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Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik

Publikationen der Professur - 1996


Veröffentlichungen / Vorträge

  • Beyer, A.; Ebest, G.; Reich, R.: MIS solar cells with silicon oxynitride tunnel insulator by using rapid thermal processing, Applied Physics Letters 68 (4) 1996 , p.508
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Ebest, G.; Rößler, F.: Sensor- und Schaltungsentwicklung für den Hochtemperaturbereich, Schlußbericht des BMBF-Verbundprojektes HITEMP, April 1996
  • Symanzik, H.-G.; Schlegel, C.: Mikroelektronikentwurf für elektrostatische Arrays, Vortrag zum Kolloquium des SFB 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays", 4.-5. November 1996, Chemnitz
  • Heinz, S.; Erler, K.; Günther, T.; Melzer, F.; Ebest, G.: Displaysysteme zur Erzeugung stereoskopischer Darstellungen, Abschlußbericht zum SMWK-Verbundprojekt, Dezember 1996
  • Reiz, S.; Recke, C.; Mück, C.; Röder, S. et.al.: Modellierung von Mikrosystemen und ihrer Komponenten, Tagungsband zum 4. Statusseminar zum BMBF-Verbundprojekt METEOR, Karlsruhe, November 1996
  • Ebest, G.; Hiller, W.; Knorr, U.: A new method and system for the simulation of modular inverters in solar facades, 25th Photovoltaic Specialist Conference, Washington May 1996, pp.1449-1452

Patente

  • Erler, K.; Schlegel, C.; Hahn, R.; Ebest, G.; C. Kaufmann, Geßner, T.: Mikromechanische Bauelemente und Strukturen und Verfahren zu deren Herstellung, P 196 43 318, Herstellung 10/96

Poster

  • Schlegel, C.: Mikromechanischer kapazitiver Drucksensor für hohe Temperaturen, Begleitender Workshop zum 2. Chemnitzer Technologieforum, 19. November 1996, IHK Chemnitz
  • Reiz, S.; Ebest, G.; Rößler, F.: Modellentwicklung und Vergleich verschiedener Simulationswerkzeuge und Beschreibungssprachen am Beispiel kapazitiver Drucksensoren, 4. Statusseminar METEOR, 18./19. November 1996, FZ Karlsruhe

Forschungsberichte

  • Ebest, G.; Beyer, A.: Neue Verfahren zur Erhöhung der Leerlaufspannung an MIS-Inversionsschicht-Solarzellen, Statusreport 1996 (Photovoltaik), Beitrag Nr.12
  • Heinz, S.; Melzer, F.; Günther, T.; Erler, K.: Displaysysteme zur Erzeugung stereoskopischer Darstellungen, Zwischenbericht zum Verbundprojekt, Juli 1996
  • Reitz, S.; Ebest, G.: Beschreibung und Modellierung physikalischer Systeme, Jahresbericht zum BMBF-Verbundprojekt METEOR, Februar 1996

Presseartikel