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Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik 

Komplexpraktikum Mikroelektronik


Studieninhalte

  1. Motivation
    • professioneller Einblick in das Gebiet der Mikroelektronik
    • Kennenlernen von "state of the art"-Soft- und Hardware
    • praktische Arbeiten in den Gebieten
      • integrierter Entwurf
      • Parameterextraktion
      • Messung auf Waferlevel und Diskret
      • Modellierung
    • Exkursion zu einer Foundry
  2. Überblick
    • Aufgabengebiete der Mikroelektronik
    • Vorstellung des Labors (virtueller Rundgang)
    • Präsentation der aktuellen Forschungsaktivität
  3. Entwurf und Simulation eines einfachen Operationsverstärkers
    • Dimensionierung
    • Gleichstromverhalten
    • Bode-Diagramm
  4. Layoutentwurf
    • Layout des Operationsverstärkers aus voriger Einheit
    • Voraussetzungen und Bestandteile Layoutentwurf
    • Begriffe und Techniken wie Layer, DRC, LVS, PEX, Dummy-Strukturen usw.
    • Einblick in an der Professur entwickelten integrierten Hochvoltverstärker
  5. Entwurfsprozess digitale Schaltung
    • Spezifikation
    • VHDL-Code
    • Simulation (QuestaSim)
    • Synthese (LeonardoSpectrum)
    • Layout (IC Station)
  6. Einführung automatisiertes Messen
    • IC-CAP
    • Messumgebung
  7. Messungen
    • Waferprobermessung - Flusskennlinie Hochvolt-Diode
    • Temperaturschrank - Ausgangskennlinienfeld Bipolar-Kleinsignaltransistor bei -40 °C < T < 150 °C
    • diskret - Ausgangskennlinienfeld Hochvolt-DMOS
  8. Modellierung
    • Was ist Modellierung?
    • Beispiel IC-CAP
  9. Exkursion in Chipschmiede

Studiengänge / -gruppen

  • Wahlfach im 6. Semester des Bachelor-Studiengangs Elektrotechnik - Berufsfeld / Vertiefungsrichtung Mikro- und Nanoelektronik (B_ETMN6)

  • Wahlfach im 2. Semester des Master-Studiengangs Mikrosysteme und Mikroelektronik - Berufsfeld / Vertiefungsrichtung Mikro- und Nanoelektronik (M_MSMN2)

Zeitplan aktuelles Semester

LVWochentagSeminargruppenZeitOrtBeginn
Pdonnerstags, 2. WoB_ETMN6, M_MSMN209:15-13:00 UhrC25.322 
Die konkreten Praktikumstermine werden in der Vorlesung "Physikalischer und elektrischer Entwurf" bekanntgegeben.

Lehrmaterialien

Prüfung aktuelles Semester

Eine Prüfung für dieses fakultative Praktikum ist nicht vorgesehen.