Dienstleistungen

Verbundwerkstoffe

Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)

• DC-Magnetronsputtern, gepulstes DC-Magnetronsputtern, reakives DC-Magnetronsputtern
• Mono- und Multilagenschichten (zwei Sputterquellen)
• Metallische Schichten (Ni, Al, Ti, Cu, Cr, Si, Y, Zn, Sn, NiTi, NiCr, NiFe, NiC, …
• Keramische Schichten (Oxide, Nitride, Al2O3, Y2O3, TiN, )
• Ebene Substrate (Metalle, Gläser, Keramik, Kunststoffe)
• Beschichtung von Draht und Fasern durch Rotationsvorrichtung
• Substratheizung bis 650 °C
• Abscheidung von Sensor-, Isolations- und Kontaktschichten

Ansprechpartner

Dr.-Ing. Maik Trautmann

• Telefon:
  +49 371 531-38846
• Fax:
  +49 371 531-838846
• Raum:
  3, 3/A104
• E-Mail:
  maik.trautmann@…