Wissen, was gut ist. Studieren in Chemnitz.

Forschungsprojekte

Die Forschungsaktivitäten des Lehrstuhls für Mikrotechnologie auf dem Gebiet der

sind eng an das Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) der TU Chemnitz gebunden. Detaillierte Informationen finden Sie in der Liste der

Im Rahmen des Sonderforschungsbereiches 379 entwickelt der Lehrstuhl

  • eine neue Technologieplattform für die oberflächennahe Silizium-bulk-Mikromechanik
  • Niedertemperatur-Bondverfahren für rekonfigurierbare Resonatorarrays