Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik

Virtueller Laborrundgang


Laborplan
Studentenarbeitsplätze Studentenarbeitsplätze Studentenarbeitsplätze, rechts im Bild der PM8 Süss Microtec Probe System mit Lasercutter Studentenarbeitsplätze Studentenarbeitsplätze, links im Bild eine CTS Klimakammer für Tests unter thermischen Zyklen Reinraum, in der Mitte ein halbautomatischer Cascade PA300 Waferprober mit Temperaturregelung im Bereich von -60 ... +300 °C, rechts im Bild ein Axiotron Mikroskop von Zeiss Reinraum, links ein Waferprober PA300 von Süss Microtec, rechts ein Waferprober PA200 BlueRay Arbeitsplätze für die vorlesungsbegleitenden Praktika Arbeitsplätze für die vorlesungsbegleitenden Praktika Arbeitsplätze für die vorlesungsbegleitenden Praktika Werkstatt mit Abzug, Lätplatz und Ätzplatz