Studentische Arbeiten

Für dieses Jahr sind keine weiteren Abschlussarbeiten in der Datenbank eingetragen.

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Richter, A.: Untersuchung spezieller temperaturstabiler Filamente des FDM 3D-Drucks.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Auerswald

Bartholme , B.: Vergleich, Optimierung und Implementierung von QRS-Detektionsalgorithmen.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, M.Sc. Wohlrab

Battram, E.: Multiphysiksimulation eines mikromechanischen thermischen Aktors.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dipl.-Ing. Freitag

Bosler, E.: Entwicklung eines Impedanzsensorsystems zur Vermessung eines Kapazitiven Resonatorsensors.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Voigt

Breuer, B.: Numerische Untersuchung der AE-Sensor-Bauteil-Schnittstelle.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dipl.-Ing. Freitag

Friedemann, M.: Weiterentwicklung eines Musterstimulators für die Ableitung visuell evozierter Potentiale auf Basis eines DLP-Projektors.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Hr. Biedermann

Glöckner, A.: Bestimmung der Ozonkonzentration während der Keredusy-Desinfektionsprozesses im Hauptstrom und an dünnen Schläuchen.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Hr. Hollosi

Hempel, P.: Hard- und Softwareentwicklung zur Ansteuerung von Low-Power-Displays für tragbare medizinische Anwendungen.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, M.Sc. Wohlrab

Kang, Y.: Studie einer resonanten 3-DOF Parallelkinematik in SOI MEMS-Technologie.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Voigt

Kötz, J.: Entwicklung eines Kapazitiven Resonatorsensors für den Einsatz in extrakorporalen Kreisläufen.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Voigt

Schmidt, S.: Aufbau und Test eines Messplatzes zur Visualisierung und Quantifizierung von Luftströmen.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Voigt

Tobie, M.: Numerical Demotulation of LVDT Sensor Signal.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Hr. Scheffer-Czygan

Venkatesan, A.: Development and Analysis of a Characterisation Process for Automated Luminance Evaluation of Automotive Light Systems.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Hr. Kleinert

Wabra , R.: Entwicklung des Ansteuersystems eines Prüfstandes zur Charakterisierung von Schrittmotoren.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, M.Sc. Wohlrab

Waqar, G.: Active Segmentation Toolbox for ImageJ.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Hr. Prodanov

Weise, S.: Numerische Untersuchung der Einspannverluste.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dipl.-Ing. Freitag

Werner, M.: Untersuchungen zum dynamischen Auslesen eines faseroptischen Fabry-Perot Interferometers mithilfe einer breitbandigen Lichtquelle.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Voigt

Baumgärtel, M.: Systematik zur Untersuchung und Bewertung der Qualität einer AE-Sensorankopplung.
Bachelorarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. M. Freitag

Bruch, J.: Optimierung der Flusssteuerung / -messung bei der Siebkoeffizientenmessung zur Charakterisierung von Kapillarmembranen.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. J. Mehner

Heinrich, S.: Aufbau und Test eines Fabry-Perot-Interferometers zur Verschiebungsmessung mit Hilfe einer breitrandigen Lampe.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Voigt

Kharwadkar, P.: Observation the behavoir of Sandstone under mechanical and thermal load using fiber optic sensor.
Masterarbeit; Betreuer: Weranek, Prof. Mehner, Dr. Voigt

Kriebel, D.: Modellierung und Analysevon komplexen Massekörpern für Mikrosysteme mit Boolschen Operationen.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, M.Sc. Schmidt

Lippmann, E.: Entwicklung einer Augenmuschel mit integrierter Messelektrode für ein mobiles Augendiagnosegerät.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Hr. Steinbach

Multhauf, M.: Validierung des Simulationsmodells zur Berechnung der fluiden Dämpfung für den Resonator.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dipl.-Ing. Freitag

Prathamesh, K.: Observation of the behaviour of sandstone under mechanical and thermal load using a fiber optic sensor.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. J. Mehner

Ravi, P.: Determination of nanoscale structural deformation using AFM.
Masterarbeit; Betreuer: Dr. S. Voigt

Schiebold, M.: Entwicklung von EKG-Elektroden ohne galvanischen Hautkontakt.
Masterarbeit; Betreuer: M.Sc. D. Wohlrab, Dr. D. Tenholte

Shivalingaiah, V.: Development of a smartphone app for medical parameter processing.
Masterarbeit; Betreuer: M.Sc. D. Wohlrab

Sihan, W.: Simulation der fluidischen Dämpfung für einen kompletten mikromechanischen Resonator aus den Maskendaten.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dipl.-Ing. Freitag

