Matlab-Skripte zur Visualisierung von Waferlevel-Messdaten
Die Skriptsammlung verfolgt das Ziel, möglichst effizient aus CSV-Dateien Abbildungen zu erzeugen. Die ursprünglichen Skripte entstanden im Rahmen von Forschungsarbeiten zur Charakterisierung und Auswertung von Hochvoltstrukturen. Daher ist die gesamte Sammlung auf die Prozessierung von Daten aus Durchbruchsmessungen ausgelegt. Soweit wie möglich wurden die Skripte generalisiert, um eine einfache Anpassung an andere Anwendungen zu ermöglichen.
Folgende Operationen beherrschen die Skripte:
- Einlesen von CSV-Daten und Überführung in eine Matlab-Datenstruktur
- Parsen von Dateiköpfen (engl. Fileheader) und Überführen in eine Datenstruktur, die aus den genannten Schlüsselwörtern und dem zugehörigen Wert besteht
- Erzeugen von logarithmischen Diagrammen (IV-Kennlinie)
- Darstellung der örtlichen Abhängigkeit einer skalaren Größe als Wafermap
- Visualisierung von Multiwafer-Daten als Multiwafermap
