kostenstruktur
Praktikum
  1. HL-Diode Gleichrichtung, Stabilisierung: Eigenschaften von Halbleiter-Dioden, Gleichrichtung, Spannungsstabilisierung
  2. Bipolartransistor, Emitterschaltung ohne Rückkopplung: Kennlinienfelder, Untersuchung einer Verstärkerstufe in Emitterschaltung
  3. Operationsverstärker: Kennwerte des OPV, Untersuchung verschiedener Grundschaltungen
  4. Digitale Schaltungen mit HCT-Bausteinen: Eigenschaften von Schaltkreisfamilien, kombinatorische und sequenzielle Schaltungen (Schloss, Würfel, Telefon-Besetztzeichen, Impulsdauermessung)
  5. Besuch des Zentrums für Mikrotechnologien: überblicksmäßige Darstellung der Schaltkreisherstellung von der Siliziumscheibe bis zur Verkappung, Reinstraumbedingungen

Studiengänge / -gruppen

  • Wahlpflichtfach im 4. und 5. Semester des Bachelor-Studiengangs Wirtschaftsingenieurwesen - Vertiefungsrichtung Elektrotechnik (B_IWET4 bzw. B_IWET5)

Zeitplan aktuelles Semester

LVWochentagSeminargruppenZeitOrtBeginn
Vmittwochs, 2. WoB_IWET511:30-13:00 UhrC25.36616.10.2024
Ümittwochs, 1. WoB_IWET511:30-13:00 UhrC25.36623.10.2024
Pmittwochs, 2. WoB_IWET507:30-10:45 UhrC25.368(16.10.2024)

Lehrmaterialien

Prüfung aktuelles Semester (Nach- / Wiederholer)

Termin:individuell
Raum:C25.322 (alt: 2/W322)
Typ:mündliche Prüfung, jeweils 30 min
Prüfer:DI Ramsbeck
Beisitzer:DI Loebel
  • Eine junge Frau sitzt am Computer.

    Rund um die Uhr die Hausarbeit abschließen

    Einfach dranbleiben: Universitätsbibliothek der TU Chemnitz hat unmittelbar im Anschluss an die „Lange Nacht der aufgeschobenen Hausarbeiten“ am 5. Februar 2026 erstmals noch bis 14. Februar gegen Mitternacht 24/7 geöffnet …

  • Logo vor einer Gebäudeansicht

    TU Chemnitz im Ranking von StudyCheck.de auf Platz 4 der beliebtesten Universitäten in Deutschland

    Ein „StudyCheck Award 2026“ mit dem Zertifikat „Top Universität 2026“ geht dank der sehr positiven Bewertung ihrer Studierenden sowie Absolventinnen und Absolventen an die TU Chemnitz – Zudem ist die TUC aktuell die zweitbeste staatliche Universität im Live-Ranking „Digital Readiness“ …

  • Mehrere Personen spielen Tischtennis.

    Wenn der Deutschkurs in die Werkhalle verlagert wird

    Tischtennisturnier krönte Premiere des Sprach- und Praxisprojekts „Deutsch für Ingenieure“ – Internationale Studierende präsentierten ihre selbstgebauten Schläger und bewiesen dabei ihre neugewonnene Sprachkompetenz …

  • Blick auf ein schiff, das neben einem Gebäude ankert.

    Spurensuche in der Stadt

    Wie Migration Stadtbilder und Lebensgeschichten prägt, zeigt das Deutsche Auswandererhaus in Bremerhaven bis zum 1. März 2026 – Ausstellung „Aufbrüche – Umbrüche“ verknüpft Bremerhaven und Chemnitz in einem Dialog über Wandel, Erinnerung und Identität – Professur Humangeographie mit Schwerpunkt Europäische Migrationsforschung der TU Chemnitz wirkte an der Konzeptentwicklung mit …