Lehrveranstaltungen
Übersicht der Lehrveranstaltungen - Bachelor
Modulbeschreibung
Qualifikationsziele:
Die Studenten verfügen über grundlegende Kenntnisse zu den wichtigsten Verfahren im Bereich der Mikrotechnologien, über Basiswissen zu Wirkprinzipien und Herstellungsverfahren von Sensoren und Aktoren und können komplexe Zusammenhänge zu Mikrosystemen und monolithischer Integration erfassen. Sie sind in der Lage, die erworbenen Kenntnisse und Fähigkeiten in Laborversuchen praktisch anzuwenden.
Dozent:
Dr. Sven Zimmermann, E-Mail: sven.zimmermann@…
Art der Lehrveranstaltung:
Vorlesung mit Übung und Praktikum im modernen Reinraum
Umfang der Lehrveranstaltung:
2 / 1 / 1 LVS (Vorlesung / Übung / Praktikum)
5 Leistungspunkte
Inhalte:
- Technologische Grundverfahren der Mikrotechnologien
- Fertigungsumfeld
- Equipment
- Wirkprinzipien von ausgewählten Sensoren und Aktoren
- Technologiebeispiele für spezielle Aktor- und Sensoranwendungen
- Mikrosysteme, Hybride und monolithische Integration
Einschreibung und Arbeitsmaterialien:
Anmeldung zur Lehrveranstaltung sowie Download der Arbeitsmaterialien erfolgt über OPAL.
Termine:
Aktuelle Termine zu Vorlesungen, Übungen und Praktika finden Sie im Vorlesungsverzeichnis.
Bei Fragen zu den Lehrveranstaltungen wenden Sie sich bitte an
Dr. Christoph Meinecke, E-Mail: christoph.meinecke@…
Modulbeschreibung
Qualifikationsziele:
Vertiefende Kenntnisse zu speziellen Verfahren der Mikro- und Nanoelektronik grundlegende Kenntnisse zu den wichtigsten Standardtechnologien Basiswissen zu Trends und Entwicklungsrichtungen Verständnis allgemeiner Zusammenhänge zum Prozessumfeld Erlangung praxisbezogener Fertigkeiten bei Standardprozessen der Mikroelektronik im Rahmen des Praktikums.
Dozent:
Prof. Dr. Harald Kuhn, E-Mail: harald.kuhn@…
Art der Lehrveranstaltung:
Vorlesung mit Übung und Praktikum im modernen Reinraum
Umfang der Lehrveranstaltung:
2 / 1 / 1 LVS (Vorlesung / Übung / Praktikum)
5 Leistungspunkte
Inhalte:
- spezielle Verfahren der Mikro- und Nanoelektronik
- Equipment der Mikro- und Nanoelektronik
- Beispiele für spezielle Grundtechnologien der Bipolar- und Unipolartechnik
- moderne Technologievarianten, Trends und Visionen
- Designregeln
- Prozesscharakterisierung und Kontrolle
- Prozessintegration
Einschreibung und Arbeitsmaterialien:
Anmeldung zur Lehrveranstaltung sowie Download der Arbeitsmaterialien erfolgt über OPAL.
Termine:
Aktuelle Termine zu Vorlesungen, Übungen und Praktika finden Sie im Vorlesungsverzeichnis.
Bei Fragen zu den Lehrveranstaltungen wenden Sie sich bitte an
Dr. Christoph Meinecke, E-Mail: christoph.meinecke@…
Übersicht der Lehrveranstaltungen - Master
Modulbeschreibung
Qualifikationsziele:
Die Studierenden kennen die technologischen Schritte und Prozessabläufe zur Herstellung von MEMS- und NEMS-Komponenten und Systemen. Sie verfügen über Kenntnisse zu
Technologien für innovative MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) und NEMS (Nano-Electro-Mechanical Systems) sowie für die Systemintegration.