Singh, R.: Determination of nanoscale structural deformation using AFM.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Voigt

Viraja, S.: Design & Assambly of a Tool to apply conial and cylindrical bending on a MEMS Pressure Sensor.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Hr. Danneberg

Windrich, I.: Aufbau einer Trägerfreque nzmessbrücke für einen regelbaren Neigungssensor.
Masterarbeit; Betreuer: Dr. Dienel, Prof. Mehner

Wölfl, P.: Aufbau und Praktikumsplatz zur messtechnischen Charakterisierung eines BLDC-Motors (Elektronikmotor).
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Dienel

Yuvaprasad, R.: Modification of micro mirror strategy for use in automotive systems.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. J. Mehner

Zihao, F.: Entwicklung einer Android-App zur Steuerung und Datenverarbeitung eines Messsystems für die Vitalparametererfassung.
Masterarbeit; Betreuer: M.Sc. D. Wohlrab

Alshateri, A.: Optimization of High Voltage-Converters for Space Application.
Masterarbeit; Betreuer: Dr. S. Voigt

Burkhardt, M.: Herstellung und Charakterisierung von Silizium-Nanostrukturen für die biomedizinische Anwendung.
Masterarbeit; Betreuer: Dr. D. Tenholte

Schwarzenberger, A.: Entwicklung und Optimierung eines mobilen EKG-Messsystems mit drahtloser Datenübertragung.
Bachelorarbeit; Betreuer: M.Sc. D. Wohlrab

Spindler, A.: Potentialfreie Daten- und Energieübertragung für Körperschallsensoren in Windkraftanlagen.
Bachelorarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. C. Auerswald

Uschkurat, P.: Erarbeitung eines Versuchsstandes für die Erfassung der statischen und dynamischen Parameter eines Gleichstromhubmagneten.
Bachelorarbeit; Betreuer: Dr. S. Voigt

Abdelrazek, A.: Packaging / Interface concepts, effects and models for acceleration and gyroscope MEMS on ASIC front end.
Masterarbeit; Betreuer: Dr. A. Shaporin

Abu Bakr, A.: Packaging / Interface concepts, effects and models for acceleration and gyroscope MEMS on ASIC front end.
Masterarbeit; Betreuer: Dr. A. Shaporin

Ashutosh, L.: Design Stody of a Bitter Coil for Electromagnetic Pulse Metal Processing Techniques using Finite Element Method.
Masterarbeit; Betreuer: Dr. W. Kolchuzhin

Berner, T.: Thermoelastische Dämpfung in einer mikromechanischen Feder.
Bachelorarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. M. Freitag

Chen, X.: Selbsterhaltende Mechanik für einen MEMS-Aktor.
Masterarbeit; Betreuer: Dr. M. Dienel

Dathe, A.: Bistabiler MEMS-Aktor.
Masterarbeit; Betreuer: Dr. M. Dienel

Nagel, C.: Die Energieversorgung für ein autonomes Sensorsystem.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. J. Mehner

Ruben, G.: Entwicklung eines digitalen Wärmeleitungs-Vakuummeters.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. J. Mehner

Sanjeev, C.: Analysis and development of a low-power radio transceiver for data transmission of freely moving objects.
Masterarbeit; Betreuer: M.Sc. D. Wohlrab

Ullmann, U.: Eingabesystem und Bestückungsanzeige für ein Drucksystem.
Bachelorarbeit; Betreuer: Dr. M. Dienel

Wabra, R.: Entwurf, Aufbau und Test eines Systems zur Parametererfassung von Multiflexketten.
Bachelorarbeit; Betreuer: M.Sc. R. Sommer

Henry, J. N.: Development of an I2C converter for reading out EEPROMS using LabView.
Masterarbeit; Betreuer: Dr. D. Tenholte

Knüpfer, M.: Aufbau und Charakterisierung eines polymeren Mehrschichtaufbaus für Lab-on-a-Chip (LoC)-Anwendungen mithilfe des Laserdurchstrahlschweißens.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dipl.-Ing. D. Czurratis (Robert Bosch GmbH)

Langhans, C.: Aufbau und Test einer Messeinrichtung zur Bestimmung von Strom- Spannungskennlinien von Bauelementen auf Wafer-Level im Vakuum.
Bachelorarbeit; Betreuer: Dr. Voigt

Mazharuddin, M.: Low Power Capacitive Rotation Detection.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dr. D. Scheibner (Siemens)

Mehdipour, S.: Development of a small spectrometer towards wearable bioimpedance applications.
Masterarbeit; Betreuer: Dr. S. Voigt

