Motivation und Zielstellung
Die Verkürzung der Prozesszeiten und der thermischen Last der Geräte ermöglicht neue Wafer-Stack-Konzepte, höhere Integrationsdichten und erhebliche Energieeinsparungen. InduAlloy wird deutschen KMU über alle Stufen der Wertschöpfungskette hinweg – von Vorläufermaterialien und Sputtern bis hin zu Strukturierung, Komponenten, Ausrüstung und Anwendungen – Zugang zu Forschungsmöglichkeiten wie Legierungsentwicklung, Versuchsaufbauten, Hochfrequenztechnik und Simulation bieten, um die interdisziplinären Herausforderungen der Werkstofftechnik, Elektroprozesstechnik und Mikrotechnologie zu bewältigen. Typischerweise sind diese Fähigkeiten nicht intern vorhanden.
Forschungspartner
Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien der TU Chemnitz
Leibniz Institute für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden
Kontakt
M. Sc. Dipl.-Wi.-Ing. Martin Kroll
Abteilungsleiter Thermische Füge- und Prozesstechnologie
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Telefon:+49 371 531-36239
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E-Mail:
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Adresse:Reichenhainer Straße 70, 09126 Chemnitz
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Raum:
Jonas Gruner M. Sc. SFI/IWE
Wissenschaftlicher Mitarbeiter
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Telefon:+49 371 531-31270
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E-Mail:
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Adresse:Reichenhainer Straße 70, 09126 Chemnitz
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Raum:
Fördermittelgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWE) | Industrielle Gemeinschaftsforschung (IGF)
