MEMS und Nanotechnologien
An der Professur SSI wird an Methoden, Technologien und Komponenten geforscht, um gemeinsam mit Forschungs- und Anwendungspartnern MEMS- und NEMS-basierte Smart Systems entwickeln zu können.
Die hierfür genutzten MEMS und NEMS Komponenten sowie die zugrunde liegenden Mikro- und Nanotechnologien werden am Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZfM) und in den Forschungsfeldern des ZfM entwickelt.
Das ZfM erforscht und entwickelt gemeinsam mit der Industrie und anderen Forschungseinrichtungen neue Verfahren, Materialien, Komponenten und Systeme im Bereich der Halbleitertechnik.
Ausgewählte Publikationen
Forke R., Shaporin A., Hahn S., Weidlich S., Kuechler M., Wuensch D., Buelz D., Hiller,K.: "On the Feasibility of the BDRIE-HS* Technology for a MEMS Gyroscope." 2025 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL), Lindau (Germany), 2025 May 10-13; Proceedings (ISBN 979-8-3503-8932-6)
Melzer M., Meinel K., Stoeckel C., Hemke T., Mussenbrock T., Zimmermann S.: "MEMS-Based Measurement of the Ion Angle Distribution for Sustainable Semiconductor Dry Etching." MikroSystemTechnik Kongress (MST), Duisburg, 2025 Oct 27-29; Proceedings, pp 448-450
Helke C., Schermer S., Gottwald M., Kohlschreiber P., Bonitz J., Haase M., Umlauf G., Reuter D.: "3D Patterning by Electron Beam and I-line Grayscale Lithography Combined with RIE, DRIE and IBE for Photonic Applications." PESM - Plasma Etch And Strip In Microtechnology 2025, Chemnitz, 2025 Jun 16-17; Proceedings, pp pp. 1-2
Eugene Christo VR, Meinecke C., Nitzsche B., Lyttleton R., Reuther C., Reuter D., Linke H., Korten T., Diez St.: "DNA Origami Based Approach for an Electrically Driven Single-Photon Source for Contaminant Detection in Water." bioRxiv:2025.09.10.67536