Schmidt, Henry: Analysis of Influence of Perforations in Structural Elements of MEMS Sensors and Actuators.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner

Sommer, R.: Aufbau und Test eines Minimalsystems zur Erfassung der frequenzabhängigen Impedanz biomedizinischer Proben.
Masterarbeit; Betreuer: Dr. S Voigt

Trinks, M.: Untersuchung der Eignung eines Beschleunigungssensors zur hämodynamischen Optimierung in der CRT-Therapie.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. D. Tenholte

Varun, T.: Reliability of MEMS microphones.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. J. Mehner

Chen, Y.: Eigenspannungsmessung hoher Ortsauflösung an Halbleiter- und MEMS-Strukturen.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Vogel

Freitag, M.: Dämpfungssimulation im slip-flow Regime.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. A. Sorger

Gerhardt, R.: Höhenmessvorrichtung für einen Drahtbonder.
Bachelorarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. C. Auerswald

Kaiser, B.: Stressanalyse und Optimierung in „bulk micromachining“ Systemen.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Drabe (Fraunhofer IPMS)

Lehnert, N.: Konstruktion und Test verschiedener Strahlungsquellen zur Realisierung einer Breitband-UV-Absorptionsspektroskopie zur Chlordetektion.
Bachelorarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Zimmermann (ZfM)

Schmidt, H.: Modellierung und Entwurf einen MEMS-Gleichspannungswandlers.
Bachelorarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. A. Sorger

Wang, W.: Erarbeitung einer elektro-chemischen Abscheidungszelle zur Deposition nanoskalierter Mehrschichtsysteme.
Masterarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, J. Bräuer (Fraunhofer ENAS)

Wohlrab, D.: Entwicklung einer Inertialmesseinheit.
Masterarbeit; Betreuer: Dr. M. Dienel

Möbius, M.: Entwurf, Modellierung und Simulation von mikroelektromechanischen Körperschallsensoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr.-Ing. A. Shaporin, Dipl.-Ing. A. Sorger

Weidlich, S: Kapazitiver Datenlogger mit dem AD7747.
Bachelorarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. C. Auerswald

Franke, D.: Entwurf, Aufbau und Test einer Elektronik zur dynamischen Kapazitätsmessung nach dem Delta-Sigma-Prinzip.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. C. Auerswald, Dr.-Ing. M. Dienel

Gebhardt, E.: Charakterisierung von Mikrooptiken.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dipl.-Ing. (FH) A. Timmermann (LIMO GmbH)

Günther, B.: Aufbau und Evaluierung mikrofluidischer Komponenten für Lab-On-Chip-Systeme.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dipl.-Ing. J. Rupp (Robert Bosch GmbH)

Sorger, A.: Simulation von Dämpfungsmechanismen in komplexen Mikrosystemen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. A. Shaporin

Streit, P.: Algorithmische Optimierung von Teststrukturen zur Charakterisierung von Mikrosystemen auf Waferebene.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. A. Shaporin

Auerswald, C.: Entwurf, Aufbau und Test einer Laborelektronik für die Charakterisierung kapazitiver Sensoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. S. Voigt

Mahn, C.: Aufbau einer Messzelle für die medizinische Anwendung von Nanomagneten.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Mehner

Naumann, M.: Entwicklung von Teststrukturen zur Charakterisierung von Sticking-Effekten in MEMS.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. R. Kiehnscherf

Wetzel, S.: Untersuchungen zur Realisierung von Vertiefungen und Rillen mit Abmessungen im Submikrometerbereich durch eine schreibende mechanische Bearbeitung.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Frühauf, Dipl.-Ing. Seifert

Böhme, M.: Elektrostatische Anregung von MEMS zur Analyse des dynamischen Verhaltens.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kurth, Prof. Dötzel

Lasch, M.: Entwicklung eines Gerätekonzeptes zum berührungslosen Vermessen lasergesinterter Gitterbauteile.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dipl.-Ing. Schuhmann

Meinig, M.: Verfahren zum Test von MEMS-Bauelementen durch die Messung der Eigenfrequenzen.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Mehner, Dr. Kurth

Reinhold, S.: Entwicklung eines vakuumtauglichen Teststands zum Test von Kugellagern für Raumfahrtanwendung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dipl.-Ing. Schmid

Sachse, M.: Konzept zur Integration eines Fadenlängenmessers in einer Luftdüsenwebmaschine.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Dienel, Hon.-Prof. Kasparick

