Springe zum Hauptinhalt
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik

Lehrveranstaltung Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik



Die Einschreibung erfolgt über die OPAL-Plattform, auf der Sie auch weitere Informationen zum Kurs finden.

Studieninhalte

Vorlesungskomplexe
  • halbleiterphysikalische Grundlagen
  • pn-Übergang / Diode
  • Grundlagen MOS-Transistoren
  • MOS-Transistoren mit Abmessungen im Sub-100-nm-Bereich
  • neue MOS-Transistorkonzepte (Multi-Gate-Transistoren, FinFETs usw.)
  • Single-Electron-Transistoren
  • Quantenbauelemente (Resonanztunneldioden - RTDs usw.)
  • Bipolartransistoren mit Abmessungen im Sub-1-µm-Bereich
  • Carbon-Nanoröhren
Übungskomplexe
  1. Welle, Teichen und Ladungsträger im Halbleiter
    • Impuls
    • Wellenlänge
    • Linienbreite
    • Tunneleffekt
    • Fermiverteilung
    • Besetzungswahrscheinlichkeit
    • Dotierung
  2. pn-Übergang und Diode
    • Generation / Rekombination
    • pn-Übergang
    • Diode
  3. MOS-Transistor
    • Substrateffekt
    • Spannungsberechnungen am MOS-Transistor
    • Gateoxiddicke
    • Schwellenspannungsberechnung
    • Charge-Sharing-Modell
    • Punch-Through-Durchbruch
Praktikum
  1. Der MOS-Feldeffekttransistor:
    Vermittlung von grundlegenden Eigenschaften und des Kennlinienverhaltens von MOSFETs durch Messung

  2. Simulation eines MOSFETs mit Eldo / PSpice durch Netzwerkanalyse:
    Kennenlernen von Eigenschaften idealer und realer MOSFETs, Modellbetrachtung

Studiengänge / -gruppen

  • Pflichtfach im 2. Semester des Master-Studiengangs Mikrosysteme und Mikroelektronik (M_MSMN2)

  • Wahlpflichtfach im 4. Semester des Master-Studiengangs Biomedizinische Technik - Vertiefungsrichtung Medizingerätetechnik und medizinische Mikrosysteme (M_BTMT4)

Zeitplan aktuelles Semester

LVWochentagSeminargruppenZeitOrtBeginn
VdienstagsM_MS__1, M_BTMT311:30-13:00 UhrC25.06615.10.2024
Üdonnerstags, 2. WoM_MS__1, M_BTMT309:15-10:45 UhrC25.06617.10.2024
Pdonnerstags, 1. WoM_MS__1, M_BTMT307:30-10:45 UhrC25.368(24.10.2024)

Prüfung aktuelles Semester (Nach- / Wiederholer)

Termin:Mittwoch, den 07.08.2024, 09:00 - 12:00 Uhr
Raum:C25.065 (alt: 2/W065)
Typ:schriftliche Klausur
zugelassen:Taschenrechner (ohne Bluetooth / WLAN), kariertes Papier, Formelblatt wird ausgeteilt
Prüfer:Prof. Horstmann, M.Eng. Hafez
Aufsicht:DI Loebel