Laufende Forschungsprojekte
Siehe auch Abgeschlossene Forschungsprojekte
DFG: Graduiertenkolleg 1215: Materialien und Konzepte für fortschrittliche Metallisierungssysteme und Nanosysteme
| Projektmanager am ZfM: | Dr. Ramona Ecke / Dr. Thomas Wächtler |
| Projektleiter: | Prof. Thomas Geßner |
| Partner: | Fudan Univ. Shanghai; Jiao Tong Univ. Shanghai; TU Berlin / Fraunhofer IZM; TU Chemnitz / Fraunhofer ENAS |
| Laufzeit: | 01.04.2006 bis 31.03.2015 |
| Projekt Homepage: | http://www.zfm.tu-chemnitz.de/irtg/ |
BMBF: NANO3PT: Technologieentwicklung und Herstellung von nanostrukturierbaren steuerbaren optischen Komponenten
| Projektleiter: | Dr. Karla Hiller |
| Partner: | Micro Resist Technology GmbH; AMO GmbH; Creavac GmbH; Fraunhofer ENAS; InfraTec GmbH; Gesellschaft f. Gerätebau GmbH |
| Laufzeit: | 01.04.2011 bis 31.03.2015 |
DFG: Forschergruppe 1713: Sensorische Mikro- und Nanosysteme
| Projektmanager am ZfM: | Christian Wagner / Dr. Danny Reuter |
| Projektleiter: | Prof. Thomas Geßner / Prof. R. T. Zahn |
| Partner: | Leibniz IFW, TU Chemnitz, Fraunhofer ENAS |
| Laufzeit: | 01.04.2011 bis 31.03.2014 |
| Projektziel: | Ein wichtiger Trend in der Halbleiterindustrie, den die International Technology Roadmap for Semiconductors beschreibt und mit More than Moore bezeichnet, beruht auf der Integration unterschiedlicher Technologien und Funktionalitäten um neben der Signal- und Informationsverarbeitung auch die Interaktion mit der Umwelt in einem miniaturisierten System zu ermöglichen. Die Smart Systems Integration folgt diesem Trend zu miniaturisierten multifunktionalen Baugruppen und Systemen. Smart Systems erfüllen durch das Zusammenwirken leistungsfähiger heterogener Komponenten komplexe Funktionen auf kleinstem Raum. Um im internationalen Vergleich langfristig wettbewerbsfähig zu bleiben, erfordern intelligente Systeme der Zukunft die Integration von Bauelementen und Komponenten auf Basis neuester Mikro- und Nanotechnologien. Beispiele hierfür sind neue Sensorprinzipien auf Basis von Nanostrukturen, Nanoelektromechanische Systeme (NEMS) oder die Verwendung von Festkörperbauelementen als sensorische Wandler. Diese Ansätze sind die Basis für zukünftige intelligente Systeme, aber noch weit von der Anwendung entfernt. Die Forschergruppe 1713 „Sensorische Mikro- und Nanosysteme“ zielt auf solche zukunftsweisende mikro- und nanotechnologischen Konzepte, die dem Technologietrend More than Moore zugeordnet werden können. |
| Projekt Homepage: | http://www.zfm.tu-chemnitz.de/for1713 |
VW-Stiftung: Integration of dielectrophoretic deposited Carbon Nanotubes and their reliabilitiy in mechanical sensor systems
| Projektmanager am ZfM: | Dr. Kaufmann / Dr. Hermann |
| Projektleiter: | Prof. Geßner |
| Partner: | Prof. Mehner, Prof. Wunderle, Fraunhofer ENAS |
| Laufzeit: | 01.09.2010 bis 31.08.2013 |
DFG: Forschergruppe 1154: Teilprojekt 8: Von der Herstellung molekularer Schichten und deren magneto-optischen Untersuchungen zu lateralen Bauelementen
| Projektmanager am ZfM: | Dr. Karla Hiller |
| Projektleiter: | Prof. D. R. T. Zahn |
| Partner: | TU Dresden, Universität Leipzig, TU Freiberg, IFW Dresden |
| Laufzeit: | 01.07.2010 bis 30.06.2013 |
