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Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik

Komplexpraktikum Mikroelektronik


Studieninhalte

  1. Motivation
    • professioneller Einblick in das Gebiet der Mikroelektronik
    • Kennenlernen von "state of the art"-Soft- und Hardware
    • praktische Arbeiten in den Gebieten
      • integrierter Entwurf
      • Parameterextraktion
      • Messung auf Waferlevel und Diskret
      • Modellierung
    • Exkursion zu einer Foundry
  2. Überblick
    • Aufgabengebiete der Mikroelektronik
    • Vorstellung des Labors (virtueller Rundgang)
    • Präsentation der aktuellen Forschungsaktivität
  3. Entwurf und Simulation eines einfachen Operationsverstärkers
    • Dimensionierung
    • Gleichstromverhalten
    • Bode-Diagramm
  4. Layoutentwurf
    • Layout des Operationsverstärkers aus voriger Einheit
    • Voraussetzungen und Bestandteile Layoutentwurf
    • Begriffe und Techniken wie Layer, DRC, LVS, PEX, Dummy-Strukturen usw.
    • Einblick in an der Professur entwickelten integrierten Hochvoltverstärker
  5. Entwurfsprozess digitale Schaltung
    • Spezifikation
    • VHDL-Code
    • Simulation (QuestaSim)
    • Synthese (LeonardoSpectrum)
    • Layout (IC Station)
  6. Einführung automatisiertes Messen
    • IC-CAP
    • Messumgebung
  7. Messungen
    • Waferprobermessung - Flusskennlinie Hochvolt-Diode
    • Temperaturschrank - Ausgangskennlinienfeld Bipolar-Kleinsignaltransistor bei -40 °C < T < 150 °C
    • diskret - Ausgangskennlinienfeld Hochvolt-DMOS
  8. Modellierung
    • Was ist Modellierung?
    • Beispiel IC-CAP
  9. Exkursion in Chipschmiede

Studiengänge / -gruppen

  • Wahlfach im 6. Semester des Bachelor-Studiengangs Elektrotechnik - Berufsfeld / Vertiefungsrichtung Mikro- und Nanoelektronik (B_ETMN6)

  • Wahlfach im 2. Semester des Master-Studiengangs Mikrosysteme und Mikroelektronik - Berufsfeld / Vertiefungsrichtung Mikro- und Nanoelektronik (M_MSMN2)

Zeitplan aktuelles Semester

LVWochentagSeminargruppenZeitOrtBeginn
Pdienstags, 2. WoB_ETMN6, M_MSMN207:30-10:45 Uhr2/W366 
Die konkreten Praktikumstermine werden in der Vorlesung "Physikalischer und elektrischer Entwurf" bekanntgegeben.

Lehrmaterialien

Prüfung aktuelles Semester

Die Teilnahme an allen Praktikumsveranstaltungen gilt als Prüfungsvoraussetzung im Fach "Physikalischer und elektrischer Entwurf".