Abgeschlossene Promotionen
| 30.07.2026 | Micha Haase in situ Analysen an molekularen reaktiven Ionenätzprozessen - Über Methoden zum Aufdecken latenter Prozesseigenschaften Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 25.08.2025 | Silvia Hertel Galvanische Aluminiumabscheidung für das Waferlevel Thermokompressionsbonden mit dicken Aluminiumschichten Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 19.11.2024 | Linda Jäckel Process and equipment modeling for chemical thin film deposition Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 04.09.2024 | Simon Böttger Adressing Integration Obstacles for Carbon Nanotube-based Miniaturized Electro-mechanical Transducers Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 19.08.2024 | Robert Thalheim Elektrisch leitfähige Funktionalisierung von 3D-Objekten mittels robotergeführten Inkjet-Druck- und Dosierverfahren Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 21.11.2023 | Toni Dirk Großmann Untersuchungen zur Anwendung strukturintegrierter Resonatorarrays für das Erkennen stofflicher Veränderungen in polymerbasierten Leichtbaumaterialien Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 12.10.2023 | Jan Albrecht über die Bestimmung der Bruchzähigkeit von monokristallinen Schichten und deren Haftfestigkeit als Dünnschicht auf Siliziumsubstrat mittels instrumentierter Eindringprüfung Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 07.09.2022 | Venkata Rao Rayapati Resistive switching in ferroelectric polycrystalline Yttrium Manganese Oxide thin films Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 11.05.2022 | Martin Hartmann Development of Carbon Nanotube-based Field-Effect Transistors for Analog High-Frequency Applications Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 12.07.2021 | Leo Rizzi Graphene-Based Conductor Materials: Assessment of the Electrical Conductivity Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 11.12.2020 | Martin Möbius Nutzung der Photolumineszenz von Quantenpunkten für die Belastungsdetektion an Leichtbaumaterialien Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 07.10.2020 | Alexander Otto Lebensdauermodellierung diskreter Leistungselektronikbauelemente unter Berücksichtigung überlagerter Lastwechseltests Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 24.09.2020 | Jana Tittmann-Otto Improvement of carbon nanotube-based field-effect transistors by cleaning and passivation Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 11.11.2019 | Petra Streit Entwicklung von Entwurfs- und Analysemethoden für integrierte Heizfunktionalitäten in bioanalytischen Systemen Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 01.10.2019 | Saeed Motaragheb Jafarpour Investigation of multicomponent catalyst systems for type-selective growth of SWCNTs by CVD Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 25.10.2018 | Christian Helke Herstellung von neuartigen Reflektorsystemen und Erarbeitung einer systembezogenen Integrationstechnologie für VIS und IR Fabry-Pérot Interferometer Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 05.10.2018 | John Brückner Elastizitätsmodul und Bruchfestigkeit von Poly-Silizium-Membranen kommerzieller MEMS-Mikrophone Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 29.11.2017 | Lutz Hofmann 3D-Wafer Level Packaging approaches for MEMS by using Cu-based High Aspect Ratio Through Silicon Vias Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 02.11.2017 | Xiao Hu Multiscale Simulation of Metallic Copper and Copper Oxide Atomic Layer Deposition from Cu Beta-diketonates Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 10.01.2017 | Robert Schulze Strukturintegrierbare Sensoren auf Basis piezoelektrischer Polymere Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 16.12.2016 | Dileep Dhakal In-situ XPS Investigation of the Surface Chemistry of a Cu(I) Beta-Diketonate Precursor and the ALD of Cu2O Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 17.10.2016 | Chris Stöckel Piezoelektrische Aluminiumnitrid-Dünnschichten für mikroelektromechanische Systeme Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 20.01.2016 | Marco Haubold Erarbeitung einer Fertigungstechnologie und Charakterisierungsmethodik für die Herstellung hochsensitiver Vibrationssensoren unter Nutzung des Mikroschweißprozesses Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 13.10.2015 | Quan Wen A Novel Micro Fluid Kinetic Energy Harvester Based on the Vortex-Induced Vibration Principle and the Piezo Effect Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 19.05.2015 | Jinji Luo Investigation of Polymer Based Materials in Thermoelectric Applications Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 05.05.2015 | Jörg Frömel Gallium-based Solid Liquid Interdiffusion Bonding of Semiconductor Substrates near room temperature Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 06.02.2015 | Mario