Stammberger, K.: Technische und wirtschaftliche Betrachtung zur Erkennung von Lagerschäden an Standardmotoren der Siemens AG mit Acoustic Emission auf MEMS-Basis.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Dienel, Dipl.-Ing. Schmidt, Dr. Müller

Voitel, J.: Upgrade und Optimierung von Prozessanlagen in der Lithografie.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Kiehnscherf, Dr. Raaf

Erler, Ch.: Theoretische Untersuchungen zur Kraftwirkung elektrischer Wechselfelder auf polarisierbare Partikel und Nachweis der Kraftwirkung mit dem Rasterkraftmikroskop.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Gastrock

Schneider, L.: Miniaturisiertes zweiachsiges frequenzselektives Schwingungsmesssystem basierend auf MEMS-Resonatoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Billep, Dr. Scheibner

Schulze, A.: Resonatorstrukturen in BDRIE-Technologie zur experimentellen Charakterisierung von Dämpfungseffekten sowie zur Abschätzung der Herstellungskosten.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Forke, Dr. Hiller, Dipl.-Kffr. Schmidt

Seidel, R.: Magnetisch betätigte Mikrospiegel.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Markert

Wittig, A.: Untersuchung aktueller Konzepte zur elektronischen Öldruckregelung an Verbrennungsmotoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Dötzel, T. Ohnesorge

Drouve, P.: Aufbau eines Messplatzes zur Charakterisierung von 2D-Beschleunigungssensoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Dienel

Engelmann, M.: Entwicklung eines digitalen Signalprozessorsystems für die Mikrosystemtechnik.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Kurth

Forke, R.: Entwicklung eines mikromechanischen gekoppelten Schwingungsmesssystems für frequenzselektive Vibrationsmessung.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Scheibner (Siemens)

Hambsch, M.: Entwicklung eines neuen Lösungskonzeptes für ein rotatorisches absolutes Messsystem auf der Grundlage magnetoresistiver Sensorelemente.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dipl.-Ing. Schönitz (Gemac Chemnitz)

Hoppe, M.: Lokale Energiegewinnung für Mikrosysteme.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Billep

Hoyer, K.: Konstruktion, Aufbau und Inbetriebnahme eines Laserbelichters zur Erzeugung von hochauflösenden rauscharmen holografisch-optischen Elementen in Dichromat-Gelatine-Schichten.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Markert, Dr. Dittrich (sax3d.com GmbH Chemnitz)

Klemm, L.: Entwicklung einer optimalen Aufbau- und Verbindungstechnik für elektronisch kalibrierbare Si- Drucksensorelemente.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Billep, Dr. Schroth (Intelligente Sensorsysteme GmbH)

Kluth, M.: Realisierung eines Messplatzes zur Bestimmung des elektrischen Oberflächenpotentials.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Hanf

Otto, M.: Einsatz von Mikrospiegelarrays in einem Hadamard-Transformations-Spektrometer.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Hanf

Richter, G.: Experimentelle Charakterisierung und Vergleich mikromechanischer Beschleunigungssensorarrays.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Dienel

Schmiedl, J.: Abstandsmesssystem mit Mikrospiegel.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Markert

Seifert, M.: Anwendung von Si-Mikrostrukturen zur Kontrolle von Geräten der Oberflächenmesstechnik.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Frühauf, Dipl.-Ing. Krönert

Specht, H.: Vertikal-Ablenksystem für head up Display.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Kurth

Lahner, F.: Konzeption, Entwicklung, Aufbau und Test eines Kommunikationskanals für ein autarkes Mikrosystem.
Diplomarbeit; Betreuer: DI Dienel

Rank, H.: Entwicklung eines Drucksensor-Katheters für klinische Untersuchungen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Billep

Schneider, J.: Entwicklung eines feldtauglichen inertialen Messsystems zur Anwendung in biometrischen Analysen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Billep, DI Seibt (ErgoVita GmbH & Co. KG)

Sodan, L.: Messtechnische Charakterisierung mikromechanischer Schrittschaltwerke.
Diplomarbeit; Betreuer: DI Schröter

Stahl, C.: Kapzitätsberechnung mittels Boundary Element Methoden.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Mehner

Sternberger, A.: Ansteuerung eines durchstimmbaren Infrarot-Filters mit digitalem Signalprozessor.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Kurth

Strobel, J.: Lasernivellier mit 2D-Mikrospiegel.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Markert

Tenholte, D.: Einsatz eines Mikroresonators für ein Reibungsvakuummeter.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Kurth

Ansorge, E.: Untersuchungen zur Ordnungsreduktion magnetischer Systeme für dynamische Berechnungen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. J. Mehner, Dipl.-Ing. F. Bennini

