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Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik 

Komplexpraktikum Mikroelektronik


Studieninhalte

  1. Motivation
    • professioneller Einblick in das Gebiet der Mikroelektronik
    • Kennenlernen von "state of the art"-Soft- und Hardware
    • praktische Arbeiten in den Gebieten
      • integrierter Entwurf
      • Parameterextraktion
      • Messung auf Waferlevel und Diskret
      • Modellierung
    • Exkursion zu einer Foundry
  2. Überblick
    • Aufgabengebiete der Mikroelektronik
    • Vorstellung des Labors (virtueller Rundgang)
    • Präsentation der aktuellen Forschungsaktivität
  3. Entwurf und Simulation eines einfachen Operationsverstärkers
    • Dimensionierung
    • Gleichstromverhalten
    • Bode-Diagramm
  4. Layoutentwurf
    • Layout des Operationsverstärkers aus voriger Einheit
    • Voraussetzungen und Bestandteile Layoutentwurf
    • Begriffe und Techniken wie Layer, DRC, LVS, PEX, Dummy-Strukturen usw.
    • Einblick in an der Professur entwickelten integrierten Hochvoltverstärker
  5. Entwurfsprozess digitale Schaltung
    • Spezifikation
    • VHDL-Code
    • Simulation (QuestaSim)
    • Synthese (LeonardoSpectrum)
    • Layout (IC Station)
  6. Einführung automatisiertes Messen
    • IC-CAP
    • Messumgebung
  7. Messungen
    • Waferprobermessung - Flusskennlinie Hochvolt-Diode
    • Temperaturschrank - Ausgangskennlinienfeld Bipolar-Kleinsignaltransistor bei -40 °C < T < 150 °C
    • diskret - Ausgangskennlinienfeld Hochvolt-DMOS
  8. Modellierung
    • Was ist Modellierung?
    • Beispiel IC-CAP
  9. Exkursion in Chipschmiede

Studiengänge / -gruppen

  • Wahlfach im 6. Semester des Bachelor-Studiengangs Elektrotechnik - Berufsfeld / Vertiefungsrichtung Mikro- und Nanoelektronik (B_ETMN6)

  • Wahlfach im 2. Semester des Master-Studiengangs Mikrosysteme und Mikroelektronik - Berufsfeld / Vertiefungsrichtung Mikro- und Nanoelektronik (M_MSMN2)

Zeitplan aktuelles Semester

LVWochentagSeminargruppenZeitOrtBeginn
Pdonnerstags, 2. WoB_ETMN6, M_MSMN209:15-13:00 UhrC25.322 
Die konkreten Praktikumstermine werden in der Vorlesung "Physikalischer und elektrischer Entwurf" bekanntgegeben.

Lehrmaterialien

Prüfung aktuelles Semester

Die Teilnahme an allen Praktikumsveranstaltungen gilt als Prüfungsvoraussetzung im Fach "Physikalischer und elektrischer Entwurf".
  • Grafik einer Person neben einer Dsikokugel.

    TU Chemnitz lädt zur TUCsommernacht ein

    6. TUCsommernacht lockt am 21. Juni 2025 mit Tanzmusik in den Innenhof des Böttcher-Baus – Mitglieder der TUC-Familie sorgen auf Dancefloor für coole Beats …

  • Ein Mann beobachtet einen JUngen beim Basteln mit einem Getriebe.

    Von der Wasserstoffbar bis hin zum „Schüttelwürfel“

    Mehrere Akteure der TU Chemnitz möchten am 21. und 22. Juni 2025 auf der Tüftlermesse „makers united“ Kinder und Jugendliche insbesondere für die naturwissenschaftlichen und technischen Studienfächer begeistern …

  • Mehrere Sportlerinnen spielen in einer Halle Volleyball.

    Architektur zum Anschauen

    Zum „Tag der Architektur 2025“ werden am 28. Juni Führungen durch das Transmissions­elektronen­mikroskopiezentrum und das Sportzentrum der TU Chemnitz angeboten …

  • Schriftzug auf roten Hintergrund.

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    Neues Online-Debattenformat der Juniorprofessur Soziologie mit Schwerpunkt Technik der TU Chemnitz startet am 25. Juni 2025 …