Abgeschlossene Forschungsprojekte
Siehe auch Laufende Forschungsprojekte
DFG: NEMS/MEMS and Nanomaterial-enhanced Passive Components Compatible with Advanced Nano-CMOS for Future One-chip Tunable RF Systems
| Projektmanager am ZfM: | Dr. Maik Wiemer |
| Projektleiter: | Prof. Thomas Geßner |
| Partner: | Prof. Masayoshi Esashi, Tohoku University |
| Laufzeit: | 01.01.2010 bis 31.12.2012 |
BMBF: nanett - Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration
| Projektmanager am ZfM: | Dr. Danny Reuter |
| Partner: | HS Mittweida / Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH / Leibniz Institut IPF, Dresden / IHP GmbH, Frankfurt / Leibnitz Institut IFW, Dresden / Fhg IZM, Berlin / Fhg ENAS, Chemnitz / Fhg IAP, Potsdam |
| Laufzeit: | 01.11.2009 bis 31.10.2012 |
| Projekt Homepage: | http://www.nanett.org/ |
UA: InfraTEC (NANOREF)
| Projektmanager am ZfM: | Dr. Karla Hiller |
| Partner: | Industrieprojekt / Vertrag mit InfraTEC |
| Laufzeit: | 01.04.2008 bis 30.09.2010 |
BMBF: High speed interconnects (Verbinden)
| Projektmanager am ZfM: | Prof. Stefan E. Schulz |
| Partner: | AMD Fab36 LLC & Co. KG, Qimonda AG, Fraunhofer CNT, Fraunhofer ENAS Chemnitz / TU Chemnitz, TU Dresden, TU Berlin |
| Laufzeit: | 01.04.2006 bis 31.03.2009 |
| Projektziel: | Subproject KUWANO (low resistivity copper interconnects): Development of processes and technology for fabrication of low resistivity Cu interconnect embedded in SiO2 and dense low-k dielectrics for microprocessors in 45 and 32 nm technology node. |
EU 6FP IST/NMP : Surface enhanced micro optical fluidic systems (SEMOFS)
| Partner: | CSEM Zürich/CH; CEA Grenoble/F; Bayer (Schweiz) AG /CH; Eurogenetic S.A. /B; ALMA Lyon/F, Cardiff University /UK, Hospital Liege /B |
| Laufzeit: | 01.09.2005 bis 28.02.2009 |
| Projekt Homepage: | http://www.semofs.com |
PRIMER
| Projektmanager am ZfM: | Prof. Dr. Stefan E. Schulz |
| Projektleiter: | Prof. Dr. Thomas Geßner |
| Partner: | AMD Fab36 LLC&Co.KG, Fraunhofer IISB, Fraunhofer ENAS Chemnitz, ZfM TU Chemnitz |
| Laufzeit: | 01.01.2007 bis 31.12.2008 |
EU 6FP IST: Pulling the limits of NanoCMOS electronics (PULLNANO)
| Projektmanager am ZfM: | Prof. Schulz |
| Projektleiter: | Prof. Geßner |
| Partner: | STMicroelectronics S.A. Montrouge/F; Kath. Univ. Leuven/B; Forschungszentrum Jülich/D; ETH Zürich/CH, FhG-IZM Berlin und Chemnitz u.a. |
| Laufzeit: | 01.06.2006 bis 30.11.2008 |
SMWA: Verfahren und Einrichtung zum flächigen Laserabtragen auf der Basis stressfrei beschichteter 2D-Mikrospiegel; Teilvorhaben: Entwicklung hoch-reflektierender mikromechanischer Spiegel zur Materialbearbeitung und für medizinische Applikationen
| Partner: | IMM Elektronik Mittweida, ACSYS Lasertechnik Mittweida, Leibniz-Institut Oberflächenmodifizierung Leipzig |
| Laufzeit: | 01.10.2005 bis 30.09.2007 |
Poröse Polymere
| Projektmanager am ZfM: | Prof. Schulz |
| Projektleiter: | Prof. Geßner |
| Partner: | BTU Cottbus, FhG-IZM Teltow |
| Laufzeit: | 01.01.2005 bis 31.12.2006 |
CMOS backbone for 2010 e-Europe. NANOCMOS. From the 45nm node down to the limits
| Projektleiter: | Prof. Schulz |
| Partner: | ST Crolles, ST Agrate, PHILIPS Crolles, PHILIPS Research Leuven, PHILIPS Research Eindhoven, INFINEON, IMEC, CEA-LETI, CNRS, Fraunhofer IISB, IBS, ISILTEC, MAGWEL, ACIES |
| Laufzeit: | 01.01.2004 bis 30.06.2006 |
| Projektziel: | Development of the technological platform for 45nm and 32nm node |
| Projekt Homepage: | http://www.nanocmos-eu.com |
DFG: VIVA - Low Power System Bus Encoding
| Projektmanager am ZfM: | Prof. D. Müller |
| Laufzeit: | 01.07.1999 bis 31.03.2005 |
| Projektziel: | Development and implementation of coder-decoder systems for SOC system busses which minimize under a set of constraints the total power dissipation on a system bus with its coder and decoder implementation through reduction of switching activity on this bus.
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Solutions in the field of color image processing
| Projektmanager am ZfM: | Prof. D. Müller |
| Partner: | Siemens A&D Nürnberg, Sächsisches Textilforschungsinstitut STFI Chemnitz |
| Laufzeit: | 01.12.2003 bis 30.06.2004 |
| Projektziel: | Evaluation of new algorithms in the field of image processing by using FPGAs and realtime processing, investigation of color spaces and classification for color image analysis.
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BMBF: IPQ (IP Qualification)
| Projektmanager am ZfM: | Prof. D. Müller |
| Laufzeit: | 01.07.2001 bis 31.03.2004 |
| Projektziel: | The methodologies and tools developed in the project IPQ are targeted on significant improvements in quality assurance in the development and application of Intellectual Property (IP). This includes the development of new methods for IP specification, intelligent IP retrievel, techniques for (semi)automatic IP adaptation as well as contributions to IP standardisa-tion activities.
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BMWi: Optimization of the multicrystalline solar cell process by means of RTP and RIE
| Projektmanager am ZfM: | Prof. G. Ebest |
| Partner: | RWE Schott Solar, Alzenau |
| Laufzeit: | 01.04.2001 bis 31.03.2004 |
| Projektziel: | Proof of rapid thermal processing and reactive ion etching for solar cell fabrication
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Service order No. 5 for master agreement research and development, entered by AMD and Technische Universität Chemnitz
| Projektmanager am ZfM: | Prof. C. Radehaus |
| Laufzeit: | 01.08.2003 bis 28.02.2004 |
| Projektziel: | Automation of the software system GOPI modelling CV-characteristics of gate-oxide-structures - within the framework of the GOPI model - to estimate the parameters |
DFG: Poröse Polymere als low-k Dielektrika für Metallisierungssysteme in der Mikroelektronik
| Projektmanager am ZfM: | Dr. Stefan E. Schulz |
| Projektleiter: | Prof. T. Gessner |
| Partner: | BTU Cottbus |
| Laufzeit: | 01.02.2002 bis 31.01.2004 |
| Projektziel: | Development and characterization of organic ultra low k material with reduced density; Patterning process development and compatibility with copper interconnect processing.
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Industrial: Development of silicon gratings for the assessment of optical and tactile surface measuring instruments
| Projektmanager am ZfM: | Prof. J. Frühauf |
| Partner: | GEMAC mbH Chemnitz |
| Laufzeit: | 15.09.2003 bis 31.01.2004 |
| Projektziel: | Etching of silicon gratings with trapezoidal, triangular, rectangular and arched profiles |
DFG: Reshaping of silicon microstructures by Laser – a new micro-technological process
| Projektmanager am ZfM: | Prof. J. Frühauf |
| Partner: | HTW Mittweida |
| Laufzeit: | 04.09.2000 bis 03.09.2003 |
| Projektziel: | Reshaping without tool, minimizing of thermal load, development of new shapes
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BMBF: Ultradünne Barrieren
| Projektmanager am ZfM: | Prof. T. Gessner / Dr. Stefan E. Schulz |
| Projektleiter: | Chemnitz University of Technology |
| Partner: | AMD Saxony Manufacturing GmbH Dresden, Dresden University of Technology, Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden |
| Laufzeit: | 01.08.2000 bis 31.07.2003 |
| Projektziel: | Process development and characterization of ultrathin diffusion barriers |
Stiftung Industrieforschung: Catalogue of Shape and Functional Elements of Bulk-Silicon Microtechnique
| Projektmanager am ZfM: | Prof. Dr. J. Frühauf |
| Laufzeit: | 01.04.2002 bis 31.05.2003 |
| Projektziel: | Systematical description of shapes and functions realisable by anisotropic wet etching
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Design of complex sensor - actuator systems [EKOSAS]
| Projektmanager am ZfM: | Prof. W. Dötzel, Dr. J. Mehner |
| Partner: | Siemens AG Munich, CAD-FEM GmbH Grafing, GEMAC mbH
Chemnitz, AST Dresden, Univ. Erlangen, FhG IIS/EAS Dresden |
| Laufzeit: | 01.01.2000 bis 31.03.2003 |
| Projektziel: | The goal of the project is to develop methods and tools for modeling and simulation of complex microelectromechanical systems which are characterized by strong interactions between physical domains and to the electronic circuitry. |
DFG: VIVA - Low Power System Bus Encoding
| Projektmanager am ZfM: | Prof. D. Müller |
| Laufzeit: | 01.07.1999 bis 31.03.2003 |
| Projektziel: | Development and implementation of coder-decoder systems for SoC sy.stem busses which minimize under a set of constraints the total power dis.sipation on a system bus with its coder and decoder implementation through reduction of switching activity on this bus.
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Interface-based Design of complex digital Systems
| Projektmanager am ZfM: | Prof. D. Müller |
| Laufzeit: | 01.07.1999 bis 31.03.2003 |
| Projektziel: | The focus of this project are the development of methods for modelling communication between modules of highly complex systems at different levels of abstraction in terms of hierarchically layered data communication protocols and the realization of corresponding description formalisms as an extension of the language SystemC. |
Detection of gear faults using microsystems
| Projektmanager am ZfM: | Prof. D. Müller |
| Partner: | TU Dresden |
| Laufzeit: | 01.11.2001 bis 31.10.2002 |
| Projektziel: | Development of a small hardware system for gear monitoring – Gear mo.nitoring systems are used to detect gear faults. Today´s systems are expen.sive and need much space. In order to decrease the system costs a space- saving hardware system was developed and tested. |
BMBF: Nanoporöse SiO2 - Schichten
| Projektmanager am ZfM: | Prof. T. Gessner / Dr. Stefan E. Schulz |
| Projektleiter: | Applied Materials GmbH |
| Partner: | Applied Materials GmbH, Suss Microtec AG Vaihingen |
| Laufzeit: | 01.10.2000 bis 30.09.2002 |
| Projektziel: | Development of prototype equipment for deposition of porous silicon oxide low k dielectrics; Process optimization and film characterization |
Pesticide-Sensors based on Immunochemical Reactions and Nano-Electrodes
| Projektmanager am ZfM: | Prof. C. Radehaus |
| Laufzeit: | 01.03.2001 bis 31.08.2002 |
| Projektziel: | Study of feasibility of Pesticide-Sensors based on Immunochemical Reactions and Nano-Electrodes |
Service order for master agreement research and development, entered by AMD and Technische Universität Chemnitz
| Projektmanager am ZfM: | Prof. C. Radehaus |
| Laufzeit: | 01.05.2001 bis 30.04.2002 |
| Projektziel: | Development of a Software-Package for Evaluation of a CM (VG, f)- and GM (VG, f)-Curves measured by Gate-Voltage (VG) and Small-Signal Frequency ( f ) using P- and N-Channel Capacitors |