Grebner, J.: Entwicklung einer Software für die Mikrocontrollersteuerung eines frequenzselektiven Vibrationssensorarrays.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Scheibner

Lehmann, U.: Resonante Scanner mit magnetischem Antrieb.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. W. Dötzel, Dr. S. Kurth

Müller, S.: Untersuchungen zur Applikation mikromechanischer 2D-Spiegel-Aktoren für Lasernivellierung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. J. Markert

Weißflog, M.: Aufbau eines Schrittmotorversuchsplatzes.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. R. Kiehnscherf, Dipl.-Ing. Löhr

Wischnewskij, A.: FEM - basierte Entwicklung einphasiger piezoelektrischer Stehwellenmotoren mit zylindrischen Oszillatoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. J. Mehner, Dr. S. Kovalev

Bennis, A.: Entwicklung eines Stresssimulators für synchrone Schaltungen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Billep, Dr. Hollerbeck

Beyer, T.: Konzeptentwicklung und Prototypenherstellung eines mikromechanischen Beschleunigungssensors für Schlechtwegerkennung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. D. Billep, Dipl.-Ing. H. Emmerich

Bronisch, C.: Untersuchungen zum Verhalten mikromechanischer Vakuumsensoren unter Einsatzbedingugen der Halbleiterindustrie.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Dötzel, Dr. Kurth

Dienel, M.: Kombination von Gyroskop- und Beschleunigungssensoren für Objektverfolgung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. D. Billep

Frömel, J.: Entwicklung eines Low Cost Kurs- Lage Referenzsystems.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Billep

Heuschkel, M.: Makromodellierung von MEMS für die Systemsimulation.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. habil. Mehner, Dipl.-Ing. Bennini

Reuter, D.: Flexible Gelenke aus Silizium.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. Frühauf, Dipl.-Ing. Schröter

Schulze, K.: Entwicklung einer "Space Mouse" - Demonstrator für die Anwendung von Inertialsensoren in der Informationstechnik.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Billep

Fischer, D.: Elektronische Schaltung zum Betrieb eines resonanten Vakuumsensors.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kurth

Meckel, J.: Untersuchungen zur Entwicklung eines Transmissionsmeters zur Staubmessung mit Laserlichtwellen und mikromechanischer 2D-Ablenkeinheit.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Markert, DI Melcher (SICK)

Hanf, M.: Entwicklung einer Ansteuerelektronik für einen Laserprojektor.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. S. Kurth

Kautsch, T.: Bestimmung gerätetechnischer Parameter.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. R. Kiehnscherf

Kuhring, M.: Entwicklung einer Ansteuerung für einen Laserprojektor.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. S. Kurth

Michalz, J.: Untersuchungen an einem Piezoaktor mit Übersetzung im KFZ.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. R. Kiehnscherf, Dipl.-Ing. Gräbner (IAV GmbH Chemnitz)

Sharfeddin, I.: Elektromagnetische Wirkprinzipien für Mikroaktuatoren mit translatorischer und rotatorischer Bewegung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. J. Mehner

Bennini, F.: Entwurf eines elektrostatischen Antriebs mit gekrümmten Elektroden für die Bulk- Mikromechanik.
Diplomarbeit; Betreuer: Doz. Dr. J. Frühauf, Dipl.-Ing. D. Billep

Löhr, K.: Kapazitive Detektion der Auslenkung mikromechanischer Aktoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. S. Kurth, Dipl.-Ing. K. Kehr

Ludwig, R.: Positionserfassungseinrichtung für Mikroaktoren auf der Basis von Lichtwellenleitern.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. J. Markert, Dr. Löwe

Ngo, H. D.: Durchflussregelung mit mikromechanischen Komponenten.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. S. Richter

Schäfer, A.: Optische Untersuchungen an (100)-Si-Mikrospiegeln.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Frühauf, Dr. Hannemann

Scheibner, D.: Experimentelle Charakterisierung resonanter Mikrosensoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. J. Wibbeler

Schröter, B.: Theoretische und experimentelle Untersuchungen von elastischen Materialparametern dünner Schichten.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. K. Kehr

Buchmann, M.: Entwicklung und Inbetriebnahme einer Vorrichtung zur Kalibrierung und Endprüfung von Beschleunigungssensoren im Erdfeld - Hochbeschleunigungssensoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. S. Kurth, Dipl.-Ing. M. Fehrenbach (Robert Bosch GmbH)

Hock, A.: Entwurf eines Moduls zur Messung des Erdmagnetfeldes.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. D. Billep, Dipl.-Ing. K.-U. Graupner (ELCoSoft Chemnitz)

Kuhn, M.: Konzipierung und Aufbau eines stationären Demonstrators zur Fadenüberwachung an Textilmaschinen mittels mikromechanischer Schwenkspiegel.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. B. Küttner, Dipl.-Ing. K. Schmidt (CMS Chemnitz)

Leiblich, M.: Modellierung und Simulation des Einflusses prozessbedingter Strukturtoleranzen auf das dynamische Verhalten eines mikromechanischen Drehratesensors.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. D. Billep

Bork, T.: Charakterisierung von Bauelementen der oberflächennnahen Mikromechanik.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. R. Kiehnscherf, Prof. D. van der Weide (University of Delaware)

Bratfisch, T.: Einsatz mikromechanischer Spiegel zur Laserprojektion mit einem Öffnungswinkel von 360 Grad.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. S. Kurth

Diez, W.: Aufbau und Erprobung eines sensorgestützten Prüfplatzes für aerostatische und aeerodynamische Präzisionslager.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Nguyen, Dipl.-Ing. Risse (Fraunhofer Institut Jena)

Frank, T.: Entwurf resonanter Vibrationssensoren auf der Basis der oberflächennahen Si- Bulk- Mikromechanik.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. J. Mehner

Hoffmann, R.: Prüfung des Einflusses von Schwingungen und Stößen auf mikromechanische Scanner bei Betrieb und Transport.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. J. Markert, Dr. M. Rauch (CMS Niederwiesa)

Lange, E.: Toleranzuntersuchungen für mikrosystemtechnische Komponenten der Mikrowellentechnik.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. B. Küttner, Dipl.-Ing. T. Groß (EUROSPACE Flöha)

Liche, S.: Großbilddarstellung von Zeitfunktionen mit mikromechanischem Schwenkspiegel.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. K. Kehr, Dipl.-Ing. Felber (GEMAG Chemnitz)

Merunka, S.: Entwicklung von Synchronisationsalgorithmen für die gekoppelte Simulation heterogener mikromechanischer Systeme.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Billep

Oehmigen, M.: In- situ Deformationsanalyse an gehäusten und ungehäusten Siliziumkomponenten.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. S. Kurth, Dr. A. Schubert (IZM Berlin)

Schulze, G.: Entwurf und Test einer mikrofluidischen Struktur.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. W. Dötzel, Dipl.-Ing. C. Kleinsteuber, Dr. M. Tracey (University of Herfordshire)

Ullrich, A.: Untersuchung des Einflusses der Montagetechnik auf Zuverlässigkeit und Kennlinien von Beschleunigungssensoren in Silizium- Oberflächenmikromechanik.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. J. Mehner, Dr. B. Mayhöfer (Robert Bosch GmbH)

Weidner, J.: Untersuchungen zur Übertragbarkeit von Gestaltungsprinzipien der Feinwerktechnik auf Funktionselemente der Mikromechanik.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. W. Dötzel, Dr. Döler

Bochnia, D.: Simulation der Transportvorgänge in Mikrofluidsystemen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Nguyen

Böhm, Th.: Geregelte Ansteuerung von mikromechanischen Aktoren zur Laserablenkung mit digitalem Signalprozessor.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kurth, Dipl.-Ing. Kehr

Brosche, J.: Entwurf und Realisierung eines integrierten Sensorsystems für einen Montageroboter.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dipl.-Ing. Gebhardt (FhG/IOF Jena)

Förster, J.: Permanentmagnetische Volumina auf Si- Strukturen für magnetisch betätigte Aktoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. W. Dötzel, Dipl.-Ing. Löchel (ISiT Berlin)

Goldschmidt, A.: Ansteuerung mikromechanischer Schwingspiegel.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Markert, Dr. Rauch (CMS Niederwiesa), Dipl.-Ing. Schwitzer (Colour Control, Chemnitz)

Hahn, J.-U.: Untersuchungen zum mechanischen Verhalten von 1D- Torsionsaktoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Kehr

Hartig, C.: Dämpfungsoptimierung einer faseroptischen mikromechanischen Schalteinrichtung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Markert, Dr. Rauch (CMS Niederwiesa)

Haubold, Th.: Entwurf und praktische Realisierung eines Messplatzes zur automatisierten Messung des statischen Temperaturverhaltens mikromechanischer Elemente.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Kehr

Helbig, H.: Auswertung für einen Durchflussmengenaufnehmer.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Nguyen, Dr. Rauch

Höllig, U.: Aufbau einer Messeinrichtung für Drehratesensoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Dittmann, Dipl.-Ing. Wetzel

