Motivation und Zielstellung

Ziel des FuE-Projekts ist zunächst die Auslegung und Realisierung eines Multi-Spulensystems mit neuartigem segmentiertem Aufbau, eingebettet in keramische Substrate mit beidseitiger Strukturierung und Durchkontaktierung. Hierbei soll zudem ein neuartiges Generatorsystems entwickelt werden. Dieses soll eine separate und gesteuerte Erwärmung jedes Spulenclusters ermöglichen. Weiterhin sollen Module für Erwärmungs- und Fügeexperimente realisiert werden. Das Bondmodul und das Generatorsystem sollen in einer nachgelagerten Projektphase für die Entwicklung und Erprobung eines induktiven Waferbondprozesses Anwendung finden. Am Projekt beteiligt sind neben der Professur Umformtechnik der TU Chemnitz die LCP Laser-Cut-Processing GmbH und die COBES GmbH sowie das Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz.)

Projektpartner

Kontakt

Fördermittelgeber

Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWE) | Zentrale Innovationsprogramm Mittelstand (ZIM)