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Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik 

Course Micro and Nano Devices



The enrollment will be effected on the OPAL platform, where you'll find further informations about the course.

Course Content

Lecture Complexes
  • Semicondcuctor basics
  • pn-junction / diode
  • MOS-Transistor basics
  • MOS transistors with sizes in the sub-100nm range
  • New MOS transistor concepts (Multi-gate transistors, FinFETs, etc.)
  • Single-electron transistors
  • Quantum devices (Resonant tunnel diodes - RTDs, etc.)
  • Bipolar transistors with sizes in the sub-1µm range
  • Carbon nano-tubes
Exercise Complexes
  • Wave, Particle and Carriers in the Semiconductor
  • pn Junction and Diode (generation and recombination effects, currents in diodes)
  • MOS Transistor (calculation of important parameters, short and long channel effects, breakdown mechanism)
Practical Training
  1. The MOS field effect transistor (Measuring)
  2. Simulation of a MOSFET using Eldo / PSpice

Degree Programs

  • Compulsory Subject in the 1st Semester of the Master Course Micro and Nano Systems (M_MN__1)

  • Compulsory Elective Subject in the 1st Semester of the Master Course Design and Test for Integrated Circuits (M_DT__1)

Timetable for the current Semester

TypeWeekdayGroupsTimeRoomStart
Lon MondaysM_MN1_1, M_MN2_1, M_DT__1, M_DT__215.30-17.00C25.0122025-10-13
Eon Fridays, 1st weekM_MN1_1, M_MN2_1, M_DT__1, M_DT__207.30-09.00C22.1012025-10-24
Pon WednesdaysM_MN1_1, M_MN2_1, M_DT__1, M_DT__215.30-18.45C25.3682025-10-29
The practical training will start with the first experiment (registration via OPAL)!

Teaching Materials

Examination current Semester (catch up and repeat)

Date / Time:Tuesday, 2026-08-04, 8 - 11 AM
Room:C10.112 (old: 2/N112)
Type:Written examination
Permitted:Pocket calculator (w/o Bluetooth / Wifi), empty sheets of gridded or white paper, formula sheet will be provided
Examiner:Prof. Horstmann, M.Sc. Zhang
Surveillance:DI Loebel
  • Zwei Fauen machen in einem Sportraum Gymnastik.

    TUC_FemAktiv geht in die zweite Runde

    Deutschlandweit einzigartiges Gesundheitsprogramms für Mitarbeiterinnen der TU Chemnitz ist erfolgreich gestartet – Teilnehmerinnen berichten von Verbesserungen in Fitness, Beweglichkeit, Kraft und Wohlbefinden – Anmeldung für den zweiten Kursblock ist geöffnet …

  • Mehrere Persomem sitzen nebeneinander an einem Tisch und essen gemeinsam.

    „Zimmer sucht Student:in“

    Studentenwerk Chemnitz-Zwickau lädt am 8. August 2026 alle Studieninteressierten der TU Chemnitz, die eine Unterkunft suchen, zu einem ganz besonderen Wohnheim-Event ein …

  • Vier Flyer zu Studiengängen liegen nebeneinander.

    Auf Los geht´s los

    TU Chemnitz vergibt noch freie Plätze für zulassungsbeschränkte Studiengänge im lokalen Losverfahren – Bewerbungen sind vom 10. bis 31. August 2026 möglich …

  • Eine Person in REinraum-Kleidung steht an einer Anlage in einem gelb beleuchteten Raum.

    Neuer Masterstudiengang „Technologie und Management in der Halbleiterfertigung“ startet im Wintersemester 2026/2027

    Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik konzipierte gemeinsam mit der Fakultät für Wirtschaftswissenschaften neue und praxisnahe Qualifizierungsmöglichkeiten maßgeschneidert für die Anforderungen der Halbleiterindustrie …