Kiesow, A.: Zweistellungs- Wegeventil mit großem Hub.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dr. Rauch (CMS Niederwiesa)

Kleinsteuber, C.: Methode zur Bestimmung von 3- dimensionalen Ätzratenverteilungen für das orientierungsabhängige Ätzen von Silizium.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. W. Dötzel, Dr. Frühauf, Dr. Ziehlke (GEMAC Chemnitz)

Kummer, J.: Transiente Analyse des Dämpfungsverhaltens bewegter Platten in Luft mit dem FE- System FLOTRAN.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Mehner

Langguth, L.: Montage von Mikro- und Makrokomponenten.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kurth, Dr. Schubert FhG/IZM

Langheinrich, M.: Lokale Deformationsanalyse an Packagingaufbauten mittels Rasterelektronenmikroskopie.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kurth, Dr. Schubert (FhG/IZM Berlin)

Matusczak, T.: Entwicklung geeigneter Simulationsmodelle mikromechanischer Sensoren für den Komponenten- und Mikrosystementwurf.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Billep, Dipl.-Ing. Seidel

Meier, J.: EMV- gerechte Geräteentwicklung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dr. Schubert (LVQ Chemnitz)

Möbius, Th.: Analytische und numerische Betrachtungen zum Wärmeübergang Silizium- Luft an Mikrostrukturen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Mehner

Papendick, J.: Unterschungen zur mikrotechnischen Herstellung von Elektroden und deren elektrochemischen Eigenschaften durch Generator- Kollektor- Experimente mit fotokatalysiertem H2O2.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. C. Steiniger, Prof. W. Dözel, Dr. J. Cooper (University of Glasgow)

Richter, St.: Gerät und Demonstrator für magnetisch betätigte Aktoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. W. Dötzel, Dr. Küttner

Schmidt, K.: Optimierung des elektrischen und mechanischen Aufbaus einer mikromechanischen faseroptischen Schalteinrichtung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Markert, Dr. Rauch (CMS Niederwiesa)

Schönfelder, S.: Aufbau eines FIA- Systems für die Bestimmung stickstoffhaltiger Ionen unter Verwendung eines LIGA- Mikrospektrometers.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dr. Wulf (Perkin-Elmer), Dr. Müller (IMT Karlsruhe)

Straka,Y.: Untersuchungen der Eigenschaften eines Mikrofluidsystems am Beispiel eines Durchflussmengensensors.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Nguyen

Wagner, U.: Kombinierte Eichgitter- Druckammer- Messtechnik zur Qualitätssicherung von Kondensatormessmikrofonen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kurth, Dipl.-Ing. Richter (TU Dresden)

Zwingenberger, G.: Automatische Befüllanlage für Hochdruckgasthermometer.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Küttner, Dipl.-Ing. Richter (R&R Automatisierungstechnik GmbH, Beierfeld)

Enge, R.: Untersuchungen zum Einsatz von Mikrospiegeln zur Hochauflösung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Markert, Dipl.-Ing. Neubert

Gräbner, C.: Entwicklung und Erprobung eines variablen Einspritzventiles.
Diplomarbeit; Betreuer: Prof. W. Dötzel, Dipl.-Ing. Junghans (IVA motor, Chemnitz)

Hähnel, M.: Schnittstellenmodul zur Kopplung des Messdatenerfassungssystems "Lab Windows / CVI" mit dem grafischen Informationssystem "TRiAS".
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Döhler, Dr. Neubert (AMC)

Harnisch, J.: Untersuchungen zur Reproduzierbarkeit des Bewegungsverhaltens mikromechanischer 1D- Aktoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Markert, Dr. Löwe (CMS Niederw.)

Heidinger, Th.: Untersuchung zur Eignung von CAD- Systemen zur Geometriemodellierung für FEM- Berechnungen an mikromechanischen Strukturen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Döhler

Hempel, M.: Implementierung eines Messverfahrens zur Bestimmung wesentlicher Technologieparameter von dielektischen Membranen aus deren Eigenfreguenz.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth, Dr. Lock (Bosch, Reutlingen)

Herburg, H.: Realisierung eines Systems für die grafische Aufmaßberechnung mit Schnittstelle zur Auftragsbearbeitung im Dachdeckerhandwerk.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Görlitz, Dipl.-Ing. Seidel (MCDS, Karlsbad)

Herziger, K.: Konzipierung und Aufbau von Gehäusevarianten für mikromechanische Druckmesszellen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Küttner

Hesselbart, R.: Durchkontaktierung von Glaselementen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Schönherr, Dipl.-Ing. Kurth

Hofmann, M.: Digitale on-line- Filterung von Messsignalen an hochdynamischen Schwingungsmesssystemen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth

Kaden, I.: Miniaturisiertes Ventil für Durchflusssteuerungen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kienscherf, Dr. Rauch (CMS Niederw.)