Dozenten:
Prof. Dr. Harald Kuhn, E-Mail: harald.kuhn@…
Dr. Danny Reuter, E-Mail: danny.reuter@…
Prof. Dr. Karla Hiller, E-Mail: karla.hiller@…
Art der Lehrveranstaltung:
Vorlesung mit Übung
Umfang der Lehrveranstaltung:
2 / 2 / 0 LVS (Vorlesung / Übung / Praktikum)
5 Leistungspunkte
Inhalte:
- Prozessschritte für Silizium-basierte MEMS/NEMS Technologische Grundverfahren der Mikrotechnologien
- Technologien/Prozessfolgen für Silizium-basierte MEMS/NEMS
- Verkapselung und Packaging
- Beispiele für Silizium-basierte MEMS/NEMS (Inertialsensoren, akustische Mikrosysteme, MOEMS)
- Beispiele für Nanokomponenten und NEMS (1D/2D Materialien und Bauelemente, Memristioren, Sprintronische Devices)
- Systeme und Integrationstechnologien
- Trends und Roadmaps
Einschreibung und Arbeitsmaterialien:
Anmeldung zur Lehrveranstaltung sowie Download der Arbeitsmaterialien erfolgt über OPAL.
Termine:
Aktuelle Termine zu Vorlesungen, Übungen und Praktika finden Sie im Vorlesungsverzeichnis.
Bei Fragen zu den Lehrveranstaltungen wenden Sie sich bitte an
Dr. Christoph Meinecke, E-Mail: christoph.meinecke@…
Module Description
Learning Objectives:
Students will be familiar with the technological steps and process flows involved in the manufacture of MEMS and NEMS components and systems. They will have knowledge of technologies
for innovative MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) and NEMS (Nano-Electro-Mechanical Systems), as well as for system integration.
Instructors:
Prof. Dr. Karla Hiller, E-Mail: karla.hiller@…
Dr. Danny Reuter, E-Mail: danny.reuter@…
Type of Course:
Lecture with a seminar
Scope of the Course:
3 / 2 / 0 LVS (Lecture / Seminar / Lab)
6 Credit points
Contents:
- Process steps for silicon-based MEMS/NEMS
- Technologies/Process Flows for Silicon-Based MEMS/NEMS
- Examples of silicon-based MEMS/NEMS (inertial sensors, acoustic microsystems, MOEMS)
- Examples of nanocomponents and NEMS (1D/2D materials and devices, memristors, sprintronic and biological devices)
- Systems and Integration Technologies
- Trends and Roadmaps
Registration and Course Materials:
You can register for the course and download the course materials via OPAL.
Dates:
You can find the current schedule for lectures, seminars, and lab sessions in the Course Catalog.
If you have any questions about the courses, please contact
Dr. Christoph Meinecke, E-Mail: christoph.meinecke@…
Module Description
Learning Objectives:
Students will understand the theoretical foundations, function, and technology of micro-optical components and systems.
Instructor:
Prof. Dr. Harald Kuhn, E-Mail: harald.kuhn@…
Type of Course:
Lecture with a seminar
Scope of the Course:
2 / 1 / 0 LVS (Lecture / Seminar / Lab)
3 Credit points
Contents:
- Fundamentals
- Passive Optical Components
- Fabrication Technologies
- Light Sources
- Light Detectors
- MOEMS
- MOEMS Devices
- Optical Spectroscopy
- Optical Measurement
- Photonic Integreated Circuits (PIC)
Registration and Course Materials:
You can register for the course and download the course materials via OPAL.
Dates:
You can find the current schedule for lectures, seminars, and lab sessions in the Course Catalog.
If you have any questions about the courses, please contact
Dr. Christoph Meinecke, E-Mail: christoph.meinecke@…
Module Description
Learning Objectives:
Students will understand the theoretical foundations, function, and technology of micro-optical components and systems.
Instructor:
Prof. Dr. Stefan Schulz, E-Mail: stefan.schulz@…
Type of Course:
Lecture with a seminar
Scope of the Course:
3 / 1 / 0 LVS (Lecture / Seminar / Lab)
5 Credit points
Contents:
- Requirements and Trends in the Semiconductor Technology Roadmap
- Micro- and nanoelectronics processes, including new process steps (layer deposition, ion implantation, advanced lithography, etching/patterning, chemical-mechanical polishing, advanced cleaning processes)
- CMOS / Bipolar / BiCMOS Technology
- CMOS process modules for modern IC technologies (STI, gate, source/drain, interconnect modules, packaging, etc.)
