Dienstleistungen
Verbundwerkstoffe
Targetherstellung
Herstellung von Sputter-Targets für die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
Materialien:
- Reinmetalle und Keramik
- Eisen- und Nichteisenmetalllegierungen
- Edelmetalllegierungen
- Sonderlegierungen
- mechanisch legierte Metallpulver
Herstellungsverfahren:
- Feldunterstütztes Sintern (FAST/SPS)
- Temperatur max. 2200 °C
- Kraft max. 250 kN
- Durchmesser: max. 80 mm
- Atmosphäre: Vakuum oder Schutzgas
Sonderleistungen:
- Herstellung von Mosaiktargets
- Werkstoffentwicklungen für Sondertargets
- verschiedene Geometrien möglich
Anwendung:
Sputter-Targets werden als Ausgangsmaterial für die unterschiedlichsten Beschichtungs-verfahren, wie z. B. PVD-, Laser- oder Ionenstrahltechnik verwendet.
Ansprechpartner
Dr.-Ing. Maik Trautmann
- Telefon:+49 371 531-38846
- Fax:+49 371 531-838846
- Raum:3, 3/A104
- E-Mail:
