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Halbleiterphysik
Halbleiterphysik
Halbleiterphysik 

Accurion Nanofilm EP4

Ansprechpartner:

Eugene Bortchagovsky

Nutzung

  • Messung der ersten drei Zeilen der Müller-Matrix

  • Messmodi: Nullellipsometrie oder Ellipsometrie mit rotierenden Kompensator

Spezifikationen

  • Einfallswinkel: 40° - 90°

  • Spektralbereich: 250 - 1700 nm

  • Räumliches Auflösungsvermögen: 1-2 µm