- Specific aspects of sub-100 nm CMOS technology
- New transistor and memory concepts; potential post-CMOS technologies
- 3D technology for increasing integration density
- Numerical methods for semiconductor process and equipment simulation
- Models and programming for advanced deposition processes (Monte Carlo and molecular dynamics simulations)
- Parameter optimization methods
Registration and Course Materials:
You can register for the course and download the course materials via OPAL.
Dates:
You can find the current schedule for lectures, seminars, and lab sessions in the Course Catalog.
If you have any questions about the courses, please contact
Dr. Christoph Meinecke, E-Mail: christoph.meinecke@…
Modulbeschreibung
Die Studenten verfügen über grundlegende Kenntnisse zu den wichtigsten Verfahren im Bereich der Mikrotechnologien, über Basiswissen zu Wirkprinzipien und Herstellungsverfahren von Sensoren und Aktoren und können komplexe Zusammenhänge zu Mikrosystemen und monolithischer Integration erfassen. Sie sind in der Lage, die erworbenen Kenntnisse und Fähigkeiten in Laborversuchen praktisch anzuwenden.
Dr. Sven Zimmermann, E-Mail: sven.zimmermann@…
Vorlesung mit Übung und Praktikum im modernen Reinraum
2 / 1 / 1 LVS (Vorlesung / Übung / Praktikum)
5 Leistungspunkte
- Technologische Grundverfahren der Mikrotechnologien
- Fertigungsumfeld
- Equipment
- Wirkprinzipien von ausgewählten Sensoren und Aktoren
- Technologiebeispiele für spezielle Aktor- und Sensoranwendungen
- Mikrosysteme, Hybride und monolithische Integration
Anmeldung zur Lehrveranstaltung sowie Download der Arbeitsmaterialien erfolgt über OPAL.
Aktuelle Termine zu Vorlesungen, Übungen und Praktika finden Sie im Vorlesungsverzeichnis.
Bei Fragen zu den Lehrveranstaltungen wenden Sie sich bitte an
Dr. Christoph Meinecke, E-Mail: christoph.meinecke@…
Modulbeschreibung
Vertiefende Kenntnisse zu speziellen Verfahren der Mikro- und Nanoelektronik grundlegende Kenntnisse zu den wichtigsten Standardtechnologien Basiswissen zu Trends und Entwicklungsrichtungen Verständnis allgemeiner Zusammenhänge zum Prozessumfeld Erlangung praxisbezogener Fertigkeiten bei Standardprozessen der Mikroelektronik im Rahmen des Praktikums.
Prof. Dr. Harald Kuhn, E-Mail: harald.kuhn@…
Vorlesung mit Übung und Praktikum im modernen Reinraum
2 / 1 / 1 LVS (Vorlesung / Übung / Praktikum)
5 Leistungspunkte
- spezielle Verfahren der Mikro- und Nanoelektronik
- Equipment der Mikro- und Nanoelektronik
- Beispiele für spezielle Grundtechnologien der Bipolar- und Unipolartechnik
- moderne Technologievarianten, Trends und Visionen
- Designregeln
- Prozesscharakterisierung und Kontrolle
- Prozessintegration
Anmeldung zur Lehrveranstaltung sowie Download der Arbeitsmaterialien erfolgt über OPAL.
Aktuelle Termine zu Vorlesungen, Übungen und Praktika finden Sie im Vorlesungsverzeichnis.
Bei Fragen zu den Lehrveranstaltungen wenden Sie sich bitte an
Dr. Christoph Meinecke, E-Mail: christoph.meinecke@…
Modulbeschreibung
Die Studierenden kennen die technologischen Schritte und Prozessabläufe zur Herstellung von MEMS- und NEMS-Komponenten und Systemen. Sie verfügen über Kenntnisse zu Technologien für innovative MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) und NEMS (Nano-Electro-Mechanical Systems) sowie für die Systemintegration.
