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Professur Mikrofertigungstechnik
Ausstattung

Ausstattung der Professur Mikrofertigungstechnik

Maschinen und Anlagen

KERN Pyramid Nano

 

 
Hochpräzisionsbearbeitungszentrum
  Technische Angaben:
  • hydrostatische Antriebe und Führungen
  • 5-Achs-Simultanbearbeitung mittels Teilapparat
  • Positionsunsicherheit: ±0,5 µm
  • Zusatzspindel zur Schleif- und Mikrobearbeitung bis 160.000 min-1
  • Messsysteme für Werkzeug und Werkstück
  • Kühlschmierung mit Emulsion oder Minimalmengenschmierung
  • Graphitabsaugung
Anwendung:
  • Hochpräzisions- und Mikrobearbeitung metallischer sowie nichtmetallischer Werkstoffe
  • Erzeugung funktionaler Oberflächen
  • Koordinatenschleifen
 
SPINNER PD 32

 

 
Präzisionsdrehmaschine
  Technische Angaben:
  • Haupt- und Gegenspindel
  • Revolver mit angetriebenen Werkzeugen
  • Systeme zur prozessintegrierten Zerspankraft- und Leistungserfassung
  • Kühlschmierung mit Emulsion
Anwendung:
  • Präzisionsbearbeitung von Sonderwerkstoffen und gehärteten Stählen
  • Herstellung von Nebenformelementen (z. B. Bohrungen, Gewinde, Schlüsselflächen, ...)
 
GDW TDF 26

 

 
Tangentialdrehfräsmaschine
  Technische Angaben:
  • Orthogonal- und Tangentialdrehfräsen
  • Hochfrequenzspindel mit max. 50.000 min-1
  • Reitstock
  • Trockenbearbeitung oder Minimalmengenschmierung
Anwendung:
  • Präzisionsbearbeitung rotationssymmetrischer Werkstücke mit Schlüsselflächen, Nuten und Einstichen
 
Kugler Microgantry® GU

 

 
Mikrobearbeitungsmaschine
  Technische Angaben:
  • 4 CNC-Achsen
  • Hochfrequenzspindel mit max. 200.000 min-1
  • Positioniergenauigkeit: ±0,3 µm
  • Minimalmengenschmiersystem
  • integrierter Nd:YVO4-Laser (Wellenlänge 532 nm durch Frequenzverdopplung)
Anwendung:
  • Mikrobearbeitung (Bohren, Fräsen, Sägen) und Mikrostrukturierung (Laserstrahlabtragen)
  • Glanzbearbeitung von NE-Metallen
 
Sarix SX-100
 
 
Präzisionsmikrofunkenerosionsmaschine Sarix SX-100
  Technische Angaben:
  • Arbeitsfläche: 510mm x 270 mm
  • Verfahrweg X-, Y-, Z-Richtung: 250 mm, 150 mm, 150 mm
  • Verfahrpräzision: ±2 µm bei 50 mm Verfahrweg
Anwendung:
  • Mikrobearbeitung (Erodieren) von Metall
  • Mikrobearbeitung (Erodieren) von Keramik
  • Erzeugen von Mikrobohrungen ab 50 µm Durchmesser
 
Prototyp ECM-Anlage

 

 
Modularer Eigenbau für Jet-ECM und PECM
  Technische Angaben:
  • 3-Achs-System in Portalbauweise
  • maximale Spannung: 56 V
  • maximaler Strom: 10 A
  • Gleichstrom und gepulster Gleichstrom
  • maximaler Elektrolytdruck: 525 bar
  • Elektrolyte: Natriumchlorid und Natriumnitrat
Anwendung:
  • Anlage zur elektrochemischen Mikrobearbeitung

Der Prototyp wird in Kooperation mit dem Fraunhofer-Institut für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik betrieben.

 

P.FÜ.MA 200kN

 

   
Präzisionsfügemaschine P.FÜ.MA
  Technische Angaben:
  • Arbeitsraum: 500 x 500 mm2
  • Pressenhub: 400 mm
  • Presskraft: Fmax = 200 kN
  • Verfahrgeschwindigkeit: vmax = 3000 mm/min
  • AC-Servomotor
Anwendung:
  • Entwicklung von Verfahren und Werkzeugsystemen zur flächigen Mikrostrukturierung
 
Branson Ultraweld L20

 

   
Ultraschallfügeanlage Branson Ultraweld L20
  Technische Angaben:
  • Arbeitsfrequenz: 20 kHz
  • Leistungsabgabe: Pmax = 4 kW
  • maximale Fügefläche: Amax = 100 mm2
  • modulares Werkzeugsystem
  • automatische Frequenzregelung
  • Amplitudenkonstanthaltung und Lastkompensation 
Anwendung:
  • Entwicklung von Verfahren zum Fügen von Mischverbindungen (z. B. CFK-Al)
  • Entwicklung von modularen sowie mikrostrukturierten Ultraschallfügewerkzeugen und Fügeflächen
 
 

Messtechnik

Arbeitsplatz zur Messung von Rauheit, Kontur, Form- und Lageabweichungen

 

 
Rauheits- und Konturmessgerät LD 120
  Technische Angaben:
  • Taststreckenlänge: 0,1 mm bis 120 mm
  • Tastermessbereich: 10 mm
  • Auflösung in Z-Richtung: 2 nm
  • Messpunktabstand in X-Richtung: 0,05 µm bis 1 µm
  • Restwert Rz0: 35 nm
  • CNC-gesteuerter Y-Tisch (kleinstes Verfahrinkrement: 0,5 µm)
Anwendung:
  • Rauheits- und Konturmessungen an Mikro- und Präzisionsbauteilen
  • Topographiemessungen an Oberflächen zur Bewertung des Funktionsverhaltens
  • Erfassung von Schneidengeometrien an Zerspanungswerkzeugen
  • Bestimmung von Drallkenngrößen
 
Form- und Lagemesssystem MMQ 200
  Technische Angaben:
  • hochgenaue Rundheitsmessachse (C), motorische Messachse vertikal (Z) und motorischer Messtaster T7W
  • für Werkstücke bis 20 kg
  • max. Prüfdurchmesser: 230 mm, max. Prüfhöhe: 250 mm
Anwendung:       
  • Bestimmung von Form- und Lageabweichungen nach DIN EN ISO 1101, z. B.:
    • Rundheit
    • Geradheit
    • Rundlauf
    • Planlauf
    • Zylinderform
    • Parallelität
  • Rauheitsmessung axial und in Umlaufrichtung (an rotationssymmetrischen Bauteilen)
DMG Microset VIO 20/50 linear

 

 
Werkzeugvoreinstellgerät
  Technische Angaben:
  • Präzisionsspindel
  • translatorische Achsen mit Linearantrieben und Glasmaßstäben
  • Auf- und Durchlicht
  • 2. Kamera zur Vermessung der Spitzenhöhe (mit Auflicht)
  • max. Werkzeugdurchmesser: 420 mm, max. Länge: 500 mm
  • umfangreiche Messsoftware
Anwendung:
  • Vermessung von Werkzeugen für Dreh- und Fräsmaschinen
  • Bewertung des Werkzeugverschleißes

 

Keyence VK-9700

 

 
3D-Laserscanning-Mikroskop
  Technische Angaben:
  • Violetter Halbleiter-Laser und Halogenleuchte
  • Minimale Auflösung des Höhenmesssystems: 1 nm
  • Objektive mit Vergrößerung: 10x, 20x, 50x, 100x, 150x
  • automatische Messung durch motorbetriebenen Objekttisch

Anwendung:

  • optische Oberflächenerfassung
  • Vermessung von Mikrostrukturen
  • Vermessung von Werkzeugen für Dreh- und Fräsmaschinen
  • Bewertung des Werkzeugverschleißes
Keyence VHX-100

 

 
3D-Mikroskop
 

Technische Angaben:

  • 18 Millionen Pixel Auflösung
  • 3-dimensionale Anzeigefunktion

Anwendung:

  • Bewertung von Werkzeugverschleiß
  • Beurteilung von Oberflächenmerkmalen
Nikon MM-400

 

 
Messmikroskop
 

Technische Angaben:

  • Auflicht / Durchlicht
  • Polarisator für Interferenzkontrast-Betrachtungen
  • Objektive mit Vergrößerungen 2,5x, 10x, 20x, 50x, 100x
  • Mikrometer-Positioniertisch (150 mm x 100 mm)

Anwendung:

  • Vermessung von Mikrostrukturen
  • Bewertung von Werkzeugverschleiß
  • Vermessung von Mikroumformwerkzeugen
  • Vermessung von Werkzeugen für Dreh- und Fräsmaschinen
  • Beurteilung von Oberflächenmerkmalen

 

Polytec Modulares Laser-Vibrometersystem

 

 
OFV-5000 Controller
  Technische Angaben:
  • Digitaler Breitband-Geschwindigkeitsdecoder VD-09:
    • Bandbreite: 0 - 2,5 MHz
    • maximale Geschwindigekit: 10 m/s
    • Auflösung: 0,02 µm/s
  • Digitaler Breitband-Wegdecoder DD900:
    • Wegauflösung: 15 pm
    • Frequenzbereich: 0 - 2,5 MHz
Anwendung:
  • berührungslose Schwingungsmessung
  • Messung kleinster Längenänderungen
 
OFV-505 Vibrometer-Einpunkt-Messkopf
  Technische Angaben:
  • He-Ne Laser mit einer Wellenlänge von 633 nm
  • Arbeitsabstand größer 250 mm bis ca. 5 m

 

Sartorius ME36S

 

 
Präzisionsmikrowaage
  Technische Angaben:
  • Wägebereich: bis 31 g
  • Ablesbarkeit: 0,001 mg
  • Reproduzierbarkeit: ≤ 2 µg
  • vollautomatische Kalibrier- und Justierfunktion
Anwendung:
  • Bestimmung der abgetragenen Masse bei der ECM-Bearbeitung durch Differenzwägung

 

Sartorius ME614S-0CE

 

 
Analysenwaage
  Technische Angaben:
  • Wägebereich: 10 mg - 610 g
  • Ablesbarkeit: 0,1 mg
  • vollautomatische Kalibrier- und Justierfunktion
Anwendung:
  • Bestimmung der abgetragenen Masse bei der ECM-Bearbeitung durch Differenzwägung
  • Ermittlung der durch Verschleiß abgetragenen Massen für tribologische Untersuchungen

Software

COMSOL Multiphysics™
 
FEM Simulationssoftware
 
  • 2D- und 3D-Umgebung
  • CAD-Import
  • Material Library
  • AC/DC Modul
  • Acoustics Modul
  • Chemical Engineering Modul
  • Earth Science Modul
  • Heat Transfer Modul
  • MEMS Modul
  • RF Modul
  • Structural Mechanics Modul
  • Plasma Modul

 

Serverinfrastruktur mit 512 GB RAM und 32 CPU Kernen, Informationen zum Serverbetrieb via Intranet

 

MountainsMap7.3®
 
Oberflächendarstellungs- und -analyse-Software
 
  • Messdatenanalyse sämtlicher Dateiformate (konfokale Mikroskope, Weißlichtinterferometer, Rastersondenmikroskope, berührend und berührungslos messende Profilometer)
  • universeller Daten-Export
  • Bestimmung flächenhafter Oberflächenkennwerte

Sonstige Ausstattung

  • CO2-Schneestrahlreinigungsgerät

  • Mikroskope

  • Pyrometer Infratherm IP 140

  • Digitales Höhenmessgerät Mahr 817 CLM-2D

Kontakt

Für Anfragen oder weitere Details wenden Sie sich bitte an:

Dipl.-Ing. (FH) Stefan Kuhn
Reichenhainer Str. 70 Zimmer: A104
Telefon: +49 371 531-30007
E-Mail: stefan.kuhn@...

 

Presseartikel

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