Karsch, K.: Erzeugung von Ansteuerspannungen für Mikro- Aktoren auf der Basis integrationsfähiger Elektronikstrukturen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Markert, Dipl.-Ing. Felber (GEMAC Chemnitz)

Kleiber, T.: Fertigungslinie für Leiterplatten.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dipl.-Ing. Fischer (ELCoSoft Chemnitz)

Krebs, R.: Praktikumsversuch: Gerätetechnische Funktionsgruppen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kiehnscherf

Kusche, T.: Prozessarchivierung und Archivnutzung in der Prozessleittechnik.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Döhler, Dipl.-Ing. Lehngut (ICA Chtz)

Lüdicke, M.: Einsatz kapazitiver, freguenzselektiver Beschleunigungssensoren als Grenzbebeschleunigungssensoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth

Ludwig, A.: Elektostatische Erregung mikromechanischer Schwinger auf ihrer Resonanzfreguenz.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth

Martin, St.: Untersuchungen zur messtechnischen Bestimmung der Abweichung zwischen dem optischen und mechanischen Tool- Center- Point bei der 3D- Laserbearbeitung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Küttner, Dr. Schwabe (Ing.-Büro, Chemnitz)

Modelmog, U.: Automatische optische Inspektion für Dickschichtschaltungen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Küttner, Dr. Löwe (Siemens AG, München)

Neuhaus, K.: Untersuchung des Restgaseinschlusses in Mikrokavernen von Siliziumdrucksensoren.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth, Dr. Baumann (Bosch, Reutlingen)

Otto, J.: Untersuchungen zur Kraftberechnung von Magnetfeldern mit FEM.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Mehner

Paul, H.: Aufbau einer Steuerung und eines HF- Synthesizers für Kernspintomografieanlagen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth, Dipl.-Ing. Proksa (Philips, Hamburg)

Pohl, F.: 1D-Schwingspiegel mit kombinierter optischer Positionserfassung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Markert, Dr. Rauch (CMS Chemnitz)

Prager, A.: Kopplung eines Diagnosegerätes mit dem Kommunikationssystem einer Druckmaschine.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Döhler, Dr. Diescher (MAN Plamag Plauen)

Räder, H.: KOSMOS - ein Kommunikationsmanager zur Unterstützung logistischer Prozesse wie Qualitäts-, Montage- und Materialflusssteuerung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Görlitz, Mercedes- Benz AG (Untertürkheim)

Rode, D.: Erweiterung eines Messwerterfassungssytems mit Kommunikationstechnik.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Döhler, Dr.Uhlig (ICA Chemnitz)

Rothe, W.: Verarbeitung und Auswertung von Sensorsignalen eines integrieten Lagegebers für eine Schrittfehlererkennung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dr. Wendorff (PASIM Suhl)

Scharf, S.: Implementierung von Signalverarbeitungsalgorithnen zur Qualitätssicherung bei Montagevorgängen.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth, Dr. Müller (fm automation, Plauen)

Schön, Ch.: Verbesserung mikromechanischer Strukturen zum Einsatz in Blutanalysegeräten.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Kiehnscherf, Dr. M. Tracey (Universität of Hertfordshire)

Schuffenhauer, A.: Experimentelle und numerische Untersuchungen zum dynamischen Verhalten mikromechanischer Komponenten.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth

Tannhäuser, F.: Projekt einer Schaltausrüstung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Görlitz, Dr. Haufer (Siemens Chemnitz)

Thiele, I.: Erweiterung der Teilwissensbasis für die handhabungs-, montage- und instandhaltungsgerechte Konstruktion um eine Diagnosekomponente.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Görlitz

Thoß, F.: Belichtungseinrichtung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Markert, Dr. Löwe (CMS Niederw.)

Trampel, S.: Angebotszeichnungen für Kunden der Werkzeugmaschinenfabrik VOGTLAND GmbH in 3D- Darstellung.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Görlitz

Wagner, T.: Implementierung von Wissen für die handhabungs-, montage- und instandhaltungsgerechte Konstruktion um eine Diagnosekomponente.
Diplomarbeit; Betreuer: Dr. Görlitz

Wibbeler, J.: Untersuchungen zum dynamischen Verhalten mikromechanischer Drehspiegel.
Diplomarbeit; Betreuer: Dipl.-Ing. Kurth, Dr. Rauch (CMS Niederw.)