Prof. Dr. Harald Kuhn, E-Mail: harald.kuhn@…
Dr. Danny Reuter, E-Mail: danny.reuter@…
Prof. Dr. Karla Hiller, E-Mail: karla.hiller@…
Vorlesung mit Übung
2 / 2 / 0 LVS (Vorlesung / Übung / Praktikum)
5 Leistungspunkte
- Prozessschritte für Silizium-basierte MEMS/NEMS Technologische Grundverfahren der Mikrotechnologien
- Technologien/Prozessfolgen für Silizium-basierte MEMS/NEMS
- Verkapselung und Packaging
- Beispiele für Silizium-basierte MEMS/NEMS (Inertialsensoren, akustische Mikrosysteme, MOEMS)
- Beispiele für Nanokomponenten und NEMS (1D/2D Materialien und Bauelemente, Memristioren, Sprintronische Devices)
- Systeme und Integrationstechnologien
- Trends und Roadmaps
Anmeldung zur Lehrveranstaltung sowie Download der Arbeitsmaterialien erfolgt über OPAL.
Aktuelle Termine zu Vorlesungen, Übungen und Praktika finden Sie im Vorlesungsverzeichnis.
Bei Fragen zu den Lehrveranstaltungen wenden Sie sich bitte an
Dr. Christoph Meinecke, E-Mail: christoph.meinecke@…
Module Description
Students will be familiar with the technological steps and process flows involved in the manufacture of MEMS and NEMS components and systems. They will have knowledge of technologies for innovative MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) and NEMS (Nano-Electro-Mechanical Systems), as well as for system integration.
Prof. Dr. Karla Hiller, E-Mail: karla.hiller@…
Dr. Danny Reuter, E-Mail: danny.reuter@…
Lecture with a seminar
3 / 2 / 0 LVS (Lecture / Seminar / Lab)
6 Credit points
- Process steps for silicon-based MEMS/NEMS
- Technologies/Process Flows for Silicon-Based MEMS/NEMS
- Examples of silicon-based MEMS/NEMS (inertial sensors, acoustic microsystems, MOEMS)
- Examples of nanocomponents and NEMS (1D/2D materials and devices, memristors, sprintronic and biological devices)
- Systems and Integration Technologies
- Trends and Roadmaps
You can register for the course and download the course materials via OPAL.
You can find the current schedule for lectures, seminars, and lab sessions in the Course Catalog.
If you have any questions about the courses, please contact
Dr. Christoph Meinecke, E-Mail: christoph.meinecke@…
Module Description
Students will understand the theoretical foundations, function, and technology of micro-optical components and systems.
Prof. Dr. Harald Kuhn, E-Mail: harald.kuhn@…
Lecture with a seminar
2 / 1 / 0 LVS (Lecture / Seminar / Lab)
3 Credit points
- Fundamentals
- Passive Optical Components
- Fabrication Technologies
- Light Sources
- Light Detectors
- MOEMS
- MOEMS Devices
- Optical Spectroscopy
- Optical Measurement
- Photonic Integreated Circuits (PIC)
You can find the current schedule for lectures, seminars, and lab sessions in the Course Catalog.
If you have any questions about the courses, please contact
Dr. Christoph Meinecke, E-Mail: christoph.meinecke@…
Module Description
Students will understand the theoretical foundations, function, and technology of micro-optical components and systems.
Prof. Dr. Stefan Schulz, E-Mail: stefan.schulz@…
Lecture with a seminar
3 / 1 / 0 LVS (Lecture / Seminar / Lab)
5 Credit points
- Requirements and Trends in the Semiconductor Technology Roadmap
- Micro- and nanoelectronics processes, including new process steps (layer deposition, ion implantation, advanced lithography, etching/patterning, chemical-mechanical polishing, advanced cleaning processes)
- CMOS / Bipolar / BiCMOS Technology
- CMOS process modules for modern IC technologies (STI, gate, source/drain, interconnect modules, packaging, etc.)
- Specific aspects of sub-100 nm CMOS technology
- New transistor and memory concepts; potential post-CMOS technologies
- 3D technology for increasing integration density
- Numerical methods for semiconductor process and equipment simulation
- Models and programming for advanced deposition processes (Monte Carlo and molecular dynamics simulations)
- Parameter optimization methods
You can register for the course and download the course materials via OPAL.
You can find the current schedule for lectures, seminars, and lab sessions in the Course Catalog.
If you have any questions about the courses, please contact
Dr. Christoph Meinecke, E-Mail: christoph.meinecke@…