Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik

Publikationen der Professur - 1995


Publikationen

  • Beyer, A.; Reich, R.; Rennau, M.; Ebest, G.: Corona charging of insulated surface and application in the photovoltaic, Proc. of the 13th European Photovoltaic Solar Energy Conference 1995, Nizza
  • Beyer, A.; Ebest, G.; Reich, R.: Metal Insulator Semiconductor inversion layer solar cell by Rapid Thermal Processing, Appl. Phys. Letters 67 (1995), 697
  • Erler, K.; Schlegel, C.; Ebest, G.; Kretschmar, H.; Schubert, S.: Mikromechanische Drucksensoren bis 200°C, Design&Elektronik, Sonderheft Sensortechnik, Mai 1995, 49
  • Reitz, S.; Ebest, G.; Melzer, F.; Rößler, F.; Strobel, B.: Untersuchungen zur Modellierung kapazitiver Drucksensoren und zur Einbindung in Schaltungssimulatoren wie PSPICE und ELDO, Tagungsband des 2. Workshop Methoden- und Werkzeugentwicklung für den Mikrosystementwurf, Karlsruhe 1995
  • Symanzik, H.-G.; Rößler, F.; Ebest, G.: Elektrisches Übersprechen in mikromechanischen Arrays, mikroelektronik+mikrosystemtechnik, 5/1995
  • Symanzik, H.-G.; Melzer, F.; Ebest, G.: Ansteuerung eines Spiegel-Aktorarrays, Tagungsband der 2. Tagung Mikrosystemtechnik-Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz, 16.-17.10. 1995
  • Schlegel, C.; Ebest, G.; Erler, K.: Statusbericht zum Projekt "Mikrosystembausteine für Hochtemperaturanwendungen", Vortrag zum Statusseminar, Ulm, Mai 1995
  • Zielke, D.; Frühauf, J.; Engelbrecht, T.; Rößler, F.: Simulation des orientierungsabhängigen Ätzens von Silizium, Vortrag zur 2. Tagung Mikrosystemtechnik-Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz, 16.-17.10.1995
  • Schlegel, C.; Ebest, G.; Erler, K.; Rößler, F.: Komponenten eines Si-Mikrosystems zur Druckmessung für den Einsatz bis 200°C, Abschlußseminar und Präsentation zum Verbundprojekt "Mikrosystembausteine für Hochtemperaturanwendungen", Duisburg, 23.-24.11. 1995
  • Beyer, A.; Ebest, G.: Neue Verfahrensschritte zur Wirkungsgradverbesserung von MIS-Solarzellen und Übertragung auf zukünftige Si-Substrate, Zwischenbericht zum BMBF-Verbundprojekt "Neue Verfahren zur Erhöhung der Leerlaufspannung von MIS-Inversionsschicht-Solarzellen", April 1995
  • Erler, K.; Kretschmar, H.; Schlegel, C.; Melzer, F.; Loebel, K.-U.; Rößler, F.; Schubert, S.: Sensor und Schaltungsentwicklung, Statusbericht zum BMBF-Verbundprojekt HITEMP, Januar 1995
  • Reitz, S.; Ebest, G.; Melzer, F.: Beschreibung und Modellierung physikalischer Systeme, Zwischenbericht zum BMBF-Verbundprojekt METEOR, Januar 1995

Patentanmeldungen

TUCaktuell