Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme

Praktikum Werkstoffe der Mikrotechnik

Verantwortlicher: Uwe Zschenderlein

Aktuell

02.04.2013
Praktikumstermin
Nr. Veranstaltung Art LVS Lehrkraft Tag Woche Zeit Raum
244036-615 Werkstoffe der Mikrotechnik

wo : B_MMPM4, B_MMMP4
 P 2 Uwe Zschenderlein Dienstag 2 11:30 - 15:15 2/W381
Die Einführungsveranstaltung findet zum 1. Praktikumstermin am 16.04.2013 statt.

Organisatorisches

  • Teilnehmer:
    • wo: B_MMMP4 (Modul B_MM 5.2.11)
    • wo: B_MMPM4 (Modul B_MM 5.2.13)
  • Umfang: 1 SWS im Sommersemester
  • Vorlesung: Werkstoffe der Mikrotechnik

Inhalt

Ziele
Ziel sind die Erlangung von Kenntnissen und die Schulung von Methoden zur Herstellung, Verarbeitung und Charakterisierung des Werkstoffs Silizium. Desweiteren wird ergänzendes Wissen bezüglich des Aufbaus und der Eigenschaften silikatischer Gläser vermittelt.

Versuche
Es sind folgende 4 Versuche durchzuführen:
  • S1: Widerstandsinhomogenität von Silizium-Einkristallen
  • S2: Silizium-Scheiben - Wafer für die Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
  • S3: Bestimmung elastischer Konstanten von Silizium
  • G1: Silikatische Gläser

Lehrmaterial

Alle angebotenen Unterlagen dienen Lehrzwecken und sind ausschließlich zum internen Gebrauch bestimmt. Es ist nicht gestattet sie Personen außerhalb der TU Chemnitz zugänglich zu machen!
Anleitungen
S1: Widerstandsinhomogenität von Silizium-Einkristallen 199 KB, 14.05.2012
S2: Silizium-Scheiben - Wafer für die Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik 326 KB, 29.03.2011
S3: Bestimmung elastischer Konstanten von Silizium 193 KB, 29.03.2011
G1: Silikatische Gläser 199 KB, 29.03.2011

Praktikumshinweise
Praktiumseinführung 386 KB, 14.05.2012