Baum Strukturierungs- und Aufbautechnologien von 3-dimensional integrierten fluidischen Mikrosystemen Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 12.06.2014 | Holger Fiedler Preparation and characterization of Carbon Nanotube based vertical interconnections for integrated circuits Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 24.01.2014 | Jörg Bräuer Erarbeitung eines Raumtemperatur-Waferbondverfahrens basierend auf integrierten und reaktiven nanoskaligen Multilagensystemen Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 29.05.2013 | Ralf Zichner Hochfrequenz-Kommunikation gedruckter Antennen in herausfordernden dielektrischen oder metallischen Umgebungen Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 06.05.2013 | Alexander Weiß Entwicklung optischer Sensoren zur Qualitätssicherung und Zustandsüberwachung von Schmierfetten in Wälzlagern Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 11.01.2013 | Andreas Zienert Electronic Transport in Metallic Carbon Nanotubes with Metal Contacts Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 23.11.2012 | Roman Forke Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 04.04.2012 | Nicole Peggy Ahner Wetting Optimized Solutions for Plasma Etch Residue Removal for Application in Interconnect Systems of Integrated Circuits Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 19.09.2011 | Sascha Hermann Growth of carbon nanotubes on different support/catalyst systems for advanced interconnects in integrated circuits Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 20.05.2011 | Hendrik Specht MEMS-Laser-Display-System Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 21.12.2010 | Jörg Nestler Entwicklung integrierter mikrofluidischer Aktoren für den Einsatz in bioanalytischen Systemen Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 23.11.2010 | Saeideh Mohammadzadeh Electronic Transport Properties of Copper and Gold at Atomic Scale Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 25.05.2010 | Thomas Wächtler Thin Films of Copper Oxide and Copper Grown by Atomic Layer Deposition for Applications in Metallization Systems of Microelectronic Devices Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 26.02.2010 | Stefan Leidich Entwicklung eines integrierten Mikroresonators für die kernmagnetische Resonanzspektroskopie kleinster Probenvolumen Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 20.11.2009 | Alexey Shaporin Dynamic parameter identification techniques and test structures for microsystems characterization on wafer level Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 21.05.2008 | Danny Reuter Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 06.05.2008 | Knut Schulze Beiträge zur Technologieentwicklung für die Erzeugung von AirgapStrukturen in Metallisierungssystemen in integrierten Schaltkreisen Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 28.11.2007 | Roman Frahnow Massendurchfluss- und Dichtemessung mit einer resonanten Messzelle in Volumenmikromechanik Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 05.09.2007 | Sven Zimmermann Entwicklung einer Technologie zur Herstellung eines neuartigen Substrates mit strukturierten vergrabenen Kobaltdisilizidschichten für die gemeinsame Integration bipolarer und unipolarer Bauteile auf einem SOI-Wafer Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 29.06.2006 | Christian Lohmann Beiträge zur Entwicklung einer Technologieplattform für die Herstellung von oberflächennahen Mikrostrukturen mit hohen Aspektverhältnissen Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 18.03.2005 | Roy Knechtel Halbleiterwaferbondverbindungen mittels strukturierter Glaszwischenschichten zur Verkapselung oberflächenmikromechanischer Sensoren auf Waferebene Waferbonden mittels strukturierter Glaszwischenschichten Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 06.09.2004 | Knut Gottfried Metallisierungssysteme für temperaturbelastete Bauelemente der Mikrosystemtechnik Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 20.06.2003 | Jens Baumann Herstellung, Charakterisierung und Bewertung leitfähiger Diffusionsbarrieren auf Basis von Tantal, Titan und Wolfram für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 26.01.2001 | Matthias Markert Entwicklung und Charakterisierung eines Plasmaätzverfahrens zur Strukturierung von Kupferleitbahnsystemen Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 14.04.2000 | Jakob Kriz Hochtemperaturstabile, ohmsche Kontakte zu 6H-SiC Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 01.04.2000 | Detlef Billep Modellierung und Simulation eines mikromechanischen Drehratensensors Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| 03.12.1999 | Maik Wiemer Technologieentwicklung für Beschleunigungssensoren und Drehratensensoren unter Nutzung von Waferbondverfahren Promotion zum Dr.-Ing. Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |