Aktuelle Projekte
Siehe auch Abgeschlossene Projekte
DFG: SELETCH - Rationales Design der selektiven thermischen Atomlagenaetzprozesse durch Computerchemie
| Project Leader: | Dr. Xiao Hu |
| Duration: | 01.10.2019 bis 30.09.2022 |
SAB: ALMET - Anlagen und Prozesse fuer die Atomlagenabscheidung metallischer Duennschichten
| Project Leader: | Dr. Andreas Zienert |
| Partners: | Fraunhofer ENAS, Scia Systems GmbH, FAP GmbH |
| Duration: | 01.02.2017 bis 31.12.2021 |
| Aims of the Project: | Teilprojekt des ZFM: Simulation der Chemie von Cobalt- und Kupfer-Precursoren fuer die ALD |
| Project Homepage: | https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/almet.php |
SAB: Momentum - Entwicklung eines neuen 22 FDX Technologie-Knotens zum Industrie-Benchmark fuer den Kennwert PPA
| Project Leader: | Dr. Andreas Zienert |
| Partners: | GLOBALFOUNDRIES, Fraunhofer ENAS, u.a. |
| Duration: | 01.11.2018 bis 31.10.2021 |
| Project Homepage: | https://www.zfm.tu-chemnitz.de/project/momentum.php |
BMBF: smartStar - Entwicklung, Integration und Charakterisierung von miniaturisierten CNT-Sensoren fuer selbsttestende Elektroniksysteme
| Project Leader: | Dr. Sascha Hermann |
| Partners: | Bosch, Fraunhofer ENAS, u.a. |
| Duration: | 01.09.2018 bis 31.08.2021 |
