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Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik 

Lehrveranstaltung Lithografie für Nanosysteme



Die Einschreibung erfolgt über die OPAL-Plattform, auf der Sie auch weitere Informationen zum Kurs finden.

Studieninhalte

Vorlesungskomplexe
  • Optische Lithografieverfahren
  • Tricks zur Erhöhung der Auflösung optischer Lithografieverfahren
  • Elektronenstrahl- und Ionenstrahllithografie
  • Röntgenstrahllithografie
  • Nano-Imprint-Techniken
  • AFM-Lithografie
  • Maskenlose Verfahren zur Strukturerzeugung
Übungskomplexe
  • Optische Lithografie
  • Elektronenstrahllithografie
  • Röntgenlithografie
  • Ionenstrahllithografie
  • Auflösungserhöhende Verfahren (RET)
Praktikum
  • Lithografiesimulation im Subwellenlängenbereich
  • Auflösungserhöhende Technologien (OPC, SB)

Studiengänge / -gruppen

  • Wahlpflichtfach im 2. Semester des Master-Studiengangs Mikrosysteme und Mikroelektronik - Berufsfeld / Vertiefungsrichtung Mikro- und Nanoelektronik (M_MSMN2)

Zeitplan aktuelles Semester

LVWochentagSeminargruppenZeitOrtBeginn
VmontagsM_MSMN213:45-15:15 UhrC25.36607.04.2025
Üfreitags, 2. WoM_MSMN209:15-10:45 UhrC25.03702.05.2025
Pfreitags, 1. WoM_MSMN209:15-13:00 UhrC25.368 
Das Praktikum findet voraussichtlich am Semesterende nach individueller Terminvereinbarung statt.

Prüfung aktuelles Semester

Termin:individuell
Raum:C25.319 (alt: 2/W319)
Typ:mündliche Prüfung, jeweils 30 min
Prüfer:Prof. Horstmann
Beisitzer:M.Eng. Hafez