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Professur Mikrosysteme und Medizintechnik
Forschung

Forschungsschwerpunkte der Professur

An der Professur Mikrosysteme und Medizintechnik wird schwerpunktmäßig zu folgenden Themen geforscht:

  • Entwurf von Mikrosystemen und deren Applikation in eine Geräteumgebung
  • Modellierung, Simulation und experimentelle Validierung des Verhaltens mikromechanischer Sensoren und Aktoren
  • Mess- und Prüftechnik für Mikrosysteme
  • Entwicklung von Entwurfswerkzeugen und -methoden
  • mechanische Beanspruchung, Lebensdauer, Zuverlässigkeit
  • Charakterisierung von MEMS und feinwerktechnischen Strukturen

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