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Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik 

Komplexpraktikum Mikroelektronik


Studieninhalte

  1. Motivation
    • professioneller Einblick in das Gebiet der Mikroelektronik
    • Kennenlernen von "state of the art"-Soft- und Hardware
    • praktische Arbeiten in den Gebieten
      • integrierter Entwurf
      • Parameterextraktion
      • Messung auf Waferlevel und Diskret
      • Modellierung
    • Exkursion zu einer Foundry
  2. Überblick
    • Aufgabengebiete der Mikroelektronik
    • Vorstellung des Labors (virtueller Rundgang)
    • Präsentation der aktuellen Forschungsaktivität
  3. Entwurf und Simulation eines einfachen Operationsverstärkers
    • Dimensionierung
    • Gleichstromverhalten
    • Bode-Diagramm
  4. Layoutentwurf
    • Layout des Operationsverstärkers aus voriger Einheit
    • Voraussetzungen und Bestandteile Layoutentwurf
    • Begriffe und Techniken wie Layer, DRC, LVS, PEX, Dummy-Strukturen usw.
    • Einblick in an der Professur entwickelten integrierten Hochvoltverstärker
  5. Entwurfsprozess digitale Schaltung
    • Spezifikation
    • VHDL-Code
    • Simulation (QuestaSim)
    • Synthese (LeonardoSpectrum)
    • Layout (IC Station)
  6. Einführung automatisiertes Messen
    • IC-CAP
    • Messumgebung
  7. Messungen
    • Waferprobermessung - Flusskennlinie Hochvolt-Diode
    • Temperaturschrank - Ausgangskennlinienfeld Bipolar-Kleinsignaltransistor bei -40 °C < T < 150 °C
    • diskret - Ausgangskennlinienfeld Hochvolt-DMOS
  8. Modellierung
    • Was ist Modellierung?
    • Beispiel IC-CAP
  9. Exkursion in Chipschmiede

Studiengänge / -gruppen

  • Wahlfach im 6. Semester des Bachelor-Studiengangs Elektrotechnik - Berufsfeld / Vertiefungsrichtung Mikro- und Nanoelektronik (B_ETMN6)

  • Wahlfach im 2. Semester des Master-Studiengangs Mikrosysteme und Mikroelektronik - Berufsfeld / Vertiefungsrichtung Mikro- und Nanoelektronik (M_MSMN2)

Zeitplan aktuelles Semester

LVWochentagSeminargruppenZeitOrtBeginn
Pdonnerstags, 2. WoB_ETMN6, M_MSMN213:45-17:00 UhrC25.366 
Die konkreten Praktikumstermine werden in der Vorlesung "Physikalischer und elektrischer Entwurf" bekanntgegeben.

Lehrmaterialien

Prüfung aktuelles Semester

Eine Prüfung für dieses fakultative Praktikum ist nicht vorgesehen.
  • Ein Mann und eine FRau stehen vor einer Tafel, an der farbige Puzzlesteine befestigt sind.

    Die Kombi macht’s: TU Chemnitz startet Bachelorstudiengang mit 99 Kombinationsmöglichkeiten

    Für maßgeschneiderte Profile in Zeiten des Wandels: Ab dem Wintersemester 2026/27 können Studierende ein Hauptfach frei mit einem Nebenfach kombinieren – Neuer Kombinationsstudiengang soll insbesondere den Bildungs- und Wissenschaftsstandort Chemnitz und die Region Südwestsachsen stärken …

  • Porträt einer Frau

    Im Fokus: Bedroh­liche Veränderungen der politischen Kultur

    Prof. Dr. Susanne Rippl vom Arbeitsbereich Politische Soziologie der TU Chemnitz ist Co-Autorin eines Buches, das aufzeigt, wie rechte Narrative die Demokratie unterwandern …

  • Porträt eines Mannes

    Schichtungen im Moment des Hörens

    Konzertsymposium „Schichtungen: Chemnitz, Berlin, Wien. In memoriam Peter Ablinger“ bringt vom 21. bis zum 22. Mai 2026 internationale Komponisten und Interpreten, Installationen, Konzeptkunst und wissenschaftliche Perspektiven an die TU Chemnitz und in die Kunstsammlungen Chemnitz …

  • Eine Europa-Tischflagge steht vor einem Globus.

    Diskutieren über Europa

    Professur Europäische Integration mit dem Schwerpunkt Europäische Verwaltung der TU Chemnitz unterstützt am 11. Mai 2026 öffentliche Podiumsdiskussion – Interessierte können sich für die Veranstaltung bis zum 4. Mai anmelden …