Meßprinzip Strukturuntersuchungen

Das Prinzip der Strukturuntersuchung mittels Transmissionselektronenbeugung ist im Bild skizziert. Der mittels einer Hochspannung von 68000V erzeugte Elektronenstrahl wird durch eine Anode (50µm Blende) fokusiert. Dieser Primärstrahl trifft nach ca. 25cm auf eine weitere Blende (20µm), auf der sich die Probe in Form einer dünnen Schicht befindet. Durch die Verteilung der Atome in der Probe werden die Elektronen aus ihrer bisherigen Richtung k₀ weggebeugt. Die gestreuten Elektronen k werden mit einem Detektor in Abhängigkeit von ihrer räumlichen Position s gezählt.
Man erhält eine Intensitätsverteilung I in Abhängigkeit vom Streuwinkel. Über die nebenstehende Formel kann der Streuvektor K aus dem Streuwinkel und der Wellenlänge der Elektronen berechnet werden. Nach einem Auswerteverfahren kann dann die Interferenzfunktion I(K) und die daraus folgenden Größen (Atomverteilung, Abstand nächster Nachbarn, ...) berechnet werden.
Die Messungen erfolgen in einer UHV-Beugungs-Anlage nach diesem